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基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。 相似文献
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本文根据气体动力学的二元理论论述了扩散泵喷嘴角度与喷嘴扩张车的关系,认为喷嘴角度在一定范围内变化时,喷嘴的扩张率也要作相应地改变,方能取得良好的抽气性能。与此同时,各级喷嘴之间的级间距离不该用喷帽内壁面的角度来计算,而应根据射流上界面的角度来计算。文章同时分析了一级喷嘴扩张率对返油率的影响以及直筒泵对喷嘴扩张率在结构方面的限制,提出了用凸腔泵取代直筒泵的建议,以降低返油提高抽速。 相似文献