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电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体,称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。 相似文献
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概述了电子特种气体考察情况。着重介绍所考察的美国Praxair公司和日本酸素株式会社在电子特种气体的研制、开发、生产、供应方面的技术细节,提出了发展我国电子特种气体产业的一些建议。 相似文献
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综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术,一体化供气系统,超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术,电子材种气体市场以及ISO9000系列认证。 相似文献
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在电子工业中如何正确选用高纯气体 总被引:1,自引:0,他引:1
随着科学技术向高、精、尖发展,对各种原材料“纯度”的要求开始越来越高。但是,高纯气体所能提供的数量通常总是较少的,同时,价格昂贵。因此,如何正确地恰如其分地提出对原料气的纯度要求,如何选用高纯气就成为一个值得讨论的问题。正确地处理好这个问题,在技术和经济上都会带来深刻的影响。 相似文献
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据悉,全球最大的有机硅综合生产基地近日在张家港投产。该基地由德国瓦克集团和美国道康宁公司共同投资12亿美元建造,将于2010年达到完全生产能力,届时将年产 相似文献
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1989年9月上旬,联碳公司林德分公司披露了一项生产中等数量中等纯度氧和氮的新技术,该技术可望使非深冷法生产这些气体的成本降低20%~50%,并打开了低成本气体的新市场。林德公司的技术是随各主要工业气体生产厂商最近的提价决定,并指出对最主要的几种工业气体年增长率为3%~7%之后宣布的。深冷分离法占批量工业气体市场的 相似文献
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特种气体是具有特殊用途的气体。它是为适应现代电子工业、化学工业、尖端技术、环境保护、医学科学及基础科研、精密检测等需要,于六十年代中期在现代工业气体大规模生产的基础上迅速发展起来的一个新的生产技术体系。特别是大规模集成电路的研制和生产,大型石油化工装置生产过程的自动化等,必需使用电子气体和各种超纯气,以及以超纯气体为基础配制的各种量值可靠的混台气体, 相似文献
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电子气是半导体工业必不可少的基础原料,其纯度决定了半导体器件的质量和性能。本文概述了国际半导体设备材料产业协会(SEMI)现行电子气标准中气体种类、纯度要求及其应用状况,主要综述了H_2、O_2、N_2、CO、CO_2、烃类、水分等常见杂质和金属离子、氟离子等特殊杂质的检测方法及其原理。 相似文献