低抖动双通道准分子激光器

设计了一台快放电双通道XeCl准分子激光器。测得该激光器两束激光间的抖动时间在一个工作大气压时为±1ns,在二个大气压时为±5ns。每个通道的激光输出能量在80～100mJ,最大约150mJ。     

高同步双束XeCl准分子激光器的脉冲加宽

我们利用一台新颖的双通道准分子激光器,在两组主放电电容上分别连接两组LC脉冲形成线.两组电容器用一个公共火花隙控制对相应的通道放电.获得了脉冲宽度达60ns,高同步(抖动时间≤±4ns的XeCl准分子激光输出.每束激光的能量达120mJ.     

准分子激光低抖动延时同步系统

准分子激光放大技术可将固体掺钛蓝宝石飞秒激光器通过频率转换后得到的小能量深紫外飞秒脉冲放大为大能量深紫外飞秒脉冲。为了满足准分子激光器与固体飞秒激光器之间同步工作的需要,设计了一种准分子激光低抖动延时同步系统。该系统采用现场可编程门阵列(FPGA)数字延时和可编程延时芯片延时相结合的方法,利用时间测量芯片实现对延时时间的闭环控制从而提高系统延时的稳定性,最终实现对外触发脉冲信号的精确延时。验证实验表明，该系统在1～100 Hz频率下运行稳定,输出触发脉冲信号延时范围为56 ns～2.4μs,理论延时步进为10 ps,抖动在±1 ns内,完全满足飞秒激光器与准分子激光器同步工作的需要。     

高同步双束长脉冲XeCl准分子激光器

我们利用一台结构新颖的双通道准分子激光器,在两组主放电电容上分别连接两组LC脉冲形成线。用一个公共火花球隙控制对相应的通道放电,从而获得了脉冲宽度达60ns高同步(抖动时间≤±4ns)XeCl准分子激光输出。每束激光的能量达120mJ。 实验中,我们研究了激光器激励电路的变化对激光脉冲宽度的影响,还研究了不同的气体组分和混合气体气压对光脉冲宽度及输出能量的影响。同时探讨了双束长脉冲激光器的高同步性能。     

《中国激光》1986年(第13卷,总109～120期)总目录

今。。—。个 期 总期 页t335tf。。&k＄g。@%@#。。八。切。 小型高功率XeCI激光器(简 期 总期 页 讯)4 112 244光栅选频单纵模35*W DF:x色心凋Q磷酸盐玻 TEallO。激光系统 工 w9 25 璃激光振荡器 4 112 249复合腔可调谐 Co。波导激光 长脉冲 xe‘”sc&.s urn激光 器的研究 1109 29 器特性的研究 4 112 251稳定腔偏振抽取单横模页识F原子柑厂一3S‘P跃迁产 Y人G激光器 1109 34 生的激光 5 113 266Blumlein放电长脉冲 XeCI 低抖动双通道准分子激光器 5 113 270 激光器的窄线宽输出 工 J09 36 对同步泵浦染料激光系统已KTP内腔倍频…     

基于CPLD的数字可编程延迟单元的设计

在双腔同步全固化激光电源及输出能量稳定系统研究中,系统为MOPA结构的准分子激光器提供两套同步抖动小于5 ns的4000 Hz全固化高压脉冲快放电电源,采用EMP570T100C3的CPLD器件设计一个数字可编程延迟器,并通过仿真与实验,证明方案满足了项目设计的需求。     

合束方式提高准分子激光输出脉冲能量稳定性

为了获得稳定性更好、能量更大的准分子激光输出脉冲,对合束方式提高输出脉冲能量稳定性的可行性进行了理论推导、模拟实验以及合束实验研究。从理论推导得知,当激光输出脉冲能量符合正态分布时,多台激光器合束可以降低输出能量相对标准差。对三台输出脉冲能量分布特性符合正态分布的准分子激光器进行合束模拟实验研究,每台输出脉冲能量平均值约为153 mJ,脉冲能量相对标准差约为1%。两台准分子激光器合束时得到输出脉冲能量平均值为305 mJ、能量相对标准差为0.7%的准分子激光脉冲。三台准分子激光器合束时可以得到输出能量平均值为458 mJ、能量相对标准差为0.6%的准分子激光脉冲。使用两台准分子激光器进行三次实际合束实验,其中两台准分子激光器三次合束分别输出能量平均值约为355、350、330 mJ,相对标准差为1.3%、1.2%、1.4%的激光脉冲;三次合束后分别得到能量平均值为687、694、646 mJ,相对标准差为0.86%、0.79%、0.83%的激光脉冲。模拟实验以及合束实验都表明,合束后的能量相对标准差均小于单台能量相对标准差,即合束提高准分子输出脉冲的稳定性。因此,当单台准分子激光输出脉...     

