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《真空科学与技术学报》2016,(9)
为了开展多工况条件下的氙气质量流量精确校准,研制了氙气质量流量校准装置。本文介绍了校准装置的组成、校准原理,测试了极限真空度、漏放气率,进行了真空容器容积在线测量、校准过程中氙气温度变化及物态变化等研究,对校准结果进行了验证。该装置校准范围为(3×10~(-1)~2.6×10~3)m L/min(标准状态),相对合成标准不确定度为1.6%。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2016,(12)
研制了一台校准范围为10~(-5)~10~5Pa的现场真空校准装置。将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力p_(std)。上游室压力变化范围为1~10~3Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10~(-5)~10~(-2)Pa(N2),测量不确定度为2.4%。另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10~(-6)Pa量级。对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究。实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10~(-5)~1.0×10~5Pa,相对合成标准不确定度为2.8%~0.40%。 相似文献
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本文叙述采用电平倍增的三厘米波段自校准法衰减测量装置。该装置在0—42分贝的衰减测量量程内,达到的不确定度优于±5×10~(-4)。 相似文献
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本文从建立彩色多普勒超声诊断仪(血流测量)校准装置过程,对其血流速度、方向和血流探测深度的测量值的不确定度进行描述和分析,以利于彩色多普勒超声诊断仪测量值的评定与表示。 相似文献
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