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本文介绍了用全自动光栅式指示表检定仪检定数显指示表示值误差测量结果的不确定度评定方法。 相似文献
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阐述了2 m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2 m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2 m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10 nm(1σ),1 m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40 L) nm (k=2)。 相似文献
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目前激光对中仪校准主要采用的方法为垫量块法,但是该方法存在操作复杂、工作效率低、可靠性不高等缺点。针对激光对中仪校准问题,本文提出了一种集光束对准与二维定位误差校准于一体的激光对中仪快速校准方法,并研制了的相应的校准装置。所研制的。该装置采用激光头固定器安装对中仪的被测单元,利用光栅式二维移动平台改变被测单元位置,通过三维回零偏置转台安装和调整对中仪的基准单元,利用自研的光栅数显表实时观测和显示X、Y轴位置及状态信息。该校准装置测量范围为40 mm×40 mm,测量扩展不确定度为3.2 μm。,具有准确性高、操作方便快捷、可靠性好等优点,具有实际应用价值和技术借鉴意义。为激光对中仪校准及其计量性能研究提供了有效的手段,具有很高的实用价值。 相似文献
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本文介绍的静态光电显微镜瞄准电路是微机化光栅数显象点仪的一部份,其作用是在精密静态测长中,实时显示工件刻线象(测尺时)或边缘反射象(测端度或测孔时)与光电显微镜的振动狭缝振动轴线的相对位置,以提示操作者移动工作台,使工件刻线象或边缘反射象与狭缝振动轴线完全对中,从而避免了目测对线所产生的误差,使瞄准精度大为提高。 相似文献
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光栅测长大量应用于精密位移测量中。如果在光栅测长系统中使用微处理机系统进行细分、计数、误差修正和结果显示,将有助于提高数字分辨率和提高测长精度,加快测量速度和降低光栅刻制的成本。本文提出的微处理机系统曾在装有光栅测量装置的万能工具显微镜上试用。计算机软件细分的分辨率为0.1μm,细分精度达到±1μm。使用的光栅尺为50线/mm。 相似文献
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激光跟踪仪系统测量不确定度预测方法研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对测量系统的测量不确定度预测问题,将现代信息论的思想应用于激光跟踪仪测量系统的测量不确定度分析与预测中,采用现代信息论中的时间序列自回归模型(AR模型)建立测量系统不确定度预测模型,揭示测量系统的结构与规律,对测量系统进行预测分析,提高测量系统的测量精度.通过建立基于AR模型的激光跟踪仪测量系统的测量不确定度预测模型,对激光跟踪仪系统的测距误差进行了预测分析.仿真实验表明,基于AR模型的测量系统的测量不确定度预测模型具有良好的精度,而且该模型预测分析数据具有可靠性. 相似文献
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为了解决综合验光仪的计量检定,研制了基于自准直清晰度法的综合验光仪球镜度、柱镜度、柱镜轴位、中心误差光电检测系统.该系统采用光栅测长传感器实现凹面反射镜位移的精密测量,采用角度编码器实现目标十字线分划板角位移的传感,使用CCD实现图像采集,利用计算机实现分析及测量.分析了影响测量精度和范围的因素,设计了综合验光仪的光学系统、关键物镜,给出了光电参数,仪器可溯源至顶焦度国家基准.理论分析和实验结果表明,该装置用于检测综合验光仪时球镜顶焦度扩展不确定度可达到(0.03~0.08)m-1(k=2),满足综合验光仪的检定需求. 相似文献
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针对激光陀螺平台系统中测角装置高精度、高稳定度与合适动态范围的技术要求,选用RENISHAW新型增量式圆光栅作为测角装置.采用FPGA芯片设计了光栅测角系统的信号处理电路,对光栅信号进行了时序同步、抗干扰数字滤波、倍频与鉴相,设计了计数电路及与上位机的通信接口.分析了误差产生的原因,并利用激光陀螺标定了测角装置的实际测量精度.实验结果表明,设计实现的测角装置测角分辨力为3",测量精度优于±8",动态角速率测量范围为O°/s~360°/s,测量结果准确,性能稳定. 相似文献
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介绍了2 m比长仪系统的组成,对其采用光电显微镜动态瞄准刻线和激光干涉测长原理进行了分析,研究了提高刻线瞄准精度和激光干涉测长精度的方法及利用现代电子技术实现刻线信号和干涉信号自动同步快速处理方法。自动信号处理系统基于FPGA现场可编程电路技术和计算机技术。通过对金属线纹尺测量的实验表明,依据JJG 331—1994激光干涉比长仪检定规程进行实验,2 m比长仪单次最佳刻线瞄准精度优于10 nm(1σ),对其测量的不确定度分析表明,对于测量高质量的高等别线纹尺,其测量不确定度U=(20+40 L)nm(k=2)。 相似文献
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随着数字化仪器的问世,现在越来越多的企业将数字化的仪器代替了以前的机械仪器,指示表检定仪也不例外。用传统的量块检定光栅式指示表检定仪时,往往由于大量块自身重力的原因可能对仪器示值引入误差,所以本文将分析一种新的检定标准——光栅测微仪代替量块检定光栅式指示表检定仪示值误差测量结果的不确定度评定。通过分析,光栅测微仪也能满足检定要求,且它具有测力小、读数直观等特点,较量块检定光栅式指示表检定仪来的更为方便。 相似文献
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为适应大批量生产东风 4D型机车的需要 ,设计抱轴箱体现场测量工艺。设计制作测量工装附件、配合数显高度仪通过对零件不同定位组合的测量来完成测量任务。经测量不确定度分析 ,满足产品精度要求 ,替代三坐标测量机测量抱轴箱体 相似文献
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激光跟踪仪测量曲面的测量不确定度研究 总被引:4,自引:0,他引:4
针对激光跟踪仪用于曲面轮廓度测量的不确定度评定问题,在论述了激光跟踪仪的标定和面向任务的测量不确定度的基础上,重点研究了Monte-Carlo模拟方法评价面向任务的不确定度的基本思想,并提出了虚拟激光跟踪仪的概念.最后通过实验研究,验证了采用Monte-Carlo模拟方法评价激光跟踪仪测量曲面轮廓度的不确定度是可行的. 相似文献