GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定

对"ＧＫＪ－１．８ｍ激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度．     

电容位移法精确测量磁性薄膜的磁致伸缩系数

介绍了一种精确测量磁性薄膜磁致伸缩系数方法－电容位移法，并自行研制组装了一套测量装置，通过误差分析，仪器的精确标定，对稀土－铁超磁致伸缩薄膜的磁致伸缩系数进行了测量，获得满意的结果。     

计量文摘精粹

1·纳米级电容测微系统的研究作者:于永新周涛郑义忠摘要:本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题,对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型,给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析,并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0·1nm,测量范围±2~±50μm,满量程非线性优于0·5%。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位。关键词:纳…     

微测量中的PZT应用研究

压电陶瓷调制器（ＰＺＴ），在微测量中作为一种执行机构或传感器已得到广泛应用。我们应用ＰＺＴ调制器作为微位移驱动器．研制的磁盘表面非接触测量仪可实现Ｒａ从０．１６到０．０１μｍ的高精表面的精确测量。本文介绍仪器中所用的ＰＺＴ的测试分析结果。文中将在简述ＰＺＴ的设计加工之后，着重介绍其位移－电压响应特性测试以及为提高响应曲线的线性度所采取的校正措施。结果表明．经串一适当容量的电容可使ＰＺＴ响应特性的线性度改善为１．０８％．使测量仪中的精度有了可靠保证。     

LY－1型起爆材料快速检测仪

ＬＹ－１型检测仪以快速检测技术为设计基础，热浪失效理论为指导．文章论述了仪器设计、构件功能、性能参数、测量调试和现场应用．实践表明ＬＹ－１型检测仪测试结果真实可靠，是矿山现场和起爆材料制造厂家检测的理想仪器．     

霍尔式位移传感器的温度特性

本文研究了霍尔式位移传感器的温度特性，在理论分析的基础上设计了温度补偿电路和相应的软件补偿程序，使温度误差小于０．１％Ｃ＾－１。误差分析的结果与温度实验相吻合，证明了方法的可行性。     

纳米级电容测微系统的研究

本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题,对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型,给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析,并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0.1nm,测量范围±2~±50μm,满量程非线性优于0.5%。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位。     

小波分析用于表面粗糙度量仪导轨位移误差补偿的探讨

位移误差属低频信号，是电机振动造成量仪导轨位移不直而产生的。用小波分析可将粗糙度（高频信号）位移误差（低频误差）进行信噪分离，用软件把位移误差从测量数据中剔除，从而完成对仪器位移误差的补偿。     

机床误差的测量与补偿研究

随着人们对加工精度要求的不断提高，微位移技术也随之产生。微进给机构是指行程小、灵敏度和精度高的机构，是精密机械和精密仪器的重要组成部分之一。本文对机床微位移机构误差的测量与补偿进行了探讨。     

用激光向量测量技术测量和补偿体积定位误差

一、导论本文阐述用激光向量测量方法来测量ＣＮＣ机床或其他精密仪器的体积定位误差问题。传统的激光干涉仪只能测量位移误差 ,而激光向量测量法则能测量出“向量误差” ,即各轴的位移误差和其两个横向直线度误差。此法的关键是测量方向不平行于位移的方向。对四条对角线进行向量测量之后 ,三个轴各自的位移误差、各自的两横向的直线度误差以及三轴之间的相互垂直度误差等十二个参数都可测得。位移误差、直线度误差、垂直度误差、角偏误差和刚性误差决定了ＣＮＣ机床等精密设备、仪器的精度。描述一个机器的运动特性是一件复杂的事情。在每…     

一等环规测量仪的研制

一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术作为主体测量技术，以上三项技术的有机结合使该仪器的测量不确定度达到了国际法制计量组织(OIML)规定的一等环规的测量要求。     

微位移传感器在热膨胀分析中的应用

介绍用电感调频式微位移传感器改进热膨胀分析装置，使测量精度提高，易于观察、实验现象明显，实验教学效果显著。     

光栅式长度仪表示值误差检定系统

介绍了光栅式长度仪表示值误差检定系统的基本工作原理以及关键技术的解决。本系统具有测量精度高、重复性好、智能化、操作简单、用户可自由扩展等优点。     

光电跟踪测量仪器的系统误差的修正方法

对于现代光电跟踪测量仪器来说，为获得较高的实际使用精度，必须对仪器的系统误差进行检测并加以修正。本文是根据从事精度检测工作的实际经验，着重讨论在外场对静态系统误差进行检测和修正的方法，并且指出了采用系统误差修正的方法对于仪器设计和仪器使用的指导意义。     

双频感应测井仪误差校正方法研究与实现

双频感应测井仪的误差校正处理是整个仪器设计的关键一环,对后续的信号幅度比和相位差数据处理,以及正确评价地下油层信息具有非常重大的意义。首先描述了双频感应测井仪工作的理论基础,通过分析仪器线圈系的磁偶极子模型寻找到误差的来源;然后基于误差分析方法,提出了一种测量该系统误差的方法并予以电路实现;最后在模拟的现场环境中,进行误差测量与仪器修正值的确定。实测结果表明,该方法能够明显提高仪器测量相应曲线的准确度,达到误差校正的目的。     

利用白光扫描干涉测量表面微观形貌

由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PZT进行了标定.该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌.对被测工件表面进行了测试,试验结果表明:...     

基于微小形变测量的旋翼天平高精度测力校准系统

旋翼天平原位校准中,校准力精确加载是提高校准精度的重要因素。校准装置结构形变会给校准力加载造成误差,影响校准精度。针对这一问题,设计了旋翼天平测力校准系统。该系统采用激光三角法实现微小位移测量,通过测量立方靶块空间位置变化,计算力加载点位移;建立数学模型,分析结构形变对校准力加载影响,测量校准力。经实验,该系统可以消除结构形变影响,准确测量校准力,提高校准力加载精度。     

静电计检测微位移的原理和实验

该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极问电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计—平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。     

JSJ精密水准仪经纬仪综合检验仪原理及误差分析

介绍了一种最新研制的在室内检定高精度水准仪经纬仪的计量标准仪器,并分析了该仪器设计原理及误差来源。     

一种新型三维微位移工作台的设计和分析

为了解决微位移工作台的三维耦合问题,设计了一种驱动器固定的三维无耦合微位移工作台.本文介绍了它的结构和工作原理,通过有限元分析计算和样机实测验证,分别在X方向,X、Y方向和X、Y、Z方向施加载荷时,三维微位移工作台在X方向的位移不变,解决了三维空间运动耦合问题;分别在X、Y、Z方向施加不同载荷时,得到了工作台X、Y、Z方向的刚度,验证了工作台的位移、最大等效应力与载荷成正比.样机实测结果与有限元计算结果相吻合,工作台符合设计要求.