共查询到20条相似文献,搜索用时 82 毫秒
1.
2.
传统硅基压力传感器普遍具有灵敏度低、温漂和时漂明显等半导体器件固有属性.本文提出的硅铝异质结构MEMS压力传感器及其恒温控制和自校正方法可一定程度上解决该问题.采用SOI硅片制造了具有压阻放大效应的新型硅铝异质结构压力传感器芯片,利用有限元仿真验证了其有效性.随后为其设计了恒温控制封装结构和自适应优化目标值PID加热控制策略,采用热稳态分析验证了该恒温控制封装的合理性.传感器采用AD5420可调电流源来模拟传感器的标定压力,在传感器发生一定时漂特性后更新传感器的输出特性,完成自校正操作.实验表明单个应力敏感硅铝异质结构在恒温系统控制下达到0.283 mV/V/kPa的灵敏度,结合温度参考结构的差分输出,传感器的热零点漂移系数从-6.92×10-1%FS/℃减小至-1.51×10-3%FS/℃,且可达到±5.5 kPa的预测误差,同时自校正操作将传感器最大预测误差从-6.1 kPa减小至5.0 kPa.本文提出的硅铝异质结构压力传感器的温度补偿与时漂补偿方案对优化压阻式压力传感器的综合性能有着一定的借鉴意义. 相似文献
3.
温度自校正型低功耗热量表 总被引:3,自引:0,他引:3
提出了一种基于MSP430微控制器的新型热量表的实现方案。介绍了热量测量、温度测量、流量测量、温度自校正的原理以及相应的低功耗软、硬件实现方法。该热量表具有自校正、低功耗等优点。 相似文献
4.
差分自校正测温系统设计 总被引:3,自引:0,他引:3
差分自校正测温系统设计/魏立峰…//自动化与仪表.-1999年.14(1)-14~15本文提出的差分自校正测量系统具有成本低、测温范围宽、精度高等特点,较好地解决了热电阻引线电阻、桥路测量非线性及运放电器的漂移问题。 相似文献
5.
在基于频率测量的湿度仪测量电路中,采用多基准源实时自校正,通过对多基准源信息的数据处理,将测量电路的整体精度、稳定性转换为基准源的精度、稳定性。此外,采用硬件同步方法消除了频率计算时由于计数器和定时器不同步而引起的计数固有误差,从而提高了计算精度。实际测试结果表明,设计产品各项指标达到预计要求,目前已进入批量生产。 相似文献
6.
对于复杂又难于定义的控制对象。控制具有简单易行业等优点,近年来得到工业界手高度重视。但是,对领域专家而言,从形化领域知识中获完全适合特定控制对象的模糊控制器是当前重要的课题之一。 相似文献
7.
8.
压阻式压力传感器实时自校正方法研究 总被引:3,自引:1,他引:3
目前的传感器误差校正方法,由于都是以传感器初始标定数据作为依据,从而随着使用时间的增加,传感器参数发生变化,其校正误差会逐步增大。针对这种情况,研究了用多基准恒流源模拟标准压力自动对传感器进行标定得到实时输出特性曲线,并据此求得测量压力。实验结果表明:该校正方法切实可行,若采用4个基准源校正,可在一定的温度和压力范围内实现0.15%的精度。 相似文献
9.
10.
用力传感器测量倾角的方法研究 总被引:4,自引:0,他引:4
提出了将力传感器用于倾角测量的设想,并通过实验加以验证。实验结果及推算结果与文中理论分析基本吻合,说明用力传感器进行倾角测量在理论上是正确的。该方法存在一定的测量误差,但误差分布规律性较强,适合应用误差补偿方法以减小实际测量误差。经过补偿,使力传感器测量倾角的实际误差减小了约99%,达到了较高的测量精度,完全可以满足工程实际倾角测量的精度要求。 相似文献
11.
12.
13.
14.
15.
介绍了一种测量微小电容的新方法.利用最新的电容数字转换(CDC)芯片AD7745,充分考虑小电容信号受导线电容及其他寄生电容的影响,设计了基于AD7745的信号检测电路,并通过单片机进行温度补偿.详细介绍了AD7745的初始化设置及数据使用方法. 相似文献
16.
17.
提出了一种基于颗粒相特性进行流速检测的新型推力式流速传感器的实验装置结构.该流速传感器实验装置通过测量牵引线对置于流体中刚性浮球产生的拉力,再根据刚性浮球在流体中受力情况,计算得到流体对浮球的推力.最终利用推力和流体流速之间的经验公式得到流体流速.新型流速传感器结构简单,成本低,不仅可以测量一般河流、输水渠道、湖泊、海... 相似文献
18.
19.