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相似文献
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1.
硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
分析了多晶硅 -金集成热堆中热电偶的尺寸和对数对热堆性能的影响 ,对非接触红外测温的实用型热堆提出了设计和改进的思路 .随着热电偶对数的增加 ,时间常数减小 ,响应率增大 ,探测率出现最大值 .减小热电偶的长度可以减小热堆内阻和时间常数 .多晶硅横截面积和金横截面积的比值接近最佳比值时 ,探测率呈最大值 3× 10 8cm· Hz1 / 2· W- 1 .  相似文献   

2.
卢建国  黄玢 《红外技术》1993,15(4):23-25
本文报道了试用于红外地平仪的新型热堆传感器。由于尺寸小、集成热偶对数高,故设计成双列硅集成结构,集成B-Sb热偶对为112对。采用集成电路工艺和微细加工技术研制,使器件获得较好的稳定性和可靠性。测得器件性能为:电阻10±1kΩ,响应率0.9~1.2V/W,时间常数<100ms.探测率D~*≈1×10~8cmHz~(1/2)/W。  相似文献   

3.
高璇  郭涛  欧文  明安杰  刘谨 《红外技术》2012,34(9):535-540
提出了一种与CMOS工艺兼容、高响应率、低噪声的微机械热电堆红外探测器。该结构热电偶数目为两对,材料为P/N型多晶硅,吸收层材料为TiN。采用较少热电偶对的方式来降低噪声,引入共振谐振腔结构来提高红外吸收率。阐述了探测器的基本工作原理,通过仿真得到其重要的性能参数,并给出了器件具体的工艺流程,对器件尺寸进行了优化。理论上,其响应率大于1000 V/W,探测率大于2×108cmHz1/2W-1,噪声等效温差小于20mK,时间常数小于10ms,电阻值小于20k。  相似文献   

4.
提出了一种CMOS工艺兼容的、并采用XeF2气体干法刻蚀工艺释放的热电堆红外探测器.探测器包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层、刻蚀开口等.作为红外吸收层的氧化硅/氮化硅复合介质膜具有多种形状的腐蚀开口,使用各向同性的干法刻蚀从正面刻蚀衬底释放器件.探测器尺寸为2 mm×2 mm,由20对多晶硅-铝热电偶组成,串联电阻16~18 kΩ.释放后的器件特性响应率13~15 V/W,探测率(1.85~2.15)×107 cmHz1/2/W,时间常数20~25ms.  相似文献   

5.
报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。  相似文献   

6.
基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究   总被引:3,自引:2,他引:1  
用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0 11s的非致冷红外探测  相似文献   

7.
详细分析了一维热电薄膜型微传感器的优化设计模型 ,探讨了热阻、灵敏度和探测率与传感器几何尺寸之间的关系。分析的时候考虑到热电堆的热端与敏感面的距离 m对传感器性能的影响。经过分析得出 :当 m(热电堆到热敏感面距离 )为定值时 ,灵敏度 S随梁长 l增大而增大 ,探测率 D*随着 l的增大先增大后减小 ;当 l为定值时 ,S和 D* 均随 m增大而减小。用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据。  相似文献   

8.
在低频区,热释电探测器的响应率和探测率分别有一个最大值,这一最大值频率和探测器的时间常数有关。最大响应率和探测率的测量结果,可以用于计算大部分表征探测器性能的参数值。叙述了这一方法,并用于两个探测器的实验结果。可以用所得结果来讨论探测器性能极限,并指出如何改进其性能。附录中讨论了一对补偿探测器的情况。  相似文献   

9.
基于激光雷达方程和天空背景噪声估算公式推导出近红外空间碎片激光测距探测成功概率的计算公式,仿真研究了该公式中大气透过率和天空背景噪声的影响因素,经数据拟合,得到空间碎片激光测距探测成功概率的归一化表达式。在此基础上,仿真分析了太阳高度角、目标天顶角、目标轨道距离和目标横截面积对目标探测成功概率的影响。结果表明:目标探测成功概率随太阳高度角升高而减小,随目标轨道距离的增加而减小,随目标天顶角的增大而减小,当目标天顶角增加到70°时,目标探测成功概率开始急剧下降;目标轨道距离固定的情况下,目标探测成功概率随目标横截面积的增大而增大。该研究对提高空间碎片的观测效率具有一定的应用价值。  相似文献   

