制备光学薄膜的离子源技术概述

随着工业技术的发展及市场的需求,低能宽束离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料改性的离子束注入混合技术和光学薄膜制备的离子束辅助镀膜技术.本文在多年该技术的实践与发展基础上,总结了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源,其中包括考夫曼离子源、霍耳离子源、射频离子源、无栅离子源、阳极层离子源(均由我们实验室制造)的工作原理,设计要点,分析了使用时可能出现的问题及解决办法,最后从各种离子源的工作机制、工作特点、性价比、优缺点上予以比较.相信会有益于从事薄膜的工作者.     

机器人系统任溅射镀膜设备中的应用

现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲而零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到.本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中的应用,并对镀膜机器人应用条件和控制过程进行论述.     

直流磁控溅射镀膜在玻璃涂层技术中的应用

本文在探讨镀膜玻璃一些基本问题的基础上,阐述了磁控溅射在玻璃涂层技术中的应用机理、靶的结构靶材的选取、提高膜层质量以及镀膜玻璃的应用及发展前景等问题。     

真空电弧镀DZ22合金NiCrAlY涂层性能研究

真空电弧镀ＤＺ２２合金ＮｉＣｒＡｌＹ涂层性能研究北京航空材料研究所吴凤筠一、前言真空电弧镀膜设备Ａ１０００采用电弧放电直接蒸发镀膜材料制成的阴极靶，与同类型镀膜设备一样有如下特点：ａ．金属阴极蒸发源不熔化；ｂ．由磁场控制电弧放电，可细化膜层微粒；ｃ．...     

氧化物镀膜材料的研究与开发

微波炉通过形成高速交变电磁场来加热炉腔中的食品,省时节能,对食品营养破坏少。然而,由于它依靠高频电磁波加热物品,故对包装材料和容器有较为严格的要求：１．微波透过性良好;２．有良好的耐热性能（既能耐低温冷冻,又能耐１００℃以上高温）;３．阻隔性能良好,保证食品品质在流通过程中不发生明显变化,延长货架寿命;４．安全卫生。作为微波炉、微波食品开发发展的一个重要的组成部分,研究开发微波炉食品包装材料具有十分重要的意义。国家计委１９９６年４月批准我院对微波食品包装材料进行研究的立项,作为国家重点科研项目“…     

关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题

本文目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源.     

塑料镀膜用涂料的制作

塑料镀膜用涂料的制作与金属材料相比，塑料价格低廉，易加工，因而被大量用作装饰材料，但是塑料表面光泽低，花色品种少，配色难，用作装饰材料又受到一定的限制。应用真空镀膜技术在塑料底材上镀膜，可大大提高塑料的表面光泽，而且又易于喷涂各色涂料，配色方便，装饰...     

非晶态镀膜技术进展

对非晶态合金的特性,非晶材料研究的历史与现状,制备非晶材料的各种技术和非晶应用作了简要介绍。侧重说明应用电镀和化学镀方法制备非晶态合金技术、各种非晶合金的类型及其工艺,展望了非晶镀层的应用及其发展趋势。     

调制电流对电镀Ni-SiC复合膜性能的影响

研究了在调制电流作用下Ni SiC复合镀膜的成分和性能 ,包括SiC沉积量、镀膜显微硬度、延展性和耐磨性等。通过控制电流密度以 0 .2A/dm2 ·min速率从 8A/dm2 连续衰减到 2A/dm2 ,可从瓦特液中获得比恒流电镀镀膜性能更优SiC梯度镀膜。当施加脉冲电流且脉冲幅值与基值比为 8∶2 (A/dm2 )、占空比为 1/ 6∶10 / 6(min)时 ,镀膜耐磨性和显微硬度均最优     

90年代大面积真空镀膜的展望

用蒸发方法镀制金属镜是早期商用大面积真空镀膜技术之一。对早期的这些应用来讲,只要膜的光学密度及膜与基底的附着力满足了基本要求就行,而对膜厚及均匀性等均未作特殊控制。时至今日,大面积真空镀膜已从简单的制镜以及在“钟罩”内在刚性单个物品上镀膜发展到包括用卷绕式镀膜设备在纸及塑料基底上连续制备薄膜。这些大面积镀膜技术已得到了很广泛的应用,它们包括电容器的金属化聚合物膜、包装材料的装饰膜、建筑玻璃镀膜、工艺装饰品镀膜,反射镜面和透镜镀膜以及防眩 CRT 屏等。新的市场需求、技术进步     

高透明低方阻ITO—Ag—ITO柔性镀膜技术

高透明低方阻ITO－Ag-ITO柔性薄膜具有广泛的用途，本文介绍了膜系设计，工艺参及控制，对设备结构也做了简要叙述，测试结果表明，ITO－Ag-ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产，性能优异，工艺稳定，系统可靠。     

行星周转镀膜装置设计

针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。     

镀膜机张力控制系统的改造和微机接口电路设计

本文从系统设计角度对长膜镀膜机张力控制系统进行了分析，详细介绍了张力控制系统的接口方法和接口电路，以及控制对象工作状态判别的原则。     

1Cr18Ni9Ti离子镀TiN膜后的抗氧化性

本文研究了奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti表面用离子镀方法生成TiN膜后的高温氧化性能。结果表明,当TiN膜厚为4.5μm时,在850℃/104h后,有膜试样的增重减少90％,在950℃/104h后,增重减少73％。