共查询到20条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
多晶硅表面微机械光学角速率传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术。本文采用这种加工技术,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械学光角速率传感器(Optical Rotation Sensor,(ORS)。由于采用MEMS的最新技术,安将是一种低成本、微型化的ORS,文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的 相似文献
2.
基于知识的集成制造柔性仿真系统 总被引:1,自引:0,他引:1
利用CIMOSA体系结构中FBS模型、实体类库、过程知识库和数据库建立了CIM系统的访真模型知识库,并通过面向对象框架语言对其进行表达,由推理机从过程规则集中推理产生仿真模型的行为。由于各种类库的使用,使得该系统具有柔性,故称为基于知识的集成制造柔性仿真系统。功能部分/memberslot:10fromEF;/*输入输出槽*/inheritanoe:override;/*继承属性*/valuecaIss:string;/*值类型*/values:FunctionInput;/*值为功能输入*/endslot;/行为部分/memberslot:EVtypefromEF;valueclasS:String;values:ExternaIEV;/*外部事件*//结构部分/memberslot:ComPrisesfromEF;valueclass:EA;values:EA211,EA212,…,EA219;memberslot:Where.usedfrcoEF;valueclass:DP;valueS:DP2;/过程知识/memberslot:AlgorithmfromEF;inheritance:method;v 相似文献
3.
4.
沈守范 《机械制造与自动化》2002,(2):52-54
(续 2 0 0 2年第 1期 )2 MSExcel的使用方法MSExcel是著名的电子表格 (Spreadsheet)软件。VisiCalc是最早的单纯表格软件。接着出现了电子表格软件SuperCalc,因易学易用而著称于世。后来又陆续推出Lotus,CCED等。Excel具有 :1 )科学计算 ;2 )图表 (Chart) ;3 )列表 (List,数据库Database的表格形式 )等三大功能。本文只介绍MSExcel97(以下简称“Excel”)的某些高级功能。Word的功能比较单一 ,主要用于字排版 ;Excel的功能则强大得多。可惜… 相似文献
5.
关于在我国发展微全分析系统的建议 总被引:6,自引:0,他引:6
发展我国分析仪器的难得历史机遇微全分析系统 (MicroTotalAnalysisSystems,μ -TAS)是一个跨学科的新领域 ,其目标是借助微机电加工(MEMS)技术与生物技术实现化学分析系统从试样处理到检测的整体微型化、集成化与便携化。它已成为目前分析仪器发展的重要方向与前沿。当前许多发达国家已把现代科学仪器当做信息社会的源头和基础纳入其未来发展的战略重点 ,而分析仪器又是其中最重要的组成部分之一。最近 ,人类基因组计划的提前完成充分说明了先进的分析仪器与技术在现代高科技发展中的重要甚至关键作用。面… 相似文献
6.
Kazuhiro Hane 《光学精密工程》2002,10(6):632-633
1 Introduction UsingMicro_Electro_MechanicalSystem(MEMS)technology ,manydevicesandsystemscanbeminiaturized .Micro pressuresensorsandmicroaccelerometers(air_bagsensor)areexamplesthatarewidelycommercialized .Inthecaseofopti calsystem ,someopticalcomponentsne… 相似文献
7.
一、引言 人与机器相结合的智能系统有许多叫法[1]美国斯坦福大学Lenat和Feigenbaum,我国钱学森、戴汝为和王珏、路甬祥和陈鹰等从不同角度相继提出“人机合作预测(Man-Machine Synergy Prediction)知识系统”、“综合集成研讨厅体系(Hall for Workshop ofMetasynthetic Engineering)”、“智能体系的综 合 集 成(Metasynthesis of IntelligentSystems)”、“人机一体化系统(HumachineSyst… 相似文献
8.
《仪器仪表标准化与计量》2001,(5)
4mm直径迷你温湿度探头黄兴海 黄琨(北京昆仑海岸传感技术中心 10 0 0 84 )美国MSI(精量电子 )在英国成立传感器发展中心MSI精量电子 (美国纳斯达克上市名称 :MSS)宣布其在英国的新科研中心成立。新的传感器发展中心坐落于英国的Basingstoke ,Hants,将致力于为全球范围内的用户设计、提供用户订制的应变片原理的称重、力传感器和其他低成本OEM传感器。新发展中心经理MikeBaker解释说 ,新发展中心是MSI研究发展资源在英国的延伸和补充。“MSI英国发展中心的前身是位于Slough的Sch… 相似文献
9.
从‘99INTERKAMA展览会看现场总线技术与产品的发展趋势 总被引:4,自引:0,他引:4
1999年10月在德国杜塞尔多夭举办的第14届国际工业通信、自动化、仪器仪表、分析技术博览会,即’99INTERKAMA展览会,是世界一流的自动化贸易展。它聚集了大量来自世界各地的仪器仪表、自动化系统制造供应商、研究开发机构、设计单位、采购批发代理商以及专业技术人土。世界知名的仪器仪表、自动化系统制造供应商如SIEMENS、Fisher.Rosemount、ABB、AB、RockwdLHoneywdLFoxbofo、N汕onalhsbome血、smar、Alstom、Yohog。a、Fllji,… 相似文献
10.
