气敏元件的制作方法

就气敏元件来说，目前已有接触燃烧式气敏元件和半导体式气敏元件。     

化学量传感器

<正> 三、接触燃烧式气敏元件 石油化工厂、隧道及矿井等场合均存在可燃性气体,因此,在这些场合进行可燃性气体检测和采取必要的安全报警措施是十分重要的。 可燃性气体是指触及火种或在高温下可引起燃烧或爆炸的气体,典型可燃性气体的种类及爆炸浓度范围如表5所示。通常,接触燃烧式气敏元件的测量范围为     

用非加热式气敏传感器的有毒气体报警器

在有毒气体报警器的设计制作中,气敏传感器通常选用加热式、旁热式及催化燃烧式的半导体气敏元件。由于该类元件在工作时需要加热,元件长时间处于较高温度状态下,引起灵敏度变化,需要定期对气敏元件进行标定,给使用带来不便,同时由于加热也使得元件的功耗较大。下面介绍一款由非加热式气敏传感器构成的简易有毒气体报警器,可以克服以上不足。电路原理图如附图所示。气敏传感器采用非加热式气敏传感器TP-1.1A,它是采用纳米SnO2进行半导体掺杂,以微珠结构制成的非加热式低功耗气敏传感     

自动吸附型复合式气体传感器

自动吸附型复合式气体传感器日本理研计器公司推出的自动吸附型复合式气体传感器系采用接触燃烧式、隔膜伽伐尼电池式及其他管式气敏元件构成的装置，该传感器可同时检测三种不同气体（ＣＨ４、Ｏ２、ＣＯ）。其技术性能分别与单功能产品相同。装置内部装有微处理机，具有...     

气敏传感器用催化剂的制造方法

用由来已久传统的制造方法制成的接触燃烧式气敏传感器对甲烷气体(城市煤气)的输出太低，迫切期待改良。     

一种新型的SnO_2半导体气体传感器

本文提出了一种制作SnO_2气敏元件的新方法。通常,检测还原性(或可燃性)气体的气敏元件是由N型金属氧化物半导体所构成。当这种半导体与还原性气体接触时,其电阻值下降。相反,与氧化性气体接触,而电阻则升高。由此可知,气敏元件的导电率受到所吸附的气体影响。     

气体传感器研究进展和发展方向

根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同对目前研究的主要气体传感器进行了分类。介绍了半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器、表面声波气体传感器等气体传感器国内外研究与应用概况。重点叙述了不同类型气体传感器气敏材料研究取得的进展情况。在综合该领域国内外研究现状的基础上，提出了气体传感器的发展方向。     

国内气敏传感器动态

气敏传感器对促进科学技术发展、安全生产、环境保护等方面的重要作用及其广泛的应用性,早为国内学者和科技人员所关注。目前,研制气敏传感器的单位上百家,在品种开发和提高产品质量方面的研究也已取得较大进展。国际上一些主要的气敏传感器,例如MOS式、MOSFET式、接触燃烧式、固体电解质式、电化学式、热导式、振动式、电极式等等国内都有研究。此外,利用光纤、LB膜等新技术研究气敏的工作也正在进行。金属氧化物半导体式气敏传感器,由于它能检测的气体品种较多,且检测气体的浓度范围符合易燃、易爆气体LEL值的要求,气敏灵敏度亦较高,价格低廉,因此,和国外一样是研究和生产最多的一种气敏传感器。     

补偿式气敏元件的研究

提出了由n型气敏材料和p型气敏材料构成的补偿式气敏元件的原理及实现补偿的条件.据此原理制作了由γ-Fe_2O_3和LaFeO_3构成的补偿式元件.该元件有效地克服了乙醇的干扰,提高了对丁烷的选择性.     

低功耗C_2H_5OH气敏元件

采用超细SnO2粉体，按照MQ—J1工艺制成低功耗C2H5OH气敏元件。该气敏元件将工作温度降低一半以上，而且选择性好，同时简化了常规C2H5OH气敏元件的生产工艺，是一种具有开发前途的气敏元件。     

气敏元件性能检测装置的研究

为了促进气敏元件的研究与开发，本文介绍了一种气敏元件性能检测装置。该装置克服了以往气敏元件测试系统的结构复杂，操作繁琐等诸多不足，具有简单易行，功能齐备等优点，适用于气敏元件的参数测试及可靠性试验过程中的监测。     

提高半导体气敏元件检测能力的有效途径

半导体气敏元件发展的重点集中在如何提高其选择性，灵敏度和热稳定性等。通过控制元件的工作温度，采用添加技术，超微细化技术以及表面修饰技术等可有效地提高气敏元件的灵敏度和选择性。恒流加热法的使用是提高气敏元件热稳定性的主要手段。许多新材料，新原理的应用都可进一步提高气敏元件的检测能力。     

半导体气敏检测中的 经验式拟合和插值法应用研究

以半导体气敏元件的内阻-浓度特性的经验关系为基础,通过选择电压采样电路和元件的参数,导出了一种能覆盖气敏元件可用区域的电压信号-浓度曲线的分段经验式拟合模型和相应的插值算法.这种方法分段少,对不同的元件个体具有普适性,适合于气敏方式的实时检测.文中并对测量中的相关问题进行了讨论.     

常温振荡式CO气敏元件的研制

采用掺有Ｐｄ的活性ＳｎＯ２—Ｉｎ２Ｏ３敏感材料，再掺入ＭｇＯ等金属氧化物，制成复合基本材料，采用直热式气敏元件制造工艺，经表面修饰改性，研制成功常温振荡式ＣＯ气敏元件，给出了常温下的气敏特性，并探讨其振荡机理。     

稀土掺杂薄膜型气敏元件

介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能，测试结果表明，掺Ｅｕ２Ｏ３的元件对丙酮敏感性高，而掺Ｎｄ２Ｏ３的元件对乙炔气敏感性高，文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。     

α-Fe_2O_3气敏元件可靠性工艺设计

利用可靠性设计技术，对α－Ｆｅ２Ｏ３气敏元件进行可靠性工艺设计。通过失效源的确立与分析，提高元件的成品率，实现气敏元件可靠性的增长。     

磁控溅射纳米SnO_2薄膜的气敏特性

采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件,测试了气敏元件的性能,研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响,气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性,对其敏感机理进行了探讨。     

金属氧化物超微粒膜式新型气敏元件

介绍一种改良的气敏元件,在了解金属氧化物超微粒结晶所具方向性的特点之后,巧妙地使金属氧化物超微粒的大部分结晶在特定面方位状态下聚合的超微粒膜与电极接触,并用大于通常的气体压力进行溅射,如此制成的气敏元件气体选择性良好,从而解决了一直存在的选择性不佳的难题。     

气敏元件多功能测试系统

介绍了气敏元件多功能测试系统的工作原理及功能，并对其在气敏元件生产及研究的应用进行了介绍．     

半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置

本文讨论了半导体薄膜型气敏元件的导电机理,介绍了为探测NOx(NO_2、NO)有害气体而研制的SnO_2薄膜型气敏元件的结构、气敏特性及应用气敏元件制成的报警、测量两用仪的原理和结构。