微纳米尺寸测量技术

随着精密和超精密加工技术的迅速发展,亚微米和纳米级的测量方法不断出现,本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。     

浅谈现代机械加工技术的发展

现阶段,国际上产业结构的调整使得各个行业不断融合和协调发展。机械加工技术作为制造业的根本和基础,其发展水平对于制造业的发展有着直接的决定性影响。对精密加工、特种加工、超精密加工、纳米加工等作为现代机械加工中的先进技术的研究,可以有效的提高现代机械技工技术的水平。     

纳米计量标准的发展现状与趋势

纳米计量技术能够为超精密加工技术提供纳米级位移和三维形貌,在纳米技术中扮演着重要角色.纳米计量标准包括台阶、膜厚、光栅及线宽等,用来校准现场条件下的纳米测量仪器.为了解纳米计量标准的发展现状与趋势,分析了台阶、膜厚、光栅以及线宽等纳米计量标准的国内外现状、国际比对情况和发展趋势,对实现解决测量仪器的溯源性,建立国际单位制下的纳米计量体系做出了相应工作.随着一个技术节点到下一个技术节点,为保证测量仪器的准确度,需要开展更小尺寸下纳米计量标准和测量方法的研究.     

浅淡现代机械加工技术的发展

现阶段,国际上产业结构的调整使得各个行业不断融合和协调发展。机械加工技术作为制造业的根本和基础,其发展水平对于制造业的发展有着直接的决定性影响。对精密加工、特种加工、超精密加工、纳米加工等作为现代机械加工中的先进技术的研究,可以有效的提高现代机械技工技术的水平。     

浅析机械制造工艺与精密加工技术的分析

在当前社会经济和科技快速发展的今天,我国机械制造行业也有了非常繁荣的大好局面。与此同时,以往的机械制造技术无法达到现代机械制造领域的标准要求。因此在这样的前提之下,要不断的探索和更新现代机械制造工艺与精密加工技术,要不断推动机械制造领域的全面与可持续的发展。本文章将深入分析了现代机械制造工艺的分类和应用,并且分析了气体保护焊接技术、埋弧焊接技术、搅拌摩擦焊接技术、螺柱焊接技术以及电阻焊接技术等机械制造技术的内涵和运用。而且分析了精密加工技术的分类和运用,还分析了精密切削加工技术、微细加工技术、超精密研磨加工、技术纳米加工技术以及模具成型加工技术等一些精密加工技术的内涵与运用。并且探讨了现代机械制造工艺与精密加工技术存在的联系,还指出了现代机械制造工艺与精密加工技术有着关联性、系统性以及全球化的联系。     

计量型原子力显微镜环境温度的测控

在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源.为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响.其次对纳米测昔中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性.     

纳米级大尺度超精密线位移测量方法的研究

在研究纳米级超精密机床的检测过程中，针对机床的加工要求，提出了纳米级大尺度超精密线位移误差的检测采用宏微线位移测量方法，并应用于超精密机床的检测。检测结果表明，该方法可以利用现有精密测量仪器满足检测超精密机床的要求。     

基于SPM的纳米计量中若干重要问题

扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣。在精密工程领域,它作为一种极具前途的纳米计量工具,已在许多国家受到了广泛的重视,如美国NIST,德国PTB和英国NPL等都相继开展了基于SPM的纳米计量技术研究。但作为纳米级的计量分析仪器,不仅要有高分辨率,更要有纳米级甚至更高的精度。     

正电子纳米显微新技术日前在日开发成功

据媒体报导，日本原子能研究开发机构日前开发出一种正电子纳米显微新技术。该技术可利用正电子束，对表面纳米物质内部的原子排列进行精密观测。这项技术有助于开发新的表面纳米技术。表面纳米技术是一种将纳米材料技术与表面技术交叉而形成的高新技术，指通过表面技术处理纳米材料，使金属或非金属表面形成纳米层。这种纳米层具备高硬度、耐磨：耐腐蚀和耐高温等特性，其组成物质被称为表面纳米物质。表面纳米物质是未来半导体产业的尖端材料，高精度显微技术是研究这种尖端材料的首要工具。实验表明，由于电荷的斥力，带正电荷的正电子束难以进入物体内部，而是在物体表面被全部反射。     

