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相似文献
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1.
荆二荣  冯士维  郝伟 《材料导报》2007,21(6):21-22,34
从矩阵方法的基本原理出发,结合AlN/GaN结构的机械和电学边界条件,推导出用于求解声表面波在AlN/GaN结构中的相速的行列式方程.通过求解该行列式方程,分析了声表面波在AlN/GaN结构中的传播特性,包括声表面波相速和机电耦合系数随频率、AlN的膜厚和c轴取向的变化规律.AlN/GaN结构减弱了GaN中施主杂质的影响,使该结构更适合于声表面波器件的应用,AlN和GaN作为半导体压电材料,其AlN/GaN结构便于与其它电路集成化,有利于减小器件的尺寸,增强声表面波器件的功能.  相似文献   

2.
目的设计一种声表面波(SAW)温度传感器抗干扰技术,以提高温度测量的稳定性。方法分析SAW谐振器(SAWR)回波特性,建立SAWR回波信号熵能量模型,发现SAWR回波信号的衰减过程与熵能量的上升过程对应。当回波信号达到噪声水平时,熵能量的单调上升过程消失。为了抑制正弦干扰设计一种改进型自相关算法,利用该算法对信号进行去噪的同时使谐振器回波信号的衰减特性和正弦干扰的等幅特性得到保持。结果根据模拟仿真结果设置了SAWR回波信号的检测阈值(V_(thre)=1),并对该阈值进行了蒙特卡罗仿真实验。仿真结果表明,当信号信噪比大于4dB时,SAWR回波信号的检测率达到86%,而正弦干扰误检率小于0.5%。最后应用该算法对实际的正弦信号和SAWR回波信号进行了检测,得到的误检率接近于0。结论实验结果显示,所设计的算法可以用作声表面波温度传感器的抗干扰技术。  相似文献   

3.
LiNbO3声表面波特性及其应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.  相似文献   

4.
5.
声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用,展望了其今后的发展趋势.  相似文献   

6.
本文主要从声表面波传感器基础理论出发,首先分析了声表面波技术的发展,对声表面波传感器结构模型和工作模式特性做了必要的分析和研究,进而展开了对声表面波传感器敏感特性研究。并对仿真效果进行了扼要的总结,对声表面波技术在相关感领域的应用,本文也展开了一定的探讨。  相似文献   

7.
声表面波谐振器型振荡器的研制   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
范东远  陈明 《声学技术》1997,16(2):76-79
本文介绍了金属条射栅双端对声表面波谐振器型的原理和结构特点,给出了一种采用声表面波谐振器稳频的低噪声,高稳定性的振荡器电路设计方案。对影响振荡器频率稳定度的因素进行了分析讨论,并探讨改善声表面波振荡器频率稳定性的方法。该声表面波谐振器的中心频率为120MHz,无载Qv,大于20,000,插入损耗小于6.0dB,经测试,秒级频率稳定度为10^-10数量级,在自由室温下的日平均波动为10^-6/d数量  相似文献   

8.
在128°YX型LiNbO3衬底上制造了铝叉指电极对,实现了利用声表面波(SAW)对液滴进行驱动.对驱动原理、衬底材料选择进行了详细阐述,说明了选择LiNbO3作为衬底的合理性.在详细分析驱动力和阻滞力的基础上,构造了液滴运动理论模型,同时对理论模型进行了实验验证.实验结果表明,实验中液滴在移动距离较小时与理论模型吻合.提出一种用显著减小阻滞力的选择性沉积疏水导轨和实现步进移动的调制电源来实现二维数字微流体检测技术.  相似文献   

9.
本文采用直流磁控反应溅射法,在单晶Si(110),Al/Si,Diamond/Si三种衬底上分别生长出了高度c轴取向的ZnO薄膜.此薄膜具有高质量的纳米级结晶度(10nm~30nm),良好的表面平整度(低于10nm),高于107Ω·cm的电阻率及较高的应力承载性,很好的满足了薄膜声表面波(SAW)器件制备及降低损耗的需要.通过改变工作气压,氩氧比等工艺参数,较系统地探索了ZnO薄膜的制备条件.采用多种分析手段,如X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),高能反射式电子衍射(RHEED),原子力显微镜(AFM)等对薄膜的微观结构及结晶品质进行了测试分析,并对薄膜的电学性能及机械性能进行了考察.  相似文献   

10.
提出一种利用聚偏二氟乙烯(PVDF)传感器检测激光声表面波的实验方法,并介绍其构成和检测方法.将PVDF薄膜附在微型刀劈上,钳紧在金属固定块上,引出两个电极,从而实现信号的声电转换.利用Nd:YAG脉冲激光器激发声表面波,分别对金属铝板和缺陷铝板进行检测,得到了具有很好信噪比的超声信号.实验结果表明,信号灵敏度高,并可用于表面缺陷的检测.  相似文献   

11.
12.
张燕华  徐方迁 《声学技术》2011,30(3):216-218
日本学者Hashimoto提出栅格有效介电常数和离散Green函数,并结合有限元方法分析了短路金属栅阵中声表面波的传输特性。由此开发了相应的Fortran应用程序。国际上许多从事声表面波器件的研发公司都使用该程序设计他们的产品。以Rayleigh波在128°YX-LiNbO3基片、铝金属栅中传播为例,给出根据Hashimoto程序运算的结果,读取禁带下边缘和禁带上边缘所对应的相对频率的数值,代入COM理论色散关系的数学表达式中,该表达式的图形就是由COM理论色散关系而确定的波数色散曲线,以提取耦合模参数。  相似文献   

