硅片精密磨削用砂轮的研究综述

砂轮作为硅片精密磨削加工过程中的关键加工工具备受关注.对硅片精密磨削用砂轮的国内外研究情况进行了总结分析,认为在其制备技术研究方面还需进一步的理论支撑;在磨损与观测评价方法研究方面,宜从砂轮建模入手,结合磨削硅片的材料特性,建立不同磨削阶段的砂轮磨削磨损模型;分析其磨损机理,同时优选砂轮观测评价方法,试验验证磨损过程.     

关于砂轮表面形貌的研究

针对砂轮表面形貌的特征,就砂轮表面形貌本身与磨削输出量之间的关系进行了具体研究,提出表征砂轮形貌的基本参数,着重分析了砂轮形貌的基本参数在磨削过程中的变化与磨削效果的关系。得出砂轮修整的方法。     

砂轮切断机近三十年来国内外的发展概况

本文概要总结了近三十年国内外砂轮切断机的发展和应用状况，为深入全面研究砂轮切断技术提供基础。     

切入磨削砂轮堵塞的试验研究

本文阐述了运用正交设计的方法,对切入磨削中砂轮进给速度、工件转速、修整速度及深度给予砂轮堵塞的影响进行了实验研究,初步探讨了砂轮堵塞的机理。     

ELID镜面磨削用铸铁超硬砂轮的快速精密整形研究

介绍了对铸铁微细金刚石、ＣＢＮ砂轮采用电解－机械事快速精密整形方法，修整后的砂轮径向跳动量小于１μｍ，砂轮表面光滑，形状精度高，磨粒等高性好，适合超精密镜面磨削用，此法还具有修整时间短、成本低、砂轮变形小的特点。     

增效浸渗砂轮的增效机理及其效果

增效浸渗砂轮处理技术是用于解决干式磨削时，磨削精度和磨削质量差，砂轮消耗大等不足的一项应用技术。通过实验研究，分析了增效浸渗砂轮在提高磨削质量和磨削精度，提高砂轮的磨削能力及降低砂轮消耗等方面的增效机理及其效果。     

聚酰亚胺金刚石树脂砂轮耐磨性能研究

介绍了一种新型金刚石砂轮结合剂－超细增韧聚酰亚胺树脂粉。磨削试验结果表明：该树脂粉制作的金刚石砂轮其耐磨性,磨削效率和所加工工件的表面质量明显优于酚醛树脂金刚石砂轮。通过扫描电镜观察两种树脂砂轮的显微组织,找出了两种树脂砂轮耐磨性存在差异的原因,树脂耐热温度的高低直接影响砂轮的耐磨性。     

表面结构化砂轮磨削加工技术研究进展

针对表面结构化砂轮的磨削加工研究现状,系统介绍了砂轮磨粒有序排布、磨粒几何参数控制、砂轮结构设计、机械或激光修整砂轮等表面结构化方法,分析了表面结构化磨削工具的加工机理及其对加工表面质量的影响规律.阐述表面结构化砂轮磨削加工规则纹理表面的原理,并介绍了运用表面结构化砂轮磨削规则表面纹理的不同方法.论述了表面结构化砂轮磨削在特定材料加工领域的应用前景,对表面结构化砂轮制造技术的发展方向进行了展望.     

用CBN砂轮磨削氧化锆-钢合成部件

陶瓷在工业中应用的主要问题是它的脆性。以结构设计来部分地克服这一缺点是解决问题的方法之一。陶瓷/金属合成部件有可能在这一方面得到应用。本文CBN用砂轮对氧化锆/钢合成部件进行了系统的磨削实验。初步分析了这种材料的磨削过程及特点。实验研究了砂轮表面地形与砂轮修整条件的关系,以及砂轮表面地形在磨削过程中的变化。以磨削力、磨削比、工件表面质量为评价指标,选择出合理的磨削参数。其结果对工业应用具有参考价值。     