应用微机数控系统改造普通车床的几点体会ExperiencesontheReformationofEngineLathebyApplyingMicrocomputerControlSystem杨岗YangGang(桂林高新技术产业开发区实业总公司桂林5... 相似文献
11.
利用MMT-11N微机械疲劳试验系统对11.5 μm厚无基体支持的电镀铜薄膜试件的拉伸疲劳特性进行了试验研究。试件采用准LIGA工艺制作。试验在室温条件下进行,采用载荷控制、脉动循环加载,载荷频率为20 Hz,得到了铜薄膜光滑试件和缺口试件的S-N曲线,根据传统宏观疲劳理论确定了铜薄膜循环应力—应变曲线和应变—寿命曲线。利用修正局部应力—应变法对缺口试件的疲劳寿命进行了预测,预测寿命与试验寿命误差在3.2倍因子之内,预测结果较好地符合试验结果。试验表明,取半寿命周期的迟滞回线作为稳定迟滞回线在微机械疲劳中仍是可信的,局部应力—应变法亦可应用于微机电系统疲劳寿命预测,宏观疲劳理论在一定程度上也适合于描述微机械疲劳。 相似文献
12.
13.
SHEN Xuejin HOU Licheng 《机械工程学报(英文版)》2008,21(5):55-58
To improve the performance and reliability of microelectromechanical system's devices, it is necessary to understand the effect of friction which exists in the majority of microelectromechanical systems (MEMS) with a large ratio of surface area to their volume. The model of electrostatic tangential force of the shuttle in laterally driven comb microresonator is established based on the rule of energy conservation. The effects of microscale, surface roughness, applied voltage, and micro asperities or dents or holes formed in fabrication are investigated, and the electrostatic resistance between two charged moving plates is analyzed. The analytic results are coincident well with those of ANSYS simulation. It is found that the electrostatic resistance becomes high as the increase of the ratio of the shuttle width to the gap between moving plates and the relative surface roughness or the increment of the applied voltage. 相似文献
14.
15.
针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法。该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整。同时,提出了基于刚度轴偏角预估机制的全数字化闭环控制方法,实现微机电系统多环谐振陀螺的驱动、检测、正交、模态匹配环路的全闭环控制。该方法可提升正交闭环回路信噪比,增强陀螺正交漂移的抑制能力,降低陀螺零偏输出,改善陀螺的零偏不稳定性。实验结果表明,采用本文提出的基于刚度轴偏角预估机制的全闭环控制方法后,微机电系统多环谐振陀螺的零偏输出由0.201°/s降低为0.021 3°/s,零偏不稳定性由39.42°/h降低为1.237°/h,分别降低了9.44倍和31.86倍,验证了该方法对提升微机电系统多环谐振陀螺仪性能的有效性。 相似文献
16.
MEMS可靠性与失效分析 总被引:6,自引:2,他引:6
主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析,质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障。有利于MEMS的可靠性设计。 相似文献
17.
The authors propose a new design concept for controlling the deflection of a micro-membrane with the aid of its thickness distribution for realizing a prescribed design in the MEMS. As an example, the authors treat a micro air pump that comprises a micro-membrane. The membrane is actuated by an electrostatic force. The membrane deflects and thus the deflection is influenced by the air pressure and the electrostatic field. This is a highly complicated system. To find out a proper thickness distribution, the authors use the genetic algorithm that is appropriate to reduce the searching space of solution. 相似文献
18.
薄膜型硅微机械的摩擦学问题 总被引:8,自引:3,他引:8
根据现阶段表面硅IC工艺微机械的特点,分析了其接触副与动构件的相对运动形式,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理,结合宏机械的发展历史,分析了进行相关摩擦学性能研究的几种方法与问题。 相似文献
19.
As actuator of the force-rebalanced servo loop, the electrostatic force generator of the micro-accelerometer shows high nonlinearity while the interpole of the micro-electro-mechanical system(MEMS) sensor is far away from its balance position. The control system cannot rebalance itself with the limited bandwidth after an external long overload, because the characteristics of the force generator differ from normal case. Although for similar problems, solutions with cascading lead-lag blocks, with the anti-windup(AW) technology, or with the sliding-mode control, are widely reported, the problems such as performance loss or difficulty to synthesize a digital controller still remain. Based on existing researches, remedies are developed by analyzing the characteristic of the system not only near the balance position, but also corresponding to the whole moveable range of the interpole, and a new controller is proposed. The solution is compared with the common solutions of cascading lead-lag blocks method, AW methods, and sliding mode methods. Comparison results show that the proposed solution avoid performance loss, compared to cascading lead-lag blocks solution; the proposed solution is easily synthesized and implemented in the analog servo loop of the micro-accelerometer, compared to digital AW methods; at the same time, the proposed solution avoids suffering the chattering effect problem but just utilize it, compared to the sliding-mode control solution. Nevertheless, comparison results show the solution is lack of commonality, since the solution is only more suitable to micro electrostatic force-rebalance system. The SIMULINK models with and without the proposed solution, taking typical micro-accelerometer parameters, have been set up for simulation; corresponding experiments utilizing electrometric method are also conducted after the successful simulations. Simulation and experiment results verify that the micro-accelerometer will reliably return to normal operation after external long overload with the proposed solution. Therefore, it is expected to design the analog servo loop of high performance micro electrostatic force-rebalance system so as to ensure the rebalance after long overload without performance loss. 相似文献