13.
Surface acoustic waves (SAWs) are elastic waves that propagate on the surface of a solid, much like waves on the ocean, with SAW devices used widely in communication and sensing. The ability to dynamically control the properties of SAWs would allow the creation of devices with improved performance or new functionality. However, so far it has proved extremely difficult to develop a practical way of achieving this control. In this paper we demonstrate voltage control of SAWs in a hybrid graphene-lithium niobate device. The velocity shift of the SAWs was measured as the conductivity of the graphene was modulated using an ion-gel gate, with a 0.1% velocity shift achieved for a bias of approximately 1 V. This velocity shift is comparable to that previously achieved in much more complicated hybrid semiconductor devices, and optimization of this approach could therefore lead to a practical, cost-effective voltage-controlled velocity shifter. In addition, the piezoelectric fields associated with the SAW can also be used to trap and transport the charge carriers within the graphene. Uniquely to graphene, we show that the acoustoelectric current in the same device can be reversed, and switched off, using the gate voltage.
  相似文献   

14.
The procedure describes the derivation of boundary integral equations for surface acoustic waves propagating under periodic metal strip gratings with piezoelectric films. It takes into account the electrical and mechanical perturbations, including the effects of mass loading caused by the gratings with an arbitrary shape. First, an integral equation is derived with line integrals on the boundaries within one period. This derivation is based on Hamilton's principle and uses Lagrange's method of multipliers to alleviate the continuous conditions of the displacement and the electric potential on the boundaries. Second, boundary integral equations corresponding to each substrate, piezoelectric film, metal strip, and free space region are obtained from the integral equation using the Rayleigh-Ritz method for admissible functions. With this procedure, it is not necessary to make any assumptions for separation of the boundary conditions between two neighboring regions. Consequently, we clarify the theoretical basis for the analytical procedure using boundary integral equations for longitudinal LSAW modes.  相似文献   

15.
使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌.研究结果表明:成核期的低气压有助于提高成核密度,成核面表面粗糙度约为1.5 nm;拉曼光谱显示1334 cm-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应,成核面含有少量的石墨相,且受到压应力的作用;ZnO/自支撑金刚石膜结构的XRD谱显示,氧化锌薄膜有尖锐的(002)面衍射峰,是c轴择优取向生长的.  相似文献   

16.
通过对声波表面天平历史发展、声波天平传感器类型、声表面波器件、声表面波传感器原理和特点的阐述,讨论了其在空间监测卫星污染的可行性,通过对该项技术的深入研究后表明,声表面波技术可应用在污染敏感卫星的微量监测领域。该项技术在空间环境监测方面具有广泛的应用前景。  相似文献   

17.
陈昕  周康源  顾宇 《声学技术》2003,22(4):255-257
文章设计了以声表面波为振动模式的压电免疫传感器,用于检测溶液中甲胎蛋白(AFP)的含量。实验采用双通道系统进行频率变化的测定,并采用蛋白A在晶体固定AFP抗体。实验结果得到了频率变化和质量附着的定量关系,并与理论分析相比较。试验表明该免疫传感器具有较好的重复性、选择性和敏感性。  相似文献   

18.
Recently, in the electronics and pharmaceutical industries, miniature devices that can transport a tiny amount of dry powder with a particle size of 100 μm or less are desired. We therefore focused on a surface acoustic wave (SAW) device, and we experimentally studied an interdigital transducer (IDT) that generates the SAW. As a result, it was found that an IDT with a 2-mm pitch size at a 90° inclination angle, against the perpendicular direction of a piezoelectric wafer (127.8° y-rotated x-propagating LiNbO3) orientation flat, had a high efficiency of copper powder (about 100-μm particle size) transport. Then, to investigate the availability of a SAW actuator with this highly efficient IDT, we fabricated a miniature feeder (13-mm height × 18-mm width × 78-mm length) mounted with a hopper on the SAW actuator and carried out a powder supply experiment. As a result, it was found that, when 1 W of electric power was applied to the IDT of the feeder, the powder supply capability of the feeder was about 18 mg/s. From this fact, it was experimentally shown that a SAW actuator with a highly efficient IDT has a great potential to control dry powder with superior accuracy.  相似文献   

19.
在浅海环境中,声速剖面和海底深度在水平方向上的变化都会对声传播产生较大的影响。将声速剖面用前几阶经验正交函数来表示,在一定范围的海域各阶经验正交函数系数可以近似为随水平距离线性变化,提出了一种非分层海洋中的声线计算方法,可以计算到达接收水听器的本征声线和传播时间。该方法计算速度快,计算精度较高,可以用于海洋中的声速剖面快速反演。  相似文献   

20.
通过分析近场声全息中传播波和倏逝波的声场分布与声源大小、辐射频率及测量距离的关系,得出了传播波和倏逝波在空间声场中的变化规律、影响因素以及两者之间的对应关系,确定了可利用的倏逝波传播距离。在此基础上,提出了一种改进的远场声全息方法:首先利用传统远场声全息方法重建声源,然后通过传播波与倏逝波的关系,得出声源面上相应的倏逝波成分,两者叠加获取接近于近场声全息的重建结果。最后,通过仿真和实验验证了这一结果。  相似文献   

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