基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作

提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器.它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀,导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的.为了确定传感器结构、优化尺寸,采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺,对制作的微湿度传感器进行了测试,其灵敏度为0.21 mV%RH,最大湿滞为8%RH.     

基于MEMS传感器的胎儿心率检测仪

对胎儿心率的监护,能够监测出胎儿在母体的突发情况,并及时进行救治,可有效预防围产期胎儿死亡.本文运用一种新型MEMS加速度传感器,设计制作出一个小型化、便携式的胎儿心率监护仪.据有体积小、重量轻、功耗低的特点,便于在日常生活中随身携带,方便实用.     

基于MEMS实现SOI压力传感器工艺研究

应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体（SOI）压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,本文说明了SOI在微电子机械系统（MEMS）技术上的实现优势,并对压力传感器SOI结构的实现工艺进行了探索性试验,完成了SOI压力传感器的设计和封装,在强调了压力传感器的测试方法的同时,对所设计的样品进行了测试。     

湿度传感器的选用及发展趋势

湿度传感器在工农业控制领域的应用越求越广泛,介绍了湿度传感器的分类和各自的优缺点以及适用领域,并对湿度传感器选用原则进行了介绍,同时对湿度传感器与湿度变送器进行了区别,最后总结了当前湿度传感器的发展情况及发展的趋势.     

MEMS执行机构在微小力传感器量值溯源中的应用

对一种基于微电子机械系统（MEMS）执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析。结果表明：该装置可产生空间任意方向微小力,实现空间非竖直方向微小力传感器量值溯源;利用该装置对微小力传感器进行量值溯源时,能大幅减小极板间距离测量与控制不确定度对输出微小力影响,装置无需配备复杂昂贵的位移控制与测量辅助装置便可达较高精度。对简化微小力传感器量值溯源装置结构具有较大实际意义。     

基于MEMS的生物微传感技术

微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本,高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术,介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用,并探讨了其发展和应用前景。     

MEMS传感器的标准化现状与发展对策

随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。     

基于虚拟仪器的温湿度测量系统设计与实现

温湿度测量系统是特殊要求实验室必备的测量仪器,传统的实验室温湿度测量装置是以单片机为核心,用数码管显示湿度值,根据不同的温湿度要求,通过硬件设定不同的调节终态,从而将实验空间的湿度调节到设定值.为了更好地了解特殊要求实验室的温湿度变化规律,传统的测试装置已经不能适应实验室的需要.利用虚拟仪器技术设计制作温湿度测控系统,使用LabVIEW和数据采集卡相互配合采集温湿度信号并输出控制信号,结果显示更形象直观,操作更方便,并且还可以较容易地实现功能扩展.     

基于虚拟仪器的MEMS陀螺仪静态性能测试系统设计

介绍基于虚拟仪器的MEMS陀螺仪静态性能测试系统的设计.系统利用虚拟仪器、STC89C52单片机、nRF24L01无线通信芯片和转台实现MEMS陀螺仪数据的自动采集,并通过软件滤波和数学算法进行数据处理,得出陀螺仪标度因数、非线性度、零偏稳定性等静态性能参数,实现陀螺仪静态性能参数的自动测量.     

基于AT89C51的数字式温湿度仪设计

针对机械式和非数字式温湿度仪不能上传数据的问题,设计了一种以单片机AT89C51为控制核心的数字式温湿度仪;详细介绍了该测量仪的硬件及软件设计,并给出了数字式温湿度传感器SHT11的3个操作函数即复位时序函数、写字节时序函数和读字节时序函数的编程实现。测试结果表明,该测量仪可靠性高、成本低。     

基于虚拟仪器的发射筒温湿度监控系统设计

为了解决传统的以硬件为主的发射筒环境监控系统操作复杂、交互性差等问题,利用虚拟仪器技术开发了其温湿度监控系统。该系统实现了发射筒內温度、湿度的实时采集、显示和存储;同时,还提供了超限报警与温湿度调节、历史数据处理等功能。本系统结果显示形象直观,操作方便,较容易实现功能扩展。     