光学微结构的超精密加工技术

微结构光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛，采用多轴超精密机床加工光学微结构，可达到亚微米级形状精度和纳米级表面光洁度的高精度水平，详细介绍了光学自由曲面及光学微结构的超精密加工技术，并开发了适合超精加工微型槽和微透镜列阵的刀具轨迹自动生成软件。     

2007测量技术与智能仪器国际会议（ISMTII2007）

1概况测量技术与智能仪器国际会议(ISMTII2007)由ICMI(InternationalCommitteeonMeasurementsandInstrumentation)、日本精密工程学会、韩国精密工程学会、日本东北大学精密纳米研究中心联合主办,美国北卡罗莱纳大学精密测量中心、新加坡制造技术研究所协办,将于2007年9月25~27日在日本东北大学举行。本次国际会议将是介绍和交流精密测量与智能仪器、计测理论与工程应用、测控技术等领域的先进技术与应用、最新发展动态的国际盛会。与会专家、学者、工程师们将就本领域的新知识、新思想、新方法进行广泛的交流和探讨。2征文内容Applie…     

浅谈超精密加工机床的新技术及发展

1引言 随着现代科技的发展应用,对零件的加工E精度要求从微米级提升到亚微米级、纳米级。超精密加工技术是实现这一目标的重要途径,其发展程度体现了一个国家制造技术的发展水平。     

智能型纳米级超精密抛光机的研究

研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm 以下,并获得表面粗糙度小于0.2nm 的平面。     

离心沉降场流分离技术用于纳米颗粒尺寸的准确表征

以名义粒径为240nm的聚苯乙烯标准纳米颗粒悬浮液为样品,利用离心沉降场流分离仪以0．1％FL-70的水溶液为流动相分离。测定检测器波长为254nm时,纳米颗粒在离心力场的作用下通过分离通道的保留时间,从而确定纳米颗粒的平均粒径,测定值为247nm。此外,还利用扫描电镜法测定了纳米颗粒标准物质的粒径,测定值为220nm,结果表明,离心沉降场流分离技术较扫描电镜法更接近于聚苯乙烯纳米颗粒标准的名义粒径,具有更高的准确度和精密度。该方法可望成为纳米尺度表征的一种参考方法。     

补偿式光纤F—P干涉仪的信号处理系统

本文提出并研制成补偿式光纤F-P干涉仪信号处理系统,提出了用来测量微小位移信号的三种方法及电路,即透射峰时间间隔测量法、光脉冲基波幅度测量法(精密整流法)、鉴相法。测试结果表明:时间间隔测量法,它的最大灵敏度达到0.26纳米/微秒;精密整流法,最大灵敏度为2.38纳米/伏特。     

纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展

随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值。Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性。在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望。     

纳米计量与传递标准

纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色。纳米技术就某种意殳上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术。纳米科技的各个领域都涉厦对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理／化学性能(功能)的测量、表征。纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用。纳米测量技术包括：纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量。目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线竞、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定,文章重点评述了国际上为建立可溯源于国际基本单位制(SI)的纳米计量体系努力。包括：纳米尺度测量(台阶、节距)的国际比对,传递标准在纳米计量体系中的特殊作用,用于校准扫描探针显徽镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的传递标准研制概况。     

圆度误差分离技术中若干问题的探讨

由Talyrond 3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC微机组成了计算机辅助纳米级圆度测量系统,它采用多步法误差分离技术,将圆度仪的测量精度由原来的0.025μm提高到0.002μm。讨论了多步法的原理、方法误差能及分度转台设计中的几个问题。     

压电陶瓷驱动并联微动机器人的研究

介绍了集精密机械技术，精密测试技术和智能反馈技术于一体的压电陶瓷驱动六自由度并联微机机器人。该微动机器人采用以压电陶瓷为驱动元件和弹性支撑并联机器人的结构形式，具有高频响、高分辨率，结构紧凑，铡度大等优点，实现了机构，驱动、检测一体化，达到纳米级定位精度，是微驱动技术与并联机器人交叉结合的成功尝试。     

无机材料超光滑表面的制备

随着光学、微电子、航天和激光技术的发展，在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题。近年来，此项技术研究进展声速，不仅改进了传统的抛光技术，还出现了浮法抛光、离子束加工和弹性发射加工等新技术。系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展，并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理。