影响XeCl 准分子激􀀂 光器寿命的因素

准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论对了激光器寿命影响比较大的两大因素：高速放电开关和激光腔体。     

准分子激光器的脉冲宽度

本文根据激光振荡条件,讨论了准分子激光器增大激光脉冲宽度的条件。原则上准分子激光器可以连续工作,但是,目前还不大可能获得连续输出的准分子激光器。     

双受激准分子激光器

美国加利福尼亚劳伦斯利弗莫尔实验室研制了一种使用两种气体的新型激光器。它叫做双受激准分子激光器（two-excimer laser)。术语“受激准分子”的意思是,被强激发的原子结合成一体,形成分子,然后分子发射激光。“双受激准分子”指的是包含有两种不同元素的分子。     

将开发1千焦耳级准分子激光器

日本工业技术院电子技术综合研究所将开发具有日本最高输出的准分子激光器。激光核聚变研究主要是用玻璃激光器和CO2激光器进行。然而，从效率等角度考虑，为实现实用反应堆，釆用准分子激光器被认为是有用的。     

信息

下一代准分子激光器 准分子激光器实际上属于气体激光器家族。准分子激光器是最有效的大功率紫外激光光源，虽然这种激光器是一项很困难的技术，但近些年来这种激光器却是一个活跃的研究课题并且具有很高的商业价值。连续的改进使准分子激光器在某些应用中成为了重要的紫外激光光源，并使其在新市场中有很好的应用，如生产光纤布拉格光栅和平面显示器。准分子激光器概述 英文中准分子 （ｅｘｃｉｍｅｒ）是“受激二聚体（ｅｘｃｉｔｅｄｄｉｍｅｒ）”的简称。在化学术语中指由两个相同的惰性气体原子组成的分子。这些原子只有在激发态下才…     

准分子激光开辟工业市场新格局

准分子激光开辟工业市场新格局近几年来，准分子激光器已经悄然地从物理学家的“玩具’变成了有用的工业和医学工具。准分子激光器市场的认可和成长壮大的背后存在着两种推动力量：一是常规工业的小型化趋向使得人们对新的微型加工方法的需要日益增长，而准分子激光器正好...     

以准分子激光器为中心的新激光器的研究和动向

对于作为紫外波段和真空紫外波段中高输出、高效率激光器的准分子激光器来说，七十年代正是黄金时代。如表1所示，自1972年真空紫外激光器出现以来，研究了许多真空紫外准分子激光器、紫外准分子激光器。最近，可见波段准分子激光器的研究也兴盛起来(参看表1)。     

准分子激光加工的应用

准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...     

双通道共电极双波长高同步射频波导CO2激光器

研制了双通道、双波长共电极的射频波导CO2激光器,激光器采用双通道共电极结构,每一通道用光栅选频输出,可用压电陶瓷(PZT)控制激光腔长,以调节激光频率以及脉冲激光建立时间。两个通道同时获得了不同波长的脉冲激光输出,通过调节PZT上的电压使双通道输出脉冲激光达到同步,激光器不仅结构紧凑、体积小,而且具有很高的脉冲同步几率。     

高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

介绍了一种基于PIN光电二极管的紫外激光脉冲能量在线检测系统。首先,采用激光主光路外的检测光实现激光脉冲能量的无损在线响应;其次,采用高速高精度积分电路将响应光电流处理为电压峰值;最后,利用激光系统的同步触发信号进行检测时序设计从而获得精确的激光脉冲前后的检测系统输出差值,经过计算后获得精确的激光脉冲能量。检测系统在248 nmKrF和308 nmXeCl准分子激光器上进行了测试,实现了对0~200 Hz重复率运行的准分子激光能量在线无损检测,测量结果与输出端外置能量计测得结果相对比,相关性与可重复性一致,满足应用需求。     

定向棱镜谐振腔准分子激光器

在普通平－平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振胶准分子激光器。该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能量集中的光场分布,压缩了光束发散角,改善和提高了光束质量。提供了一种实用新型的准分子激光器技术。     

准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法

准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中,特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题。文中描述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径,并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制电磁干扰和提高系统可靠性的方法。     

LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

以准分子激光应用于微细加工为目的,采用了一套光束诊断技术对德国Lambda Physik LPX 305iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定。