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硅上超高真空CVD生长硅锗外处层及其特性研究 总被引:2,自引:1,他引:1
我们利用自行研制的UHV/CVD技术在直径3英雨的硅衬底上生长了锗硅外延层,并进行了实时掺杂生长,采用X射线双晶衍射和二次离子质谱技术确定了外延层的质量与组分,利用扩展电阻仪对外延层电阻率进行了表征,研究了生长特性和材料特性。由此获得了生长速率及组分与源气体流量的关系曲线,发策生长速率随Ge组分的增加而降低,以氢气为载气的B2H6对锗硅合金的生长速率有促进作用。 相似文献
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MVDS称为宽带多路米波(甚高频VHF)分配系统,MUDS称为宽带分米波(特高频UHF)多路分配系统,是在MMDS技术的基础上,特为广播电视实现“村村通”而推出的新品种。1 MVDS/MUDS多路分配系统传输特点MVDS/MUDS多路分配系统与MMDS微波多路分配系统比较有如下特点。(1)MVDS/MUDS系统工作在VHF/UHF频段上,射频信号直接在空间传输,无需上变频发射及下变频接收;另外,VHF/UHF频段采用同轴电缆连接、功放模块组件,所需器件(特别是功率器件)价格约为MMDS设备同等器… 相似文献
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本文对地面同播数字高清晰度电视(HDTV)的规划参数的合理选择进行分析,讨论HDTV的服务面积与D/U比(常规电视/HDTV或HDTV/HDTV同频道设置)、阈值信噪比之间的关系。 相似文献
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真空紫外光直接光CVD法低温生长SiO_2薄膜及其性质 总被引:5,自引:0,他引:5
使用真空紫外(VUV)光直接光CVD工艺,在低温(50-150℃)下成功地淀积出了优质的SiO2薄膜.测试结果表明:淀积膜的红外吸收峰与高温热生长膜的相符合;氧和硅原子的组分非常接近化学计量比;光折射率在1.42-1.55之间;介电常数大于3.6;击穿电场强度在1e7V/cm的量级;用氯氟酸腐蚀液(参考配方:HF:H2O=1:12)测得膜的平均腐蚀速率约为1.27um/s.试用表明,当使用本实验工艺于硅器件的表面钝化、涂覆及层间隔离,替代PECVD和热CVD工艺时,器件的击穿特性和反向漏电流均明显地改 相似文献
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SDH的映射和同步复用原理(三)陈朝枢MappingandMulitiPlexingPrincipleofSDH¥ChenChaoshu5、AU-4PTRAU指针提供了VC在AU帧内灵活和动态定位的方法。简单地说,AU-4PTR必须指明VC-4的第一... 相似文献
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COFDM技术在数字TV/HDTV中的应用 总被引:8,自引:3,他引:5
介绍COFDM技术在DTV/HDTV中应用的基本原理,分析克服多径干扰和常规电视干扰措施的性能,并阐述了COFDM技术硬件设计中的有关问题。 相似文献
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本文介绍了CATV大功率共用天线放大器前端立柜,它采用了VHF/UHF分频道先放大、后混合的方案,解决了VHF/UHF频道间隔离度差的难题,输出功率大,是大系统共用天线理想的前端设备。 相似文献
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本文用透射电镜(XTEM)和二次离子质谱(SIMS)分析了由超高真空化学气相淀积法(UHVCVD)生长的n-Si/i-p+-iSiGe/n-Si结构,发现在硅上外延生长i-p+-iSiGe时,在靠近Si的i/p+SiGe界面处存在一个很薄的层,但在i-p+-iSiGe上外延生长Si时,无此现象产生.此薄层是由在硅上外延生长i-p+-iSiGe时硼原子聚集在靠近Si的i/p+SiGe界面处形成的高掺杂薄层.高掺杂的薄层影响由此结构制备的异质结双极晶体管(HBT)的BC结的正向导通电压. 相似文献
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GaN薄膜低温外延的ECR—APMOCVD技术 总被引:3,自引:0,他引:3
给出了用电子回旋共振微波等离了体辅助金属有机化学汽相沉积(ECRPAMOCVD)技术和在低温、极低气压下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温外延技术的独特优点。 相似文献
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利用CMS52检测VHF/UHF收发信机杨伟强CMS52无线通信综合测试仪是德国R/S电子公司生产,供检测、维修部门使用较为理想的通信测试仪器,已为较多无委选用。它的测试功能很强,现将VHF/UHF收发信机常规指标检测方法介绍如下:开机,自检正常后进... 相似文献
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本文在参考了各种VHF/UHF信道模型的基础上,提出了一种专用于HDTV地面广播的信道模型。该模型充分考虑了HDTV信号在地面广播途径中所遇到的三类主要干扰,对HDTV传输系统的研究具有十分重要的意义。 相似文献
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为适应各国家正式开始启动的地面数字电视广播,罗德与施瓦茨公司正在推出新一代水冷UHF分米波电视发射机。紧凑的设计使得新DVB发射机的安装较为简便,由于其模块化的设计,可以组装为数字和模拟电视发射系统,可满足未来的需要,并具有经济性和可靠性。1 具有特殊功能的最新技术新型水冷UHF分米波发射机系列NV/NH7000使用LDMOS(横向扩散金属氧化物半导体)技术,通过正确调节数字激励器,可满足从地面数字电视标准DVBT到ETS300744和类似的PAL,SECAM和NTSC等各种标准,该系列设备支… 相似文献