基于ELC谐振器的湿度传感器

LC谐振式湿度传感器因无源无线,可极大拓展传感器应用范围,已成为湿度传感器的研究热点之一.将超常媒质(metamaterials)应用在谐振器的结构选择上,解决了传统LC谐振式传感器尺寸过大,灵敏度较低的问题.湿度传感器由电耦合LC谐振器(ELC谐振器)和聚乙烯醇(PVA)敏感薄膜构成.首先利用电磁仿真软件,分析ELC谐振器主要结构参数对谐振特性的影响,设计和制作谐振频率为2.45 GHz的谐振器,品质因数达到302.然后通过滴涂法将制备好的感湿材料聚乙烯醇溶液涂敷在ELC谐振器表面制作湿度传感器,并进行了湿度敏感测试.实验结果显示:ELC谐振器在全频段内磁导率均为正,在频段2.19 GHz~2.98 GHz内介电常数为负,具有超常媒质特性;湿度传感器在相对湿度35% RH~88% RH范围内,谐振频率共偏移69.875 M,且在83%~88% RH湿度范围内感湿灵敏度η达到71.5 MHz/% RH.研究表明ELC谐振器因超常媒质特性实现了结构小型化,且由于品质因数较高改善了湿度灵敏度.     

多孔硅相对湿度传感器的设计

基于对三明治型与平铺型两种多孔硅湿度传感器结构的灵敏度分析与比较,结合两种结构的优点,设计出新的传感器的结构。通过对该结构湿度传感器的性能测试,得出该传感器的灵敏度为1.1 pF/RH%,响应时间为73 s,温度湿度系数为0.5%RH/℃,该湿度传感器适用于在中低湿环境中测量,在每隔20 d的时间对传感器跟踪测试,证明该传感具有较好的稳定性。此外为了传感器可以自解吸附,该传感器采用多晶硅为传感器加热除湿,在金属电极上溅射一层钝化层以防止电极被水汽腐蚀。     

新型MEMS热流陀螺的制造

MEMS热流陀螺是一种基于热流体理论的新型陀螺.该器件利用封闭腔体内的气体作为敏感元件,代替了常规MEMS陀螺的复杂振动结构和悬挂质量块,具有抗大冲击、体积小、重量轻、成本低、可批量化生产等优点.本研究的目的是为了验证MEMS热流陀螺的可行性,主要介绍该器件的研制过程,包括流体场仿真和工艺实现.最后得到了MEMS热流陀螺及其输出曲线,测试结果很好地验证了基于热流体理论的MEMS热流陀螺的可行性.     

智能型高分子湿度测量误差的软件修正研究

介绍一种温度测量方法,研究此方法产生的误差以及误差修正的数学模型,把三维问题转化成二维问题来处理,使得编程和计算大为简化。研究结果表明:为提高低精度测量仪的精度,可以采用高精度测量仪器作为基准,由节点处的误差值构造误差曲线并通过软件修正仪器的测量误差;如误差曲线变化复杂,采用三次样条插值能取得很好的修正效果。修正后的相对湿度测量精度达到±3%R.H。     

基于LabVIEW的湿敏电容测试系统研究

本文研究的湿敏电容测试系统是用虚拟仪器技术组建的,将LabVIEW应用到湿敏电容测试系统中,实现对测试数据的采集、分析处理及显示。设计了通过串口方式对仪器进行控制、数据采集及对湿敏电容进行分选的方法。应用LabVIEW软件的测试系统能解决人员、时间、精度和稳定性等诸多问题,使工作人员能够通过电脑屏幕直观的看到测试结果,并将结果储存到电脑中自动分析。     

基于LabVIEW的发射度测试仪

在加速器和束流输运线设计的参数中,束流发射度是描写束流品质的最重要的参数.为了提高束流品质,必须进行发射度的测量.利用虚拟仪器系统的概念来构造特定的测量系统是一个发展趋势.介绍的发射度测试仪,能够实现对各种设备的编程控制,完成数据的采集、传输和分析处理.