光刻机试验运动装置振动信号的时频分析

步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义.     

Nikon光刻机对准系统概述及模型分析

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机（Stepper）的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式：LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数学模型对影响Nikon对准模型信号强度进行分析,为提高对准精度提供了依据,对实际应用有一定的指导作用。     

用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值。     

光刻机的分辨率和对准特性研究

本文以PLA－501F光刻机为例,研究如何使光刻机的分辨率和对准精度得到充分发挥。指出了光源、光刻胶、滤光片和主物镜的相互匹配是充分发挥光刻机分辨率的关键问题;在提高光刻工件的对准精度方面,牵涉到母板的套准图形设计及对准时的技巧。本文还分析了接近式曝光和接触式曝光的主要优缺点。     

用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计

比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。     

光刻机曝光均匀性在线检测方法

光刻机的曝光量和焦距会随着做片量的增加发生漂移,具体表现为曝光场内和圆片内出现曝光不均的质量异常。设计了针形解析图形和方形显开解析图形,利用Ultra Step 1000光刻机进行实验,分析了曝光量和焦距的变化对解析图形解析值的影响。结果表明,曝光量对针形光胶解析图形影响较大,焦距对方形显开解析图形的影响较大。设计了解析图形在曝光场内和圆片内的布局方案,以及在线检测曝光场内和圆片内的曝光均匀性的具体方法,利用该方法可以有效提高光刻机曝光均匀性的在线监控效率,提早预防曝光不均异常现象的发生。该监控方法可以应用于其他类型的光刻机。     

KLA-Tencor推出可解决二次成像挑战的首款计算光刻机

KIA-Tencor公司日前推出其领先业界的最新版计算光刻机PROLITH 11。这种新型光刻机让用户首次得以评估当前的二次成像方案，并以较低的成本针对光刻在设计、材料与制程开发等方面挑战，尝试不同的解决方案。这种新型计算光刻机还支持单次成像和浸没技术。     

论光刻机的曝光控制系统

<正> 概述 光刻机是生产半导体器件的重要工艺设备之一,它可分为工作台对准系统和光学曝光系统两大部分。对于一台性能优良的光刻机光学曝光系统起着不容忽视的作用。近代发展起来的光刻机在曝光系统上采用了一系列新技术,例如在光学设计上采用复眼透镜组来减少光学衍射效应,提高光的均匀性;在幅照光源上采用恒光强控制(如Rarlsu-ss,uv系列光刻机);对曝光时间采用积分曝光(如Canon PLF-500系列光刻机)等。本文仅从电学角度来论述光刻机的曝光控制系统,并对某些专题进行较详细地分析,以便读者可有一深入和系统了解。     

磁悬浮微进给机构电磁场研究

针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而设计了磁悬浮微进给机构,并对它进行了电磁场耦合分析及解耦控制,准确综合地研究磁悬浮系统。在不计漏磁的简单磁路、磁力计算基础上,采用有限元分析软件ANSYS对电磁场进行有限元分析,得到考虑漏磁的磁场分布及准确的磁力计算结果,从而确定电流及气隙大小等悬浮控制参数,为控制设计与试验提供了参考。     

KLA-Tencor推出可解决二次成像挑战的首款计算光刻机

KLA-Tencor公司推出其领先业界的最新版计算光刻机PROLITH11。这种新型光刻机让用户首次得以评估当前的二次成像方案,并以较低的成本针对光刻在设计、材料与制程开发等方面挑战,尝试不同     

基于A3992和C8051F300的两相步进电机驱动系统

采用Allero公司新一代的两相步进电机驱动器A3992和系统级MCU器件C8051F300设计了小型步进电机的硬件驱动电路.该驱动电路通过3线串行接口可方便地控制A3992,实现对步进电机的细分驱动.并大大简化了步进电机的细分驱动.     

基于动态规划的对焦步进电机控制

为了解决STM(stepper motor)镜头中步进电机低频对焦慢、高频失步跑焦的问题,通过分析对焦过程中电机的加减速动作,结合步进电机加减速曲线,设计了一种适用于STM镜头驱动的步进电机开环控制算法.算法根据步进电机速度在单位控制周期内不变,把步进电机位置控制问题转换为单位控制周期内脉冲输出问题,实现了速度控制与位...     

