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介绍了利用交流电桥和相敏检波(PSD)原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能,对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究,在8h内测量,电容差值的漂移可小至10-3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计,可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明,这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa,覆盖五个数量级的真空度测量。 相似文献
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近二十年以来, 仪器的小型化发展以及微机电系统 (MEMS) 技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中, MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上, 具有体积小、能耗低的优点, 能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域, 是真空计量仪器研究热点之一。然而, 体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈, 研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析, 对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后, 对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。 相似文献
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王呈祥韩晓东李得天成永军孙雯君李刚 《真空科学与技术学报》2019,(1):24-33
近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。 相似文献
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采用了一支满量程为1333Pa的绝压式电容薄膜真空计,在金属膨胀式真空标准装置上对其进行温度变化的影响实验研究,包括在开和未开控制单元的规管恒温和温度补偿功能两种情况下环境温度变化的实验,并在实验过程中记录了电容薄膜真空计的零点漂移情况。其中,在打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,电容薄膜真空计测量准确度非常好。而在未打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,在10^-2~10^-1Pa两个量级上电容薄膜真空计的示值与标准值有较大偏差,最大偏差为36%;而在1~10^2Pa量级上电容薄膜真空计测量准确度也非常好。 相似文献
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介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规,以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1.3~105Pd,真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内,以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0.1℃,有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0.4%,高真空下北输出漂移小于0.1%,在13~105Pa各量程内,最大校准误差小于读数的4%。 相似文献
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单电容结构电容薄膜真空计输出结果常受到工作环境的不利影响,计划设置双电容结构改善这一情况。为研究双电容结构对电容薄膜真空计电容输出特性的影响,根据电容计算理论和FEA(Finite Element Analysis),基于COMSOL Multiphysics软件构建双电容结构有限元模型。通过理论计算和模拟仿真分别得到在不同载荷条件下测量电容和参考电容的理论值和模拟值,分析不同结构的电容随载荷变化情况。结果表明:双电容结构对电容薄膜真空计电容输出特性有一定优化作用。对比单电容结构,双电容结构电容薄膜真空计的优势为,在感压薄膜挠度变化小于其厚度时,线性度提高0.6%,灵敏度降低0.6 pF/Pa;在感压薄膜变形接近固定极板时,线性度提高3.6%,灵敏度降低0.001 pF/Pa。 相似文献
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本文介绍了电容薄膜规的四个发展阶段和现状.综述了各阶段的制造、性能特点。对电容规的测量原理、校准技术、特别是主要性能进行了详细讨论。并就电容规的实际使用给出了可供借鉴的操作模式。 相似文献
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吴成耀成永军孙雯君裴晓强冉欣董猛赵澜 《真空科学与技术学报》2023,(3):225-230
电容薄膜真空计(Capacitance Diaphragm Gauge,CDG)是一种常用的粗低真空测量传感器,具有较高的测量精度和稳定性。温度是影响真空计量准确性的重要因素之一,环境温度的变化会导致CDG的测量结果发生较大的偏移。为探究温度对CDG测量结果的影响情况,开展了温度环境实验,考察了保温型与非保温型CDG在-30℃~50℃环境中测量结果的变化情况。实验结果表明,保温型CDG在额定温度0℃~45℃环境中测量结果较为稳定,温度高于或低于该区间范围时,测量结果会发生一定程度的偏移;温度对非保温型CDG造成的影响较大,利用温度-压力误差曲面可以修正CDG误差,提高真空计测量精度。 相似文献
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静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。 相似文献
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介绍了同轴场式脉冲磁控真空计的测量原理以及设计中的有关问题。给出了某些真空灭弧室的压强-离子电流曲线。测量结果表明,该磁控计的压强-离子电流曲线为幂指数函数,磁控放电的离子电流与磁场强度无关,但磁场强度必须足以产生稳定的磁控放电。压强-离子电流曲线与灭弧室电极几何构造和触头的状况有关。 相似文献
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电磁力驱动振膜真空计的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种新的电磁力驱振膜真空计,它的压强量程覆盖10^-2Pa-latm,如需要上限可高达2atm。改进电路稳定性后,下限可氏10^-3Pa。与现今的静电务驱动振膜真空计相比,高压强扩展了一个量级。该振膜规管的特征是振膜两侧分别固定一个带磁极的驱动线圈和信号线圈。 相似文献
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电容薄膜式绝对压力变送器从70年代末发展至今,以其优良的性能,逐渐成为低真空测量的主要仪表。随着工艺、技术的不断发展,在原有产品的基础上进一步开发带恒温系统产品,使仪表的性能更趋完善。为了满足用户将真空仪表用于易燃、易爆场合的特殊需要,研制成功防爆型真空仪表,达到国家《GB3836-1993》防爆标准。 相似文献
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国内电容薄膜式压力变送器发展现状 总被引:1,自引:0,他引:1
一、概述电容式薄膜真空计是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的 ,其主要由电容式薄膜规 (又称电容式绝压变送器 )和测量仪器两部分组成 ,其原理如图 1所示。以下将主要介绍国内电容式薄膜规 (以下简称薄膜规 )的发展现状。图 1 电容薄膜规原理图二、电容薄膜规的发展薄膜规是八十年代初开始发展的一种全压强真空测量仪器 ,它具有高稳定性、高精度、耐腐蚀等优点 ,近年来随着科学技术的发展特别是产品性能的提高 ,薄膜规已经被广泛地应用。目前薄膜规已经成为航天部门、核工业、军事领域极其重要的仪器仪表。美国… 相似文献