铝膜穿透性阳极氧化技术

铝膜穿透性阳极氧化是实现阳极氧化铝薄膜多层布线基板制作的关键技术。研究了电流密度、电解质溶液温度和铝膜厚度对氧化时间的影响。绝缘电阻测定及扫描电子显微镜分析的结果证实了采用穿透性阳极氧化技术制作导带 ,导带间不存在残余铝薄膜。     

高压铝阳极氧化膜形成技术

本利用俄歇电子能谱仪（ＡＥＳ）研究了高压铝阳极氧化膜不同深度的氧铝比,发现不同深度上偏离Ａ１２Ｏ３化学计量比是其介电性能劣化的原因。查明不同深度的形成技术条件,通过研究恒压下不同形成电汉时的最终电汉及三相交流形成后直流形成的Ｏ／Ａ１比,结果发现成膜速度太快和形成中氧化不足是现阶段阳极氧化膜Ｏ／Ａ１偏离的主要原因,针对氧铝比偏离１．５的多少对原形成条件作出相应调整,使铝阳极氧化 介电特笥得以优化。     

铝阳极氧化膜的功能性处理

一、前言铝阳极氧化膜的染色和电解着色,主要作为防蚀和装饰手段,已广泛应用于建筑材料,汽车部件和家用电器等工业。今后的新发展趋向是利用铝阳极氧化膜的特殊结构和物理、化学以及电化学的性质进行功能性的表面处理,制成具有各种电学、光学和机械等特殊性能的功能性材料。     

铝阳极氧化残存水合氧化膜热稳定性研究

采用水煮和直流阳极氧化法在铝箔表面获得残存的水合膜,研究热处理对水合膜结构和性能的影响。热重-差示扫描量热仪(TG-DSC)和傅里叶变换红外光谱分析(FTIR)测试表明,铝箔存在两个质量损失过程,200℃以下为铝箔表面吸附游离水的蒸发,200℃以上为水合膜中结构水的分解。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明:氧化膜分为内层的结晶Al2O3和外层的羽毛状Al2O3·xH2O两层,经过不同温度热处理后,水合膜的厚度和形貌无明显变化。电化学性能测试表明,热处理后样品的耐压值略有增大,比容值减小,主要是由于少量水合膜脱水转化为结晶Al2O3所致。     

铝阳极氧化膜耐电压机制研究

建立了(+)Al/Al2O3/电解液(-)系统耐电压模型。在该模型中,耐电压测试时施加于样品系统上的恒稳测试电流被分离成了介质层充电电流及缺陷漏电流两部分。使用该模型对恒稳电流下铝阳极氧化膜耐电压随时间的变化进行了模拟,模拟结果与实测值几乎完全重合,并准确预测出了铝阳极氧化膜升压时间及180s时的耐压值。另外,对铝阳极氧化膜耐电压曲线进行了初步解释。     

铝阳极氧化膜及吕电解电容器

本文叙述铝阳极氧化膜的两种主要结构，生长机理及与形成条件的关系。     

硅基底电子束蒸发铝膜阳极氧化特性

研究了硅衬底上电子束蒸发铝膜 ,在 H2 SO4 水溶液中阳极氧化形成硅衬底多孔氧化铝复合结构的过程 .硅衬底电子束蒸发铝膜的阳极氧化过程主要由多孔氧化铝的生长、氧化铝生长向氧化硅生长的过渡和氧化硅生长三个阶段构成 .硅衬底多孔氧化铝复合结构的透射电子显微镜观察表明 ,在硅衬底上形成了垂直于硅表面的氧化铝纳米孔 ,而孔底可形成 Si O2 层 .有序结构多孔氧化铝的形成不依赖于铝膜的结晶状态 ,而是由阳极氧化过程的自组织作用所决定的 .实验表明将多孔氧化铝制备工艺移植到硅基衬底上直接形成硅基衬底多孔氧化铝复合结构是可行的     

铝阳极氧化膜彩色电解着色的研究

本文研究了以磷酸溶液为氧化液、锡一镍混合盐为着色液的多彩色交流电解着色体系,控制不同的阳极氧化时间或交流电解着色时间,均可获得各种不同色彩的膜层。扫描电镜形貌观察及元素分析、X-射线衍射等测试结果表明,磷酸阳极厚氧化膜中含有PO_4~(8-),多孔层的Al_2O_3为无定形结构,膜层的孔径和厚度随氧化时间增加而增大,着色膜中的沉积物是β锡,它的沉积是从膜层与基底的界面开始的,其电解着色时间相同,其含量决定于氧化时间,氧化时间相同时,在很狭范围内与着色时间有关,在不同条件下所获得的着色膜,主要由于对可见光的干涉效应而显示不同的颜色。     

硅基底电子束蒸发铝膜阳极氧化特性

研究了硅衬底上电子束蒸发铝膜,在H2SO4水溶液中阳极氧化形成硅衬底多孔氧化铝复合结构的过程.硅衬底电子束蒸发铝膜的阳极氧化过程主要由多孔氧化铝的生长、氧化铝生长向氧化硅生长的过渡和氧化硅生长三个阶段构成.硅衬底多孔氧化铝复合结构的透射电子显微镜观察表明,在硅衬底上形成了垂直于硅表面的氧化铝纳米孔,而孔底可形成SiO2层.有序结构多孔氧化铝的形成不依赖于铝膜的结晶状态,而是由阳极氧化过程的自组织作用所决定的.实验表明将多孔氧化铝制备工艺移植到硅基衬底上直接形成硅基衬底多孔氧化铝复合结构是可行的,它也为硅基纳米材料的制备提供了一种新的自组织模板.     