砂轮切断机力能参数的实验研究

以实验方法对砂轮切断机力能参数进行研究，得到磨削力和功率的实验曲线，并对实验值进行了回归分析，得到了实验公式。     

提高磨削表面完整性的工艺研究

本文报道了使用正交试验设计法寻求合适的磨削工艺参数的实验,揭示了磨削工艺条件对磨削表面完整性的影响。     

ELID镜面磨削热源和热量分配模型

针对ELID超精密磨削的特点，对ELID磨削热产生的机理进行了分析，建立了ELID磨削热源模型和热量在工件、砂轮、电解液及磨屑间分配的模型，并进行了数值计算，计算结果表明：ELID磨削热量主要由磨粒与工件的耕犁和摩擦作用产生，磨削热量在各部分的分配是随磨削区内位置改变的分布函数，电解液和砂轮带走绝大部分的磨削热量。     

陶瓷磨削力对磨削表面残余应力的影响

主要研究陶瓷磨削力对残余应力和表面性能的影响。结果表明 :陶瓷磨削力主要是法向磨削力对残余应力的方向、作用深度、变化梯度均有较大的影响。在小切深、反复光磨的条件下 ,磨削力使残余应力的数值、变化梯度减小 ,作用深度增大。一般情况下 ,在磨削力作用下的残余压应力的作用深度随磨削条件而变化 ,一般小于 12 μm。残余压应力作用在塑性变形层内。     

不同磨削液时磨削表面的SEM考察

本文对磨削液不同、磨削用量与加工材料不同的磨削表面的形貌用扫描电镜(SEM)进行了考察,结果表明,干磨时因金属产生高温呈熔融状而有涂抹在磨削表面的现象,材料塑性愈大则愈严重;磨削液的润滑性、浸润性差时,磨削表面残留的切削沟痕较宽,沟槽两侧因金属产生侧流而隆起。反之,切削沟痕清晰、细密;使用冷却性好的磨削液时,很容易使烧伤表面产生裂纹;重负荷磨削时,磨削表面的切削沟痕普遍比一般磨削时的要宽,沟痕两旁隆起要高,随磨削液润滑性能的提高,其程度有所减轻。     

包络环面蜗杆的高效磨削方法研究

提出了用双锥面砂轮替代现有的平面砂轮和锥面砂轮磨削包络环面蜗杆以提高蜗杆磨削效率的新方法,采用合理论对这种方法所加工蜗杆副的啮合性能分析的结果表明：该加工方法适用于各种传动比的环面蜗杆副加,加工效率高,能实现蜗杆的双面磨削而重新调整磨头,且所加工传动副啮合性能好,传动精度高,砂轮修整容易。     

凸轮磨削表面烧伤产生原因及消除方法探析

磨削表面烧伤是磨削过程的瞬时高温使工件金属表面产生一层很薄的氧化层，它会影响工件的耐磨性和使用寿命，以WY125摩托车发动机凸轮轴磨削加工时凸轮表面产生烧伤现象为实例，分析凸轮表面磨削烧伤产生的原因，并从减少磨削热产生和加速磨削热传出两个方面介绍了消除磨削表面烧伤的方法。     

Surface topography of fine-grained ZrO<Subscript>2</Subscript> ceramic by two-dimensional ultrasonic vibration grinding

The surface quality of fine-grained ZrO2 engineering ceramic were researched using 270# diamond wheel both with and without work-piece two-dimension ultrasonic vibration grinding(WTDUVG). By AFM images, the surface topography and the micro structure of the two-dimensional ultrasonic vibration grinding ceramics were especially analyzed. The experimental results indicate that the surface roughness is related to grinding vibration mode and the material removal mechanism. Surface quality of WTDUVG is superior to that of conventional grinding, and it is easy for two-dimensional ultrasonic vibration grinding that material removal mechanism is ductile mode grinding.     

修整砂轮的纵向进给速度对横磨粗糙度影响的研究

本文分析了砂轮修整时的纵向进给速度Ｖ修对工件表面业糙度的影响；运用正交试验设计进行了试验，得出了砂轮修整参数Ｖ修与工件表面粗糙度间的数学模型，指出了砂轮修整参数Ｖ修对工件表面粗糙度有显著影响。