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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
UHV/CVD低温生长硅外延层的性能研究   总被引:3,自引:2,他引:3  
本文利用自行研制的一台超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)系统,在780℃下进行了硅低温外延,取得了表面平整、缺陷密度低、界面质量良好、界面杂质分布陡峭的薄外延层  相似文献   

2.
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相淀积(UHV/CVD)系统,本底真空达1e-7Pa.该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控.利用该设备进行了硅低温外延实验,生长温度为780℃,得到了表面平整、缺陷密度低、界面杂质分布陡峭的薄外延层  相似文献   

3.
硅上超高真空CVD生长硅锗外处层及其特性研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
我们利用自行研制的UHV/CVD技术在直径3英雨的硅衬底上生长了锗硅外延层,并进行了实时掺杂生长,采用X射线双晶衍射和二次离子质谱技术确定了外延层的质量与组分,利用扩展电阻仪对外延层电阻率进行了表征,研究了生长特性和材料特性。由此获得了生长速率及组分与源气体流量的关系曲线,发策生长速率随Ge组分的增加而降低,以氢气为载气的B2H6对锗硅合金的生长速率有促进作用。  相似文献   

4.
用于SiGe材料生长的新型UHV/UV/CVD系统   总被引:5,自引:0,他引:5  
介绍了新近研制的用于SiGe材料生长的超高真空(UHV)/紫外光(UV)/能量辅助CVD工艺系统。  相似文献   

5.
MVDS称为宽带多路米波(甚高频VHF)分配系统,MUDS称为宽带分米波(特高频UHF)多路分配系统,是在MMDS技术的基础上,特为广播电视实现“村村通”而推出的新品种。1 MVDS/MUDS多路分配系统传输特点MVDS/MUDS多路分配系统与MMDS微波多路分配系统比较有如下特点。(1)MVDS/MUDS系统工作在VHF/UHF频段上,射频信号直接在空间传输,无需上变频发射及下变频接收;另外,VHF/UHF频段采用同轴电缆连接、功放模块组件,所需器件(特别是功率器件)价格约为MMDS设备同等器…  相似文献   

6.
我们利用自行研制的UHV/CVD技术在直径3英寸的硅衬底上生长了锗硅外延层,并进行了实时掺杂生长.采用X射线双晶衍射和二次离子质谱技术确定了外延层的质量与组分,利用扩展电阻仪对外延层电阻率进行了表征,研究了生长特性和材料特性.由此获得生长速率及组分与源气体流量的关系曲线,发现生长速度随Ge组分的增加而降低,以氢气为载气的B2H6对锗硅合金的生长速率有促进作用.  相似文献   

7.
本文对地面同播数字高清晰度电视(HDTV)的规划参数的合理选择进行分析,讨论HDTV的服务面积与D/U比(常规电视/HDTV或HDTV/HDTV同频道设置)、阈值信噪比之间的关系。  相似文献   

8.
真空紫外光直接光CVD法低温生长SiO_2薄膜及其性质   总被引:5,自引:0,他引:5  
杜开英  陈义 《半导体学报》1995,16(4):303-308
使用真空紫外(VUV)光直接光CVD工艺,在低温(50-150℃)下成功地淀积出了优质的SiO2薄膜.测试结果表明:淀积膜的红外吸收峰与高温热生长膜的相符合;氧和硅原子的组分非常接近化学计量比;光折射率在1.42-1.55之间;介电常数大于3.6;击穿电场强度在1e7V/cm的量级;用氯氟酸腐蚀液(参考配方:HF:H2O=1:12)测得膜的平均腐蚀速率约为1.27um/s.试用表明,当使用本实验工艺于硅器件的表面钝化、涂覆及层间隔离,替代PECVD和热CVD工艺时,器件的击穿特性和反向漏电流均明显地改  相似文献   

9.
陈朝枢 《数字通信》1996,23(1):53-54
SDH的映射和同步复用原理(三)陈朝枢MappingandMulitiPlexingPrincipleofSDH¥ChenChaoshu5、AU-4PTRAU指针提供了VC在AU帧内灵活和动态定位的方法。简单地说,AU-4PTR必须指明VC-4的第一...  相似文献   

10.
COFDM技术在数字TV/HDTV中的应用   总被引:8,自引:3,他引:5  
介绍COFDM技术在DTV/HDTV中应用的基本原理,分析克服多径干扰和常规电视干扰措施的性能,并阐述了COFDM技术硬件设计中的有关问题。  相似文献   

