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文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0.2-小于20μm,无横向测试范围的限制。在对SiO2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜软酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果。 相似文献
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薄膜电致发光(thin film electroluminescence,简称TFEL或EL)显示器件,具有全固化、主动发光、重量轻、视角大、反应速度快、使用温度范围广等诸多优点,有着广泛的应用前景。TFEL器件的结构中包括了多种功能薄膜的应用,器件性能的好坏决定于各种功能薄膜的合理选择及其制备工艺。本文对TFEL器件中的功能薄膜进行了介绍。 相似文献
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薄膜干涉型光学全通滤波器的设计与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
设计并分析了用于多信道色谱补偿的薄膜Gires-Tournois干涉仪(GTI)型光学全通滤波(OAPF),讨论了反射镜的膜层结构对器件 的群延迟谱和反射谱的影响,。以及大角度入射引起的偏分离现象和幅度畸变现象,给出了单级和多级串拉OAPF的初步设计结果。 相似文献
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