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相似文献
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1.
徐阿妹  朱海军 《半导体学报》1997,18(10):725-730
本利用RHEED、X射线双晶衍射及TEM等技术,研究了在Si(001)衬底上,用晶化了的列定形Ge层做缓冲层MBE生长Ge时,引入表面活化剂Sd所产生的影响。研究表明,Sd的引入将全使Si(001)衬底上无定形Ge膜的晶化温度显提高,并在一定的生长条件下,破坏Ge外延层的结晶性。  相似文献   

2.
碲化物薄膜的附着牢固度与其显微结构的关系   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
用X射线衍射(XRD)和透射电镜术(TEM)观察Si和Ge基板上PbTe、CdTe及PbGeTe单层薄膜及其与ZnS组合的多层薄膜的显微结构,给出了薄膜附着牢固度与薄膜显微结构的关系  相似文献   

3.
(001)GaAs衬底上异质外延的立方GaN薄膜与界面   总被引:7,自引:3,他引:4  
顾彪  徐茵  孙凯  秦福文 《半导体学报》1998,19(4):241-244
用电子回旋共振微波等离子体辅助金属有机化学气相沉积(ECR-PAMOCVD)法,在低温条件下,在(001)GaAs衬底上异质外延,生长了立方晶GaN薄膜.高分辩电镜(HREM)观测与X射线衍射(XRD)测量结果表明:GaN薄膜具有典型的闪锌矿结构;三种方法测得其晶格常数为0.451~0.457nm;在GaN/GaAs界面处的生长模式为异质外延;GaN薄膜中的位错主要为堆垛层错与刃形位错;随着远离界面,GaN中位错密度与镶嵌组织迅速减少.  相似文献   

4.
5晶(7晶)X射线衍射仪非常适合于高级半导体单昌,特别是Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ=Ⅵ经合物半导体及其异质体外延层的特性分析。本文将简单地介绍5晶(7晶)X射线衍射仪,以及在半导体薄膜研究中的结果。  相似文献   

5.
自8月7日起,艾尔莎(ELSA)影雷者X显示卡由原来的RMB1750元,下调至RMB 1430元,与同类的GeForce 256显示卡相比,此次调价令艾尔莎(ELSA)影雷者X凭借其出色的性能、完善的服务,成为目前显卡市场上最超值的产品。同时,影富者X2 DDR显示卡也由原来的RMB2700元,降至RMB 2500元。艾尔莎推出“惊市奇价”  相似文献   

6.
米侃  赛小锋  侯洵 《半导体学报》1999,20(2):152-156
本文应用高分辨率多重晶多次反射X射线衍射仪(High-ResolutionMultiple-CrystalMultiple-ReflectionDifractometer,HRMCMRD)研究了粘接后的GaAs/GaAlAs/玻璃结构.利用倒易空间衍射图的方法评价粘接后的晶体质量,给出了倒易空间衍射的三维强度分布图.结果表明,粘接过程中较大的应力将使应变的非四方畸变加剧,同时生长方向的应变产生较大的变化.这都将在晶体内部产生缺陷,影响器件的光电特性.成功的粘接样品表明,应变造成摇摆曲线的半峰宽(FWHM)  相似文献   

7.
本文采用固相外延法在SIMOX衬底上生长了β-FeSi2薄膜,采用X射线衍射(XRD),卢瑟辐背散射(RBS)以及自动扩展电阻测量研究了样品的多层结构,Raman谱表征说明它与直接在硅片上生长的薄膜具有类似的晶格振动特性.  相似文献   

8.
本采用固相外延法在SIMOX衬底上生长了β-FeSi2薄膜,采用X射线衍射(XRD),卢瑟辐背散射(RBS)以及自动扩展电阻测量研究了样品的多层结构,Raman谱表征说明它与直接在硅片上生长的薄膜具有类似的晶格振动特性。  相似文献   

9.
报道了以Al2O3为衬底在GaN薄膜上LP-MOCVD外延生长InGaN单晶薄膜,并研究了InGaN的生长特性。实验给出了InxG1-xN合金的固相组分与汽相组分和生长温度的变化关系,并应用X射线衍射(XRD)、X射线回摆曲线(XRC)和室温光致荧光(PL)谱等技术对外延层的晶体质量、完整性和发光特性进行了分析。发现InGaN/GaN系统中保持适当的压应力有助于提高外延层的晶体完整性,减少非故意掺杂杂质的引入,能改善外延层的发光特性。  相似文献   

10.
激光熔敷NiCrSiB合金组织与物相研究   总被引:11,自引:2,他引:9  
王安安  袁波 《中国激光》1997,24(2):169-173
报道了对NiCrSiB激光熔敷合金中共晶组织的研究和观察,将共晶中的第二相标定为Ni31Si12。γ′(Ni3Si)相与γ(Ni,Cr)相共存于枝晶中,共晶包围着枝晶形成合金的基体,其上弥散分布着硬质强化相CrB,Ni3B和M23(CB)6。研究方法包括SEM(扫描电子显微镜),电子探针,XRD(X射线衍射),EDAX(能谱分析)和波谱分析等  相似文献   

