微机械可以解决光波网络问题

硅微机械领域正在对诸如汽车、航空、蜂窝通信、化学、声学、显示技术以及光波系统等传统工业产生冲击.过去10年在这个领域的研究已经得到了许多宏观机械的微观模型.在超大规模集成电路每年约2000亿美元市场及其相关工具.技术和工艺迅猛发展的激励下.这项技术在继续快速发展.微机械的尺寸最终会使其非常适合于解决光学问题,其器件、结构和相关波长尺寸范围可从1μm～数百μm.尤其在光波系统,微机械可以赋予系统设计者制作跟上迅速发展的带宽要求的高性能器件的能力.硅微机械器件的制作方法与硅集成电路     

国内微型器件装配技术的现状与应用

微机电系统(MEMS)以飞快的速度发展成为一个集微型机械、微传感器、微能源、微致动器、微控制器、微执行器、信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域。微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展，吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究。本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响，然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果，最后阐述了微装配系统的发展趋势。     

SOI材料在光电子学中的应用

SOI材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料。近年来随着SOI材料制备和加工技术的成熟,SOI基光波导器件的研究日益受到人们的重视。文章介绍了SOI材料在光电子学领域的一些具体应用,包括了在热光器件、电光器件、亚微米波导器件与光纤的耦合器以及光电子集成芯片等方面的最新研究进展。更小的波导截面尺寸是未来SOI光波导器件发展的必然趋势。     

机械光电子器件技术

把光电半导体和透镜等不同电介质材料形成一个整体,并对其进行统一的功能性机械控制这样的立体微机械加工和精密部件安装,即所谓的机械光电子学器件技术,将成为重要技术。今后它在光通信、光互连以及在降低光连接成本、小型化安装等方面都有希望得到应用。作为应用实例:(1)采用微透镜把半导体激光器的椭圆发散光形成为圆形平行光束和采用一体化光纤导槽进行无调整接合;(2)利用具有注点沟槽的平面波导实现光学交叉连接时所采用的精细控制折射率匹配液注入量的微型泵;(3)使用距离传感器的多光束激光器的装配技术。     

光电薄膜技术的新动向

在当今光电技术日新月异发展的形势下,薄膜技术已渗透到光电子学的多种领域中。随着光纤通讯、光计算机、光信息存储与传输的迅猛发展与应用,各种新型光电薄膜器件与薄膜技术正在相辅相成地不断开拓中。光电薄膜器件的产品也以7.7％的年增长率发展着。市场对于光电薄膜器件产品的要求不仅是其光电物理特性,而且包括应用于整机系统中的可靠性、再现性和一致性。每一种光电薄膜器件的产品化都伴随着它的成套技术设备的定型。没有     

机械光电子学领域中的关键技术

在光交换、光互连及光盘等领域,传感技术和微动控制技术是不可缺少的一部分。对此,我们开发了以光为媒介的微机械和电子技术融为一体的机械光电子学技术。其中(1)微机械加工、(2)光压微动控制技术、(3)微能技术、(4)智能材料等是机械光电子学中不可缺少的关键技术。本文从光的力学作用和物质转换作用的角度,介绍了机械光电子学关键技术的研究状况,即与(1)相关的,利用激光热激励振动,然后采用光干涉检测该振动的光激励振动器的制作方法和特性;与(2)相关的,利用光压(辐射压)使形状各向异性物体旋转驱动;与(3)相关的,用于光能和化学能转换的光充电二次空气电池。无论哪项研究,目前均已确定了其工作原理,初步设计已取得了令人满意的效果。     

微机械惯性器件

微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测。     

用于传感器和光电子学的微机电系统

用于传感器和光电子学的微机电系统谢菲尔德大学从事微机电系统研究的科研人员已经成功地开发出了一些引人注目的器件以及同样引人注目的制作技术。微机电系统的成功包括设计和制作导航用传感器即陀螺和磁力仪。陀螺基于一个转动的微型电感电机，其内部有一个比较高角速度...     

脑机接口技术的基础研究：神经元与二极管

随着微电子学与光电子学进入“后摩尔时代”，高性能光电器件与生物系统的融合逐渐成为一个重要的发展方向。采用高性能半导体光电器件和系统解决神经科学领域面临的技术难题，尤其是借助光学、电学等手段对神经信号进行调控和传感，受到了越来越广泛的关注。本综述论文以电子工程领域的基本单元之一——二极管与神经科学领域的基本单元——神经元之间的相互作用为切入点，总结了本课题组近年来的代表性研究工作。通过对材料器件进行设计和加工，实现了生物相容的植入式光电器件。这些光电器件通过光电信号的转换与神经信号相互作用，可以实现对生物细胞、组织和活体系统的光遗传学调控、无线光电刺激、原位荧光检测和光电传感等功能。这些新型的光电器件技术对于基础神经科学研究和神经疾病诊疗都具有重要意义。     

微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景

微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械，微光学，微声学，微流体技术，微反应技术等领域的微型化和集成化问题，其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来，微技术已尼形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场，预计未若干年仍会高速增长，由于人们对医疗保健，信息，可移动性和可持续发展的渴望，刺激了对微技术产品的需求，一些高技术生产工艺和材料应运而生，而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器模拟器件功能，生产工艺和综合优化过程中的软件显得到关重要。此外，微器件的应用正在扩展至信息，自动化和医学技术领域，同时也为未来由微小型化在化学工程，生命科学，工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。     

操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用

在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题。这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向。本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用。可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具。     

投稿须知

《光子技术》是由深圳飞通光电股份有限公司主办的研究光学、光子技术,电子学、电子技术,光电子学、光电子技术与其他学科相互交叉、相互渗透、涵盖范围很广的技术类科技期刊。(季刊)《光子技术》志在立足社会效益、面向经济建设,推广交流光子技术、光电子技术;传播光学、光子学量子电子学、光电子学专业技术知识;提倡技术性与实用性并重;注意到各专业领域的交叉、延伸和相互渗透。她以光电子器件理论、制作技术和系统应用为主,并兼顾与光子学、量子电子学、光电子学领域相关的理论和技术,以发展我国高新时期技术产业为依托,拓宽光电子技术应用的新领域。     

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MEMS/MOEMS在光通信中的应用

微机电系统（MEMS）在光学领域中的应用是其最重要的应用之一，其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能，还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求。本文以MEMS光开关等为例，讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势。     

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MEMS和微流体分析系统的发展

微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域，是当今科学技术最具潜力的发展方向之一，而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点。本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景．并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论。MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响。     

硅基纳米材料制备技术的新进展

近年,硅基低维材料物理与工艺的研究预示,硅基光电子学将是今后半导体光电子学的一个主要发展方向,而对硅基纳米材料的研究一直是本领域的一个研究热点,评述了近年硅基纳米材料在制备技术方面所取得的新进展,并展望了今后的发展方向。     

光电子器件的发展

本文分别对光电子学有源器件、无源器件、控制器件及光电子集成器件等进行了评述,并且着重指出,光电子器件是发展光电子学及其应用的重要基础。     

“西部光子学”会议综述

“西部光子学”会议综述光学、光子技术和应用的一些最快发展领域是集成光电子学、半导体制造和微米、光机电子机械系统的发展。这些论题已包括在前ＳＰＩＥ发起的在加州洛杉矾举行ＯＥ／ＬＡＳＥ会议中。但在１９９５年，对这些领域的异常兴趣促使ＳＰＩＥ改在以硅谷作会...