氧化钨基半导体气体传感器的研究进展

近年来,氧化钨(WO_3)基半导体气体传感器由于可用来检测低浓度二氧化氮、二氧化硫、臭氧和氨气等气体而受到广泛关注。将WO_3基材料分为4类:纯WO_3材料、氧化物-WO_3复合材料、贵金属-WO_3复合材料和有机物-WO_3复合材料,总结近年来中外文献中WO_3基材料对不同气体的响应性能,展现近年来国内外WO_3基半导体气体传感器的研究进展。最后根据已有的工作进展,提出合成新型纳米材料、降低工作温度、提高传感器选择性应成为WO_3基半导体气体传感器下一阶段的研究重点。     

固态气体传感器

固态气体传感器Ｐ．Ｔ．Ｍｏｓｌｅｙ１．引言二十世纪中，伴随着社会工业化进程的不断发展，气体监测技术应运而生。有机燃料和其他化学物质已逐渐成为人们日常生活和工业生产中不可缺少的一部分，但与此同时，也带来了环境污染等不良后果。环境保护是眼下最热门的话题之...     

半导体压力传感器的动向

半导体压力传感器的动向樱井止水城等随着工厂自动化和家庭自动化的进展，各种传感器大量应用，其成本也因大批量生产而显著降低。温度传感器、磁传感器和光传感器是它们的代表产品。压力传感器也致力于应用集成电路技术的半导体化，实现了高性能化和降低成本，现已广泛用...     

智能气体传感器研究

本文用具有不同特性的非选择性气敏元件组成气敏阵列，结合神经网络模式识别和信息处理技术，进行混合气体识别和浓度定量检测。着重说明神经网络模式识别法在气敏阵列信号处理中的应用。     

漂浮膜型半导体真空传感器

本文给出了用硅平面工艺和微加工工艺制造的漂浮膜真空传感器。传感器的测量上 限为１０ ｋＰａ，分辨率为１０ｍＰａ。传感器的特性和物理模型推出的公式很一致，误差 为２％。     

气体传感器研究进展

通过对气体传感器原理和发展历程的研究和归纳,对电化学型、光学型及电学型气体传感器的原理、发展、特点以及适用范围进行了阐述。文章针对国际上目前气体传感器的发展趋势进行了详细的分析,归纳了气体传感器新原理、新材料及优化结构这三个方面的发展方向,并对应用MEMS技术研制气体传感器提出了展望。     

光传感器用半导体材料的现状

传感器是近年电子学领域内发展较快的一门技术。传感器种类繁多,但其中目前占主要地位的是光传感器,它包括红外线传感器、紫外线传感器、可见光传感器以及放射线传感器等。制造光传感器所用基础材料是半导体材料,因为它能满足光传感所需的两个条件,即它与金属和电介质不同,对光有     

半导体工艺中使用的特种气体

日本的半导体工业，以优异的半导体生产技术和其创造能力，在世界上取得了惊人的发展。     

甲醛气体传感器研究进展

甲醛是室内空气的主要污染物之一,随着人们对室内空气污染的日益关注,对甲醛的准确及时检测显得更加重要。目前检测甲醛气体最为快速的方法就是传感器法。在综合分析了国内外甲醛气体传感器的研究现状的基础上,着重就测定甲醛的电化学传感器、基于化学发光的传感器、金属氧化物传感器、电子鼻、声表面波传感器的特性进行了阐述与剖析,指出了甲醛气体传感器存在的问题,并预测了其发展趋势。     

半导体工业对特种气体的要求

特种气体在国防、化工、电子、冶金、能源等现代科研部门和国民经济的一些领域中有着广泛的用途。尤其是对于电子部门中的半导体领域，这类气体更显得重要。从半导体材料、半导体器件、集成电路的制造到半导体材料、器件的理论物理的研究都离不开各类特种气体。也就是说，如果没有合格的高纯、超纯气体和各种组成的混合气体就制造不出成品率高的集成电路，也就没有电子计算机。     

一种新型红外多组份气体传感器

针对红外多组份气体分析存在的问题,采用窄带红外滤光片、光锥、热释电探测器阵列组合技术,研制了一种新型多组份气敏传感器。通过更换滤光片组件功能模块,可实现不同测量领域不同种类气体的定量分析。该传感器具有结构新颖、简单可靠、成本低等特点。实验结果表明,SO2和CO2的最大相对测量误差分别为8.3%和1.2% 。     

新型声表面波气体传感器

介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。     

浅谈气体传感器的标定

气体传感器需要进行阶段性地标定和检查,以保证传感器准确性和系统的健全性。文章重点讲述关于气体传感器的标定方法和标定过程中的一些注意事项。     

半导体型乙醇传感器研究近况

气体传感器在现代科学技术领域发挥着重要作用,它们被广泛用于公共安全、污染监测、呼吸分析、智能家居等。由于其低成本、高灵敏度、易制造的优势,促使众多研究人员对气体传感器展开广泛研究。尤其是金属氧化物半导体(MOS)型气体传感器,此类传感器可检测150多种有毒有害气体,对具有易挥发、易燃易爆性质的乙醇(C₂H₅OH)有机挥发性气体(VOCs)具有良好的气敏特性。本文回顾了近一年来最先进的MOS电阻型乙醇传感器,详细阐述了传感器对乙醇气体的传感机制;重点介绍了不同MOS型传感器对乙醇的敏感特性,分析了诸如金属掺杂、异质结复合材料以及MOS分等级结构对乙醇传感器性能的影响。通过分析可得,SnO₂、ZnO基传感器对乙醇的传感性能最佳,特别是经金属掺杂和由不同导电类型半导体构建的异质结MOS传感器。     

电化学氯乙烯气体传感器性能分析

论述了电化学氯乙烯气体传感器的工作原理,并从传感器的响应时间、恢复时间、灵敏度、长期稳定性、交叉干扰以及温度对零点的影响等方面与英国Alphasense的ETO-A1传感器进行了全方位的比较。实验及数据表明,Wensen研发的电化学氯乙烯气体传感器与国际知名企业的同类传感器性能基本相当。     

气体浓度测量中的电化学传感器动态特性补偿

针对电化学气体传感器的动态响应延迟问题,设计了一种电化学气体传感器的动态特性测量装置,研究了气体传感器动态特性补偿及应用。为减小电化学气体传感器的动态响应时间,提出了用粒子群优化(PSO)算法对电化学气体传感器逆建模的动态补偿法,获得动态补偿滤波器模型,对电化学气体传感器的响应-恢复时间进行补偿。将补偿方法应用于研制的存储式气体浓度测试系统,测试结果表明该方法有效地改善了传感器的动态响应特性,并在响应时间上提高了3.6倍,恢复时间提高了2.8倍,具有可移植性强、易于实现的特点。