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目前在集成电路基底用硅片制造中,切割工序采用磨粒悬浊液的多线锯切正在成为主流。但是,多线锯切存在切割性能受悬浊液供应状态的影响、加工效率低下、加工精度不佳等问题。因此,为了提高作为下一代切割加工法而引人注目的金刚石电沉积线锯的效率和使用寿命,研究开发出芯线为绞合线的金刚石线锯,并介绍该线锯的制作方法及其切割性能。 相似文献
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借助游离磨粒的多线锯切广泛地应用于脆性材料的切割,但该工艺存在效率低下、作业环境恶劣等问题。为了解决这些问题,通过使用树脂结合剂金刚石线切工具或电镀金刚石线切工具,引进了固定磨粒线切工艺。电镀金刚石线切工具具有较高的耐磨性,但生产过程中电镀需要的时间太长,生产成本居高不下,因此不能付诸实际应用。为了降低生产成本,研究推出一种采用毡刷的超高速电镀工艺。一系列实验表明,新开发方法的生产速度比常规生产法快30倍,且新线切工具的耐磨性高于市场上的线切工具。 相似文献
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探讨了直径为100μm的微型Ni—W电沉积金刚石磨具的制作方法及其在硅切槽中的加工特性,以评价该磨具的加工性能和优化制作条件。在制作磨粒直径为2~4μm的磨具时,通过射流搅拌电沉积溶液可获得较为均匀的磨粒分布,从而减小了磨具寿命的差异。关于磨具状态和磨具寿命,试验得出了最佳电流密度。从磨具寿命的角度出发,对磨削速度和进给量进行了优化。 相似文献
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采用双阳极动态阴极电解槽以电沉积的方式制备铁铜合金Fe70Cu30,通过工艺试验、添加试验测定铁铜合金的性能及应用性能研究。研究结果表明:Fe70Cu30本身即具有良好的热压烧结性能和很好的冷压性能;研究表明电沉积铁铜合金能够降低烧结温度,硬度没有大的变化,抗弯强度普遍有不同程度提高。根据应用试验结果,我们认为电沉积铁铜合金在某些方面具有无法替代的作用。 相似文献
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钎焊单层金刚石工具的研究现状评述 总被引:5,自引:0,他引:5
在电镀和烧结金刚石工具广泛应用的今天,钎焊单层金刚石磨具以其独特的优势受到国内外研究者的重视,一些产品已经面世。文章从加热方式和钎料两个方面介绍了当前国内外钎焊单层金刚石工具的研究成果,分析存在的问题,在此基础上指出了钎焊单层金刚石工具的工艺发展方向。 相似文献
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文章针对电镀金刚石工具在使用过程中镀层脱落常见的三种类型,讨论了镀层脱落的影响因素,提出了解决镀层脱落的基本对策。 相似文献
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随着我国石材加工业的高速发展,必须发展高档金刚石工具。高档金刚石砂轮和涂附磨具在玻璃、陶瓷、木材加工和汽车制造业的需求量日益增大,而在半导体单晶硅、多晶硅以及其他晶体的加工中,对其性能要求越来越高,市场的潜力巨大。文章简介石材加工用高档激光焊接圆锯片和薄壁钻头以及金刚石串珠绳锯的研制,特别介绍金刚石涂附磨具的研制和应用。此外在电子信息和光电子产业的晶体加工中,高档金刚石工具占据重要的地位,以往未受业界重视,制造难度较大,文章亦提出了见解。 相似文献
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目前可以用于制备激光焊接金刚石工具过渡层粉末的方法主要有机械混合法、雾化法和化学共沉淀法。化学共沉淀法生产的粉末成分均匀,实现了粉末的预合金化,并且设备简单,生产成本低。此次试验采用草酸盐化学共沉淀法,成功制备了3种不同成分的激光焊接金刚石工具过渡层预合金粉末。焊接强度测试表明,3种粉末的焊接强度均满足欧盟EN13236安全标准,其中2#粉末的焊缝强度最高。X射线物相分析结果表明,3种粉末的主相都是Co3Fe7和CoFe。此外,固定Fe与Co的质量比,加入2wt.%的铜可以有效提高预合金粉末过渡层的焊接强度和稳定性。这是因为,Cu原子完全溶入到Co3Fe7或CoFe晶胞中并形成固溶体,产生了固溶强化。 相似文献
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随着预合金粉末在金刚石工具中使用量的增加,使用范围的不断扩大,不断完善预合金粉末的性能,进一步满足金刚石工具应用的需求,具有重大作用与意义。在预合金粉末生产方法中:湿法冶金方法生产的预合金粉,广泛并成功地应用在国外,但成本高,在国内市场应用较少。机械合金化方法多用于科研中,批量生产能耗大。在国内主要采用气雾化、水雾化、多金属化学共沉积法等生产预合金粉末。文章探讨了氧含量对金刚石工具性能的影响;介绍了国内不同生产设备条件下的还原工艺,进一步提出不断完善预合金粉性能的各种途径,以满足金刚石工具应用的需求。 相似文献