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AZ5214光刻胶及像反转特性的实验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
通过实验研究了AZ5214光刻胶分别用作正型抗蚀剂和负型抗蚀剂的光刻工艺,给出了抗蚀剂厚度为1μm的最佳光刻工艺参数,介绍了AZ5214像反转特性的实验研究结果。 相似文献
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《液晶与显示》2021,(9)
随着彩膜产线几年的运营,预烘烤工艺升华物带来严重的设备和玻璃基板污染,容易造成曝光工序失败,导致成本浪费。为解决该问题,本文针对8.5世代线红、绿、蓝三条生产线,进行了预烘烤工艺升华物成分分析和改善。经分析,升华物来源于光刻胶中单体和光引发剂,通过将分子量在190~300之间的小分子结构的单体和光引发剂替换成分子量在380~600之间的大分子结构,得到改善型光刻胶,成功将红、绿、蓝3种光刻胶热升华物降低了91.8%,98.5%,93.1%。改善型光刻胶制成的产品光学、信赖性均满足要求,导入量产后,预烘烤升华物导致的玻璃基板曝光工序失败率由3 500×10-6降低为1 600×10-6。在此研究过程中,提出了一种红绿蓝光刻胶材料预烘烤升华物量化评价指标,可应用于后续光刻胶的开发和选用,对产线长期稳定运营具有参考借鉴意义。 相似文献
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设计了一种专门用于锑化铟红外探测器器件工艺中钝化前的脱水处理工艺技术,包含脱水、干燥和表面处理等一系列的工艺步骤,可作为基于锑化铟材料的焦平面红外探测器器件中钝化前的标准化处理工艺,针对脱水工艺设计中遇到的问题对操作方式进行了重新设计和改进,避免了工艺引入杂质和离子对器件性能造成影响, 改进后的工艺在脱水处理后 采用高温烘干与吹扫相结合的方式对芯片进行干燥,并加入预处理工艺对脱水后钝化前的芯片进行表面处理,从而使锑化铟材料红外器件工艺适应各种环境湿度的工艺条件。 相似文献
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光刻胶是纳米压印的关键材料,其性能将影响压印图形复制精度、图形缺陷率和图形向底材转移时刻蚀选择性。提出了成膜性能、硬度黏度、固化速度、界面性质和抗刻蚀能力等压印光刻胶的性能指标。并根据工艺特点和材料成分对光刻胶分类,介绍了热压印光刻胶、紫外压印光刻胶、步进压印式光刻胶和滚动压印式光刻胶的特点以及碳氧类纯有机材料、有机氟材料、有机硅材料做压印光刻胶的优缺点。列举了热压印、紫外压印、步进压印工艺中具有代表性的光刻胶实例,详细分析了其配方中各组分的比例和作用。介绍了可降解光刻胶的原理。展望了压印光刻胶的发展趋势。 相似文献
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描述了光刻胶喷雾显影和搅拌显影中线宽加工的工艺线自动控制方法。所使用的设备也可用于工艺诊断,评价诸如光刻胶溶解速率或显影实际开始前的初始时间一类的光刻胶参数。讨论了这种方法对于光刻胶的全自动处理的意义。 相似文献
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烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验,得到了最佳的烘箱HMDS预处理程序。通过提高烘箱工作温度(150C)、减少PRIME时间(0.5min)和增加PRIME后保持时间(5min),最终降低了HMDS处理后的硅片接触角,进而降低了光刻胶28%的用量。本方法已经验证在本次开发中,其工艺稳定,完全适用于生产线量产。 相似文献
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TFT光刻制程中,光刻胶段差使光胶在同一个光刻平面上,各区域的光刻程度不同,严重影响着光刻图形的质量。文章从光刻胶段差对光刻图形影响的原因进行分析,根据光强在投影光刻机光刻系统中焦点附近与光刻胶内部的变化特点,推导并计算出光刻胶段差区域内光强变化量为零时,光刻系统中光刻平面所应处于的位置,同时结合当前光刻系统焦平面的位置,计算出光刻平面的调整量,并以该调整量对当前光刻平面进行调整。结果表明:对于极限分辨率为2.41μm的投影光刻机,要使厚0.52μm的光刻胶段差内光强变化量为零,光刻平面调整量为9.434 42μm,且对光刻平面调整后10μm后,在DICD(Develop Inspection Critical Dimension)变化量较小的情况下,可显著改善沟道长为2.5μm的GOA(gate drive on array)区域的光刻胶残留。 相似文献
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LIGA技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对LIGA技术所存在的缺点,提出了一种利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术。利用此技术,可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上,而且深宽比可以做得很大。 相似文献
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表面活性剂在IC芯片光刻工艺中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
叙述了表面活性剂的性质、分类、分子结构特点,重点介绍了表面活性剂在光刻工艺的涂胶、显影、湿刻工序中的应用.适当加入表面活性剂,在现有设备的条件下可极大地提高光刻质量,对双极电路以及CMOS电路制作都有着重要的现实意义. 相似文献
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Wong A.K. Ferguson R. Mansfield S. Molless A. Samuels D. Schuster R. Thomas A. 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》2000,13(1):76-87
A general level-specific lithography optimization methodology is applied to the critical levels of a 1-Gb DRAM design at 175- and 150-nm ground rules. This three-step methodology-ruling out inapplicable approaches by physical principles, selecting promising techniques by simulation, and determining actual process window by experimentation-is based on process latitude quantification using the total window metric. The optimal lithography strategy is pattern specific, depending on the illumination configuration, pattern shape and size, mask technology, mask tone, and photoresist characteristics. These large numbers of lithography possibilities are efficiently evaluated by an accurate photoresist development bias model. Resolution enhancement techniques such as phase-shifting masks, annular illumination and optical proximity correction are essential in enlarging the inadequate process latitude of conventional lithography 相似文献
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研究了旋涂和光刻工艺对制备表面传导发射显示器(SED)微细结构的影响,分析正性光刻胶和旋涂工艺的作用机理,探讨光刻胶的平面旋涂工艺、曝光剂量、前烘对光刻图形的影响.借助旋涂技术将光刻胶转移在附有金属薄膜的玻璃基片上,利用紫外光对其进行曝光,通过视频显微镜、台阶仪对实验结果分析,优化实验工艺参数.结果表明,光刻胶留膜率随旋转速度增大而减少,随光刻胶的粘度增大而增大,光刻图形宽度随曝光剂量的增大而变窄,曝光剂量40~50 mJ/cm2,前烘110 ℃保温25 min条件下光刻图形边缘平整,为研制SED微细结构奠定了基础. 相似文献
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《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》2008,21(3):464-468
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