基于PMM8731和SI-7300的步进电机驱动电路

PMM8731是日本三洋电机公司生产的步进电机脉冲分配器。而SI-7300则是日本三青公司生产的高性能步进电机集成功率放大器。它们和单片机一起可构成一种高效电机控制驱动电路。文中介绍了PMM8713与SI-7300的功能 ,给出了由它们组成的功率驱动电路及其在步进电机上的应用方法     

两相混合式步进电机驱动器的设计

步进电机作为执行元件,在半导体设备领域应用广泛。为降低成本,决定自行开发步进电机驱动器。经研究比较,提出一种由专用芯片THB6064AH实现两相混合式步进电机驱动器的设计方案。测试表明,此方案设计的驱动器运行稳定可靠,成本低,控制电机平稳无噪音。     

新颖的串行控制步进电机驱动器

美国Allegro公司推出的A3972型串口控制器是步进电机微步距驱动专用电路。一个A3972外加一个简易CPU即可实现二相步进电机的32微步距驱动。文中介绍该电路的特点、引脚功能和工作原理．并给出A3972的典型应用电路，该电路已成功地应用在某步进电机伺服系统中。     

Microcomputer implementation of optimal algorithms for closed-loop control of hybrid stepper motor drives

This paper discusses optimal algorithms for closed-loop control of hybrid stepper motor drives and their microprocessor implementation. The torque characteristics and the optimal control angle of hybrid stepper motor drives with added series resistance and reluctant stepper motor drives have been described in detail in the literature. The specific contribution of the paper to this field of research consists of the analysis of the torque characteristics and the optimal control angle of hybrid stepper motor drives with a chopper amplifier and current controller. Analytical expressions for the average torque and the optimal control angle of a two-phase hybrid stepper motor with chopper amplifier and current controller have been developed. An actual hybrid stepper motor drive and the microcontroller-based implementation of the suboptimal and exact optimal control algorithms have been described. The experimental results obtained by positioning a two-phase hybrid stepper motor drive with chopper amplifier, phase current controller, and incremental encoder suggested that the derived optimal control algorithm provided maximum acceleration and minimum positioning time of the hybrid stepper motor drive.     

基于VC++的步进电机控制方法探讨

步进电机是一种将电脉冲信号转换为线位移或角位移的电机，但步进电机的控制通常都采用汇鳊语言或C语言进行软件开发，本文结合SC3步进电机控制器及平移台的控制开发为例，介绍了一种如何在Windows平台下利用Visual C^ 6．0提供的串行通信控件MSComm来实现PC机与步进电机控制器之间的数据通讯，最终实现由PC机直接控制步进电机的方法，并详细介绍了鳊写串行通信程序的基本步骤和方法。调试结果表明：设计的控制程序简单、易懂，工作可靠，且具有友好的人机交互界面。     

基于DSP的步进电机控制系统设计研究

步进电机作为感应电机的一种,通过系统的电子电路来进行分时供电、时序电流控制等,以保障电机的连续性工作。因此,对步进电机控制模块进行了论述,对步进电机的驱动原理及实现方式进行了分析,并从硬件与软件方面对步进电机控制系统的设计形式进行了研究。     

新型五相步进电机控制技术

五相步进电机已被广泛应用于控制旋转角度、速度、位置和同步性的诸多领域。通过对新型五相步进电机工作原理的研究,采用Luminary公司LM3S615芯片设计完成步进电机的控制组件,由其内部自带的脉宽调制(PWM)模块产生驱动组件所需的接收时序信号,实现对驱动组件进行细分驱动。通过配置驱动组件,可以产生占空比不同的方波,从而在电机线圈内能够产生多种不同幅值的电流来实现细分驱动。选用的五相步进电机平台型号是SGSP(MS)20-85(X)。通过实验表明可以实现对步进电机的步进角、角位移量以及转动速度和加速度的精确控制。     

支持Modbus RTU协议的步进电机控制器设计

针对在设备中需要控制多个步进电机的需求,设计了基于RS-485网络的步进电机控制系统。使用STM32单片机实现了Modbus RTU协议,有效解决了单个处理器不能同时控制大量步进电机的问题和多步进电机驱动系统中零点位置、极限位置信号处理的实时性的问题。该方法在多个项目中得到了应用,既能满足实时性要求,又具有很好的扩展性能。步进电机的驱动使用了集成驱动芯片,详细分析了该芯片的使用中的关键技术。