11.
本文介绍了CATV大功率共用天线放大器前端立柜,它采用了VHF/UHF分频道先放大、后混合的方案,解决了VHF/UHF频道间隔离度差的难题,输出功率大,是大系统共用天线理想的前端设备。  相似文献   

12.
本文用透射电镜(XTEM)和二次离子质谱(SIMS)分析了由超高真空化学气相淀积法(UHVCVD)生长的n-Si/i-p+-iSiGe/n-Si结构,发现在硅上外延生长i-p+-iSiGe时,在靠近Si的i/p+SiGe界面处存在一个很薄的层,但在i-p+-iSiGe上外延生长Si时,无此现象产生.此薄层是由在硅上外延生长i-p+-iSiGe时硼原子聚集在靠近Si的i/p+SiGe界面处形成的高掺杂薄层.高掺杂的薄层影响由此结构制备的异质结双极晶体管(HBT)的BC结的正向导通电压.  相似文献   

13.
GaN薄膜低温外延的ECR—APMOCVD技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
给出了用电子回旋共振微波等离了体辅助金属有机化学汽相沉积(ECRPAMOCVD)技术和在低温、极低气压下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温外延技术的独特优点。  相似文献   

14.
利用CMS52检测VHF/UHF收发信机杨伟强CMS52无线通信综合测试仪是德国R/S电子公司生产,供检测、维修部门使用较为理想的通信测试仪器,已为较多无委选用。它的测试功能很强,现将VHF/UHF收发信机常规指标检测方法介绍如下:开机,自检正常后进...  相似文献   

15.
本文在参考了各种VHF/UHF信道模型的基础上,提出了一种专用于HDTV地面广播的信道模型。该模型充分考虑了HDTV信号在地面广播途径中所遇到的三类主要干扰,对HDTV传输系统的研究具有十分重要的意义。  相似文献   

16.
G80集群系列产品一、集群片系列:1.提供下列手持机用集群片:1C—T31CP/21CP医段双工手机(有DTMF租数字展令片两种)、C450/150/、N888U/V、HX260U/V手机片2.提供下列车台用集群片:KG106、TK820/720、T...  相似文献   

17.
数字电视     
在数字技术高速发展的今天,对我们来说,数字电视(DTV)不再是个陌生的词。但呼之欲出的数字电视到底是个什么东西,它有什么特点,它与HDTV、SDTV有什么区别?它的发展到底怎样?1 数字电视和HDTV、SDTV数字电视(DTV)、SDTV、HDTV是广播电视界时常提及的三个名词,它们之间既有联系,也有区别。HDTV(HighDefinitionTV)起源于日本,是高清晰度电视的缩写,代表高质量图像和杜比数字环绕立体声。CCIR(国际无线电咨询委员会,现改名为ITU)的801报告中为HDTV规定…  相似文献   

18.
GaN薄膜低温外延的ECR-PAMOCVD技术   总被引:3,自引:2,他引:3  
给出了用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学汽相沉积(ECR-PAMOCVD)技术和在低温(≤600℃)、极低气压(≤1Pa)下生长GaN外延膜的装置、工艺及实验结果。并与以往的GaN外延技术进行了比较,说明了这种新的低温外延技术的独特优点。  相似文献   

19.
为适应各国家正式开始启动的地面数字电视广播,罗德与施瓦茨公司正在推出新一代水冷UHF分米波电视发射机。紧凑的设计使得新DVB发射机的安装较为简便,由于其模块化的设计,可以组装为数字和模拟电视发射系统,可满足未来的需要,并具有经济性和可靠性。1 具有特殊功能的最新技术新型水冷UHF分米波发射机系列NV/NH7000使用LDMOS(横向扩散金属氧化物半导体)技术,通过正确调节数字激励器,可满足从地面数字电视标准DVBT到ETS300744和类似的PAL,SECAM和NTSC等各种标准,该系列设备支…  相似文献   

20.
基于DMD的大屏幕投影显示器技术是有前途的HDTV候选技术Cheryl Ajluni消费市场的投影电视机(主要是CRT投影机)是投影显示器的主要应用。随着大屏幕高清晰度电视(HDTV)日益受到关注,投影显示技术已成为HDTV技术的主要候选者CRT技术...  相似文献   

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