铝阳极氧化膜形成液的形成能力研究

在不同配方、不同pH值的低压和高压电解液中测试纯铝样品的电流变化,根据电流大小及电流变化速度,确定形成能力最强的介电用铝阳极氧化膜形成液。     

铝阳极氧化膜多孔质结构的电镜研究

本文针对研究开发新型自润滑阳极氧化铝功能材料的要求，用ＴＥＭ系统考察了在二种不同酸性溶液中生成的铝阳极氧化膜的微观多孔质结构，确定了孔的形态和孔隙率；并用电子束诱导结晶化的方法￣［１］确定了铝阳极氧化膜的物相结构为非晶态ｒ－Ａｌ＿２Ｏ＿３。此外，还用ＨＲＥＭ对阳极氧化膜与铝底材之间的界面进行了研究，发现了过渡层的存在，过渡层厚约４ｎｍ。     

铝基板阳极氧化成膜温度与膜层结构

对铝基板在草酸体系下阳极氧化成膜温度进行了研究,发现膜的起始破坏温度为32.5℃,而与草酸电解液的浓度关系不大。通过XRD、SEM对膜层进行了分析,并测试了膜层的绝缘性能。结果表明:氧化膜层是以非晶态形式存在的,膜表面存在直径80nm左右的针状物,形成Al(OH)3水合物。较高溶液温度下,草酸的溶解作用加剧了膜层断面开裂、膜质疏松等缺陷,严重影响着膜层的绝缘性能,温度不超过32.5℃,能得到均匀、致密的膜层。     

铝阳极氧化膜及其铝电解电容器（下）

本文从铝电解电容器的基本性能的主要因素分析与铝阳极氧化膜的关系，包括铝箔的杂质、腐蚀孔形状、表面ＣＬ，氧化膜的缺陷与稳定性。从而分析不同的形成液，形成程序、复合形成及老练等的影响。     

多孔质铝阳极氧化膜的结晶过程研究

铝质材料阳极氧化作为铝质材料最重要的表面改性技术在现代工业中获得了广泛的应用［１］。近年来，人们着眼于多孔质铝阳极氧化膜所具有的均匀、规则的微观多孔质结构，通过不同方法在微孔中沉积或原位合成各种化学物质，研究开发各种新型铝质功能材料［２］，使得对多孔...     

铝多孔质阳极氧化膜扩孔行为的电镜研究

铝多孔质阳极氧化膜扩孔行为的电镜研究徐洮，赵家政，陈建敏（中科院兰州化物所固体润滑开放实验室，兰州７３００００）利用铝质材料阳极氧化层均匀、规则的多孔质结构，制备各种功能型阳极氧化铝材料是近年来铝质材料表面改性研究的热点之一￣［１］。所谓自润滑阳极氧...     

论对阳极铝氧化膜和水反应的抑制

阳极铝氧化膜与有钝化作用的柠檬酸和磷酸二氢铵(ADP)溶液之间的反应,可通过测量电容量的方法来研究。此外,上述溶液的钝化效应已根据氧化膜与纯沸水之间的反应和接着进行的阳极氧化进行了测定。试验结果表明,ADP溶液有强的钝化作用,但添加柠檬酸盐离子,它的钝化作用会部分地减弱。     

铝的结晶复合阳极氧化膜Ⅰ．水合氧化膜存在下的阳极氧化膜的形成

铝箔先与热水反应，再进行阳极氧化，可形成结晶复合阳极氧化膜。介绍这种膜的形成机理以及膜的结构。这种膜适用于制造中、高压铝电解电容器     

铝的等离子体阳极氧化研究

我们用等离子体阳极氧化的方法在铝表面生成厚度为40nm左右的氧化层,等离子体由射频辉光放电产生,阳极氧化时氧气压力为6.65Pa、两极间距离为18cm、直流偏压为35V,并测得氧化时样品温度约在100℃左右。     

铝的结晶复合阳极氧化膜Ⅱ．热氧化膜存在下阳极氧化膜的形成

在低压铝电解电容器生产中，铝箔常先在高温（４５０℃以上）短时间加热，形成一薄层热氧化膜，再进行阳极氧化，可形成结晶复合氧化膜，使比容增加，形成电量降低。介绍了有关这种膜的形成机理、结构及应用实例。     

高压铝阳极氧化膜的陷阱浓度与隧穿导电

通过对铝阳极氧化膜Ｉ－Ｖ特性进行导电机理分析, 比较不同Ｒ（Ｏ∶Ａｌ） 及不同杂质含量氧化膜的Ｉ－Ｖ特性, 发现不能形成受主、施主掺杂的杂质离子, 对空间电荷限制电流作用没有贡献, 而且会降低氧化膜的隧穿起始电压, 增加额定工作电压下的漏电流。