11.
我们采用MOCVD外延技术首次在GaAs(100)和(111)衬底上成功地生长了MgSe单层薄膜.利用X射线衍射技术观察到了它的NaCl结构、纤锌矿结构和闪锌矿结构三种相结构,并首次实验测量出了闪锌矿结构MgSe的晶格常数  相似文献   

12.
爱立信(ERICSSON) 输入(右*左*左*左*)后会显示: ABCDEF GHIJ PRGXXXXXXXXX ABCDEF为年、月、日(YY/MM/DD) 诺基亚(NOKIA) 输入*#000#显示: VXX·XX为软件版本, DD-MM-YY为生产日期(日-月-年), NXX-X为手机型号:如3310为NHM-5。 摩托罗拉( MOTOROLA) 查MSN(在手机标贴上)内容,MSN长度为十位: AAA-B-CC-DDDD AAA为型号代码(A74- Cd920/928, A84 2000); B为产地代码(2-…  相似文献   

13.
Si/Ag/Si和Si/Au/Si薄膜分形晶化的TEM和EDS研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文利用透射电镜(TEM)和X射线能谱(EDS)对a-Si:H/Ag/a-Si:H和a-Si:H/Au/a-Si:H薄膜的分形晶化行为进行了研究。结果表明薄膜的分形晶化强烈依赖于退火条件,分形的形成可用随机逐次触发形核和生长(RSNG)来加以解释。尽管膜内存在明显的互扩散,Si分形区厚度与均匀基体区厚度相近。但在a-Si:H/Ag/a:Si:H膜中存在部分较大的Ag晶粒凸出膜面。  相似文献   

14.
纳米硅薄膜结构特性研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
在电容式耦合等离子体化学气相沉积系统中,使用高氢稀释硅烷为反应气体制备出了晶粒尺寸为2~10nm的纳米微晶相结构的硅薄膜,使用高分辨电子显微镜(HREM),X射线衍射谱(XRD),X射线光电子能谱(XPS)和红外光谱(IR)等结构分析手段检测了其结构特征.结果表明,纳米硅薄膜的晶格结构为畸变的金刚石结构.X射线衍射谱表明除了Si(111)的2θ=28.5°和Si(220)的2θ=47.3°处的衍射峰外,在2θ=32.5°处存在着一个强的异常峰.HREM结果表明存在新的Si结晶学结构与XRD异常峰相关联.  相似文献   

15.
本文用磁控射方法制备了几种Mo/SiO2多层膜。在北京同步辐射装置(BSRF)的衍射站上测量了其氏角X射线衍射(XRD)谱,并利用基于光学动力学理论的递推公式对低角X射线衍射谱进行了拟合,定量分析了膜层的周期结构和界面度以及界面度与层数、层厚的关系。同时用高分辩电子显微镜(HREM)对一样品的截面进行了观察。  相似文献   

16.
本文首次研究金属Co与分子束外延Si1-xGex单晶薄膜快速热退火(RTA)固相反应,并对比了CO、Ti与SiGe固相反应时不同的反应规律实验采用RBS、AES、XRD、SEM等分析和测试手段对样品的组分和结构等薄膜特性进行检测.实验发现,Co/Si0.8Ge0,2在650℃热退火后形成组分为Co(Si0,9Ge0.1)的立方晶系结构,薄膜具有强烈择优取向;900℃处理温度,有CoSi2形成,同时Ge明显地向表面分凝.TiN/Ti/Si0.8Ge0.2固相反应时,850℃处理可以形成Ti(Si1-yGey  相似文献   

17.
创新公司的DVD-ROM套件又将升级,配备8倍速DVD-ROM的PC-DVDEncore8X即将上市。PC-DVDEncore8X套件包括一个8XDVD-ROM和一块采用Dxr3技术的MPEG2解压缩卡,能提供效果上佳的硬件MPEG2解压缩的影音播放效果。创新的DXR3(DynamicXtendedResolution3)技术,除了能完成硬件MPEG2解压缩外,还可将DVD影片普遍使用的AC-35.1声道数码音效输出,再通过AC-3解码器由5.1声道音箱输出相当于影院的效果,该卡还配有S/PDI…  相似文献   

18.
StructuralandElectricalBehaviorsofAgFilmsDepositedonLiquidSubstratesG.X.Ye1,2Q.R.Zhang2H.L.Ge2C.M.Feng2(1Dept.ofPhys.,Hangzh...  相似文献   

19.
α—Fe2O3薄膜的制备,结构和气敏特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用等离子增强化学气相淀积工艺(PECVD)制备出了Fe2O3薄膜,用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的结构、表面形貌和粒度,研究了薄膜对乙醇、液化石油气、煤倔和氢气的敏感特性。结果表明所研制的薄膜对乙醇有较高灵敏度,共检测下限可达1ppm,而对液化石油气、煤气和氢气不太敏感,具有优良的选择性。  相似文献   

20.
Si1-xGex/Si多层异质外延结构的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
郭林  李开成  张静  刘道广  易强 《微电子学》2000,30(4):217-220
对制作的Si1-xGex/Si多层异质外延结构进行了研究。并对其做了反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)和扩展电阻(SR)等测量,给出了利用这种结构研制出的异质结双极晶体管(HBT)的输出特性曲线。  相似文献   

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