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本文对以MOSFET(金属氧化物硅场效应薄膜晶体管)技术提高FED(场致发射显示)等器件的FEA(场致发射阵列)阴极发射电流的稳定性作了说明,并就对MOSFET技术的改进作了介绍。 相似文献
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FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性能,适合于用作FEA发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性能方面的介绍。 相似文献
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一些硅的化合物具有良好的场发射特性,如果用作FEA发射微尖表面的薄膜,将能较好地提高FEA的发射特性,本文对这一类硅化物的制作,测量与性能作了说明。 相似文献
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测试了采用磁控溅射工艺制备得到含金刚石碳薄膜的场发射性能,试验结果表明含金刚石薄膜具有良好的场发射性能,最小场强阈值为37V/μm,其相应的有效功函数0.29deV,最大的场发射电流密度达5.4mA/cm^2。分析了溅射气体中加入量和基体温度对薄膜晶体结构和场发射性能的影响。 相似文献
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真空微电子平板显示器(FED)进展述评 总被引:2,自引:0,他引:2
本文描述了场致发射阵列平板显示器(FieldEmissionDiplay)工作原理,和其他平板器件性能的比较,关键技术及未来市场发展前景。 相似文献
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场发射冷阴极的稳定性和可靠性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
讨论了清洁处理(CP)对FEC电子发射的影响。实验结果表明:CP能有效激活长时间存放于恶劣环境的FEC的电子发射;还研究了场热成形(FHF)对提高FEC电子发射稳定性和可靠性和作用。实验发现,正确选择阳性工进行必要的真裕除气,对防止尖由于真空电弧而造成的破坏有破坏有重要意义。FHF对尖端表面的微观状态具有强烈的影响,具体表面尖端有效功函数ψ才尖端场增强因子β的改变上,经过CT和FHF处理,得到了发 相似文献
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钼尖场致发射阵列阴极的性能研究 总被引:8,自引:4,他引:8
利用微细加工技术和双向薄膜沉积技术对钼尖场发射阵列阴极的工艺进行了较为细致的研究,并在专用的真空系统中对所得阵列阴极的发射性能进行了测试,得到了一定的场致发射电流密度值。测试中采用数据采集系统监测栅极电压、阳极电压、阳极电流和栅极电流,测量了阴极阵列的发射稳定性和发射噪声。对发射的失效机理进行了实验研究和分析,认为发射失效的主要原因在于栅极和基底之间的漏电,尖锥和棚极孔间的暗电流,电极间的放电和放气,以及环境真空度和尖锥的均匀性等。所得结果以进一步开展有射频器件和显示器件方面的应用研究打下了一定基础。 相似文献
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从场致发射实验中发现一种较适合于场电子发射的金刚石薄膜表面微结构。胜表面为这种微结构的金刚石薄膜作阴极制做的简单平板显示器件具有起始发射场强低,发光强度大的特点,且重复性较好。 相似文献
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场致发射平面显示器的发展及应用前景 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了场致发射平面显示器(FED)的工作原理及研究现状,分析了LCD,PDP,FED等平板显示器的特点,并对FED显示器的应用前景作了展望. 相似文献
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