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自从1976年国外使用激光对离子注入半导体进行激光退火取得成功以来,它已经成为应用半导体研究中最引人注目的一项课题。半导体的激光处理有以下特点:可以对离子注入后的半导体损伤得到完全恢复而不损伤衬底材料的效果。还可以利用聚焦的激光来扫描,对注入层局部选择退火,这样可大大提高集成电路的密集度。同时在消除损伤,离子注入的电激活率方面都比普通热处理方法好得多。我们于1978年在国内首先研究半导体离子注入激光退火成功,随后在GaAs 材料合金化(欧姆接触)、无定形硅的激光外延再生长,激光幅照太阳能电池提高转换效率、激光处理记忆元件(磁泡)等方面都取得了一定的结果。本文提出激光处理的实验方法、实验结果,以及探讨半导体激光处理引起无定形层再结晶、激光退火层的性质(如晶体缺陷,表面容貌、杂质分布、杂质原子晶格位置、激光退火层电性能)及器件应用等方面的问题。 相似文献
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《电子与电脑》编辑部 《电子与电脑》2006,(7):91-92
2006年6月14日,美国半导体行业协会(SIA)特地远渡重洋,首度前来北京召开该组织的理事会会议。而次日(6月15日),对中国半导体行业来说,是个值得纪念的日子;这一天北京的嘉里中心可谓冠盖云集,齐聚了包括中国半导体协会(CSIA)理事长俞忠钰,以及世界半导体理事会(WorldSemiconduct 相似文献
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第三十五次全省邮电工作会议工作报告(摘要)梁清章(1996年12月18日)一、关于1996年全省邮电工作的回顾1996年是实施“九五”计划的第一年。全省邮电部门以邓小平同志建设有中国特色社会主义理论和党的十四届五中、六中全会精神为指针,在邮电部、省委... 相似文献
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在介绍“工作研究”和“模特法”之前,我想先讲一下管理与管理基础工作的关系。一般人们强调某项工作重要就说是基础工作,搞工艺的就说工艺管理是基础管理工作。我认为是不是基础工作,不是由它的重要性来定的,而是根据它的作用来定的。管理的职能主要有六项:决策、计划、组织、指挥、控制、协调等。管理的基础工作或者说基础管理工作,是指为了实现管理目标和 相似文献
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一、1994年全省邮电工作的基本情况1994年,全省邮电部门在邮电部、省委、省政府的领导下,以小平同志建设有中国特色的社会主义理论为指针,以“发展、改革、服务”为主线,团结奋斗,开拓进取,进一步加快通信建设步伐,加大企业改革力度,强化经营,改善服务,圆满地完成了各项工作任务,为全省改革开放和经济建设做出了积极贡献。 相似文献
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1992年秋美国COMPAG公司首先发起个人电脑(PC)大幅度降价,促进PC大繁荣,为世界半导体市场带来了福音,1993~1995年世界半导体市场出现供不应求局面,据世界半导体贸易统计组织(WSTS)统计,1993年世界半导体市场比上年增长29.1%,1994年增长31.8%,1995 年增长43.7% ,达1444亿美无。一般来讲,在1995年前预测2000年世界半体导市场会偏高,大多数学者预测2000年世界半导体市场为3000亿美元,美国资深半体导工业分析家麦茉斯肯给出最乐观预测数3500亿美元,SGS-汤姆逊公司微电子企划与研究室主任吉恩-菲利普·戴维给出最悲观预测数2200亿美元。1995年第四季度和1996年世界PC 相似文献