士兰微电子再创MEMS传感器新品

士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发,并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源,并于近期取得实质性进展,推出了三轴加速度传感器SC7A30和三轴磁传感器SC7M30。     

基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器

提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明,本光纤加速度传感器灵敏度为164mV/g,3dB带宽的截止频率为1 600Hz。     

MEMS传感器

MEMS传感器成为全世界增长最快的产品之一，MEMS产品的可靠性高，技术附加值高，市场回报率大于传统产业。MEMS传感器与系统将会有更大的市场增长，惯性测量器件、微流量器件、光MEMS器件、压力传感器、加速度传感器、微型陀螺和汽车领域应用的MEMS器件(压力传感器、加速度传感器、微型陀螺)等的应用将具有巨大的潜力。     

中国电科MEMS加速度传感器产品在国际招标中获胜

日前,由中国电科第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术,在国际招标项目中,一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜,标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到国际先进产品水平。     

MEMS加速度传感器的原理及分析

主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。     

MEMS加速度传感器及压电式加速度传感器失效机理的分析

阐述MEMS加速度传感器和压电式加速度传感器的原理,包括压阻式和电容式的加速度传感器、探讨失效模式、失效机理,给出避免失效的方法。     

基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器

在分析MEMS加速度传感器测量倾角的原理和方法的基础上,设计了基于MEMS双轴加速度传感器的数字化全量程单轴倾角传感器,并介绍了其软硬件实现。通过分析加速度传感器的安装误差及X轴和Y轴的灵敏度差异,给出了加速度传感器的参数校正算法,并确定合适的测量频率与带宽,经测试,所设计的数字化单轴倾角传感器测量范围±180°,精度0.1°。     

加速度和角速度传感器的单芯片化

据《日经微器件》2006年第11期报道,美国Analog Devices公司使用MEMS技术开发了车载的新型传感器芯片。该器件的特点是将加速度传感器和角速度传感器MEMS制作在同一芯片上,实现单芯片化,其次是使用SOI图片来设计新结构的加速度/角速度传感器。2008~2009年计划将3轴加速度传感器     

基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器北大核心CSCD

在分析MEMS加速度传感器测量倾角的原理和方法的基础上,设计了基于MEMS双轴加速度传感器的数字化全量程单轴倾角传感器,并介绍了其软硬件实现。通过分析加速度传感器的安装误差及X轴和Y轴的灵敏度差异,给出了加速度传感器的参数校正算法,并确定合适的测量频率与带宽,经测试,所设计的数字化单轴倾角传感器测量范围±180°,精度0.1°。     

MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究

研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器。测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径。