10.
王瑞华 《中国激光》1981,8(3):55-56
在高功率脉冲激光体吸收卡计中,温升是通过粘在接收盘后面的金属丝热电偶测量的,这些热电偶灵敏度低、电阻大、粘结工艺复杂.在半导体热电堆激光卡计中,用半导体热电堆代替金属丝热电偶,与金属丝热电偶相比,具有:(1)灵敏度高,因为每对半导体热电元件的温差电动势率约400微伏/℃,而金属丝热电偶的温差电动势为41微伏/℃(指铜-康铜热电偶).(2)电阻低,通常18对串联的半导体热电堆其电阻只有2~3欧姆,而同样对数的金属丝热电偶串联时,电阻可达60~70欧姆,因此可降低对放大器的苛刻要求.(3)制作工艺简单,因为半导体热电元件可制成多偶单元串联组件,然后简单地胶到卡计吸收体上,从而避免了热电偶焊接、粘结的复杂工艺.  相似文献   

11.
The article describes a model representation of radar probing data in form of a mixture of background and target samples, which is the sum of two random variables with very different parameters. For model development we research the behavior of the central moments of the distribution mix without assuming the distribution law form. An example it is described the detection of the signal at the output of compression system of chirp ionosonde.  相似文献   

12.
随着光纤通信和光纤传感的快速发展,人们时光的偏振态提出了越来越高的要求.光是一种横波,其偏振态大致分为:完全偏振光、部分偏振光和自然光.文中介绍了完全偏振光的几种表示方法,给出了几种部分偏振光的描述方法.并阐述了它们之间的差异与联系.  相似文献   

13.
解决IP网QoS问题是目前通信领域的研究热点之一.虽然研究已经取得了一定的进展,但人们对于IP 网QoS本身的含义及相关的问题还有着不同的理解.本文将从IP网QoS的定义入手讨论相关的一些问题以及解决IP网QoS问题所做的各种努力.  相似文献   

14.
介绍了NTRUsign签名算法的密钥生成过程,其在实现的过程中需要进行上百位的大数运算问题,这些数字远远超出了普通电脑存贮范围。而要进行大数运算,就得用数组存贮,进行模拟运算,这就大大增加了运算量。文中分析了这个算法实现过程中的运算量,分析结果说明NTRUsign的运算量过大,以致实际并非一个实用算法。  相似文献   

15.
Assuming that visual responses are due to the action of particles on the membrane of the visual cells, the stochastic variability of the response should be a function of the number of particles producing it. Quantitative predictions can be made with the aid of a model proposed in previous articles. It is found that responses produced in visual cells of Limulus by absorption of a single photon have the stochastic properties which would be expected if the response to one photon were brought about by 25 particles. It is concluded from this that the processes leading to visual responses produce multiplication of particles. The effects of temperature and of metabolic poisons suggest that these processes are of chemical nature.  相似文献   

16.
A method for analyzing the luminescence spectra of semiconductors is suggested. The method is based on differentiation of the spectra. The potentialities of the method are demonstrated for luminescence in the region of the fundamental absorption edge of Si and SiGe alloy single crystals. The method is superior in accuracy to previously known luminescence methods of determining the band gap of indirect-gap semiconductors and practically insensitive to different conditions of outputting radiation from the sample.  相似文献   

17.
“计算机组成原理”设计性实践教学模式研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文阐述了"计算机组成原理"设计性实验教学的重要性,对设计性实验教学的目的和基本特征进行了归纳,对"计算机组成原理"设计性实验教学的现状进行了调查,对存在的问题进行了较深入的分析;在此基础上.对组成原理设计性实验的教学模式进行了研究,对设计性实验的体系进行了初步设计,并对"计算机组成原理"设计性实验的实施方法进行了探讨.  相似文献   

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