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纳米电子/纳米光电子技术 总被引:9,自引:0,他引:9
主要介绍纳米技术领域里纳米电子学/纳米光电子学的基本概念、纳米电子学的分类、纳米电子器件、纳米光电子器件、纳米电子学和纳米光电子学的发展模式以及纳米高技术群。 相似文献
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面向21世纪的纳米电子/纳米光电子技术 总被引:4,自引:0,他引:4
引言 信息社会对集成电路的集成度要求越来越高,促使人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。纳米电子学和纳米光电子学在此背景下应运而生。 纳米电子学 1.纳米电子学的基本概念 相似文献
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纳米电子器件与纳米电子技术 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题。 相似文献
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介绍了纳米科技与纳电子学的基本概念及其发展简史。在论述纳电子学动态的基础上,从电子学对器件的体积、速度和功率需求方面,分析了纳电子学的目标是“更小、更快、更冷”;以及研究纳电子学的现实和历史意义;基于纳电子器件的构成材料、基本理论与基本特性,特别对单电子器件的动态进行了分析,说明了纳电子学集成电路与计算是纳电子学发展的必然。在此基础上对纳电子学的存在问题和发展趋势进行了展望。 相似文献
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纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。主要介绍纳米光电子学的基本概念,发展模式,纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。 相似文献
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纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。本文主要介绍纳米光电子学的基本概念、发展模式以及纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。 相似文献
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纳米光电子器件的最新进展及发展趋势 总被引:3,自引:1,他引:2
纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。本文主要介绍纳米光电子学的基本概念,发展模式,纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。 相似文献
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