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对称差动电容压力传感器Randal.D,Peters1.前言众所周知,轴线旋转差动电容(LRDC)传感器是首先用于全桥路的电容装置。人们早已识认到了全桥路的优越性,并用于电阻应变仪中,奇怪的是多年前并没有发明类似的电容技术。LRDC传感器具有传感大角... 相似文献
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高准确度电容传感器测量技术D.Marioli等一、I川两用于实验室和工业的许多传感器都是基于电容及其变化的测量。这些传感器用于测量各种物理量,如压力、力、位移、密度、物质浓度、电容外形等。技术要求根据不同的应用有所不同。在许多应用中,该仪器可完成实时... 相似文献
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基于一种交流电桥自动辅助平衡方法,中国计量科学研究院(NIM)研制了新一代二端对电容电桥装置。电桥采用固定比率的感应耦合比率臂电桥,通过复用比率,用单一电桥即实现了计算电容过渡和电容10:1传递;采用一种改进的靴带法实现电桥感应比率臂比率的精确校验。该装置用于电容单位的量值复现和标准电容器的高准度量值传递。利用新一代二端对电容电桥装置,可从计算电容装置复现1 pF电容值,并实现电容 1~100 pF的十进制量值传递,电容量值传递相对标准不确定度可达5×10-9(1592 Hz)。采用该电桥参加了10 pF和100 pF电容国际关键比对(CCEM.K4-2017),中国比对成绩优异,数据均非常接近关键比对参考值(KCRV),其中100 pF的结果最接近KCRV,与KCRV取得了很好的一致性,从而获得国际互认。 相似文献
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各种液面监测器的作用与气体和液体的介电常数之差有关。它们分为交流电桥和高频振荡器两种主要的类型。在静电电容大的情况下,都必须测量极小的电容变化(例如测量液氦的液面)。就交流电桥而言,最好用三个终端电容器来消除由于引线电容的漂移而造成的影响。此外,这种高级交流电桥价格昂贵,连续读数不太方便。作为传感器振荡器 相似文献
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温度伺服机构采用热敏电阻的新方法DAVanBaak1.前言惠斯登电桥电路所用的热敏电阻也是温度伺服机构中最有用的传感器。本文说明:利用非常方便的热敏电阻可使这种电路在几方面都得到改进;尤其是,新型电路较好的利用了热敏电阻温度响应固有的非线性,对温度的... 相似文献
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电容传感微小孔径的测量方法 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了电容传感器的基本原理,推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型,组建了电容传感微孔测量系统。研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法.所制作的测孔传感器经标定后,测量分辨率达到0.01μm.该测量系统操作简单,可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值。 相似文献
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为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部分.分析了器件的磁敏感原理和电容检测原理,给出了器件的结构参数和综合设计考虑.利用体硅加工工艺成功制作出了磁传感器样品,并进行了实验测试.测试结果表明磁传感器有良好的线性度和重复性,其磁场检测的电容灵敏度可达到0.2fF/Gauss.根据对磁传感器的热噪声分析,可得到磁传感器最小可分辨的磁场为6.72μT.该磁传感器结构简凑、工艺简单,无需电流激励,大大降低了磁传感器功耗. 相似文献
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一、工作原理
PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成。PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿。当得到压力变化时.硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化。通过测量转换,可以得到压力值。 相似文献
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生物传感用巨磁电阻传感器及其磁珠检测性能 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]×10/ Ta,巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜,利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器,GMR电阻线条的线宽分别为3μm和5μm.测试了单个GMR传感器的特性,并将该传感器件和外接可调电阻组成惠斯通电桥,采用该GMR电桥对Dynal公司的MyOne磁珠进行了检测.分别测试了施加变化垂直磁场和施加间歇式恒定垂直磁场时GMR电桥信号对传感器表面覆盖磁珠的响应,研究了GMR电桥信号和磁珠覆盖率的关系.选用器件电阻线宽分别为3μm和5μm的传感器测试了器件线宽对传感器灵敏度的影响.结果表明,GMR传感器能够检测到磁珠的存在,最低能检测的磁珠数量约100个,且GMR电桥信号与磁珠覆盖率基本成正比,器件的灵敏度与传感器线宽基本成反比. 相似文献
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由福建省计量科学技术研究所负责、常州电子仪器厂参加研制的“直读高精密电容电桥”1985年12月在福州通过国家鉴定。来自中国计量科学研究院、成都计量测试研究院、中国计量学院、重庆大学、福州大学等有关科研单位、大专院校的30多位代表一致认为:该电桥综合吸收了国内外同类电桥的优点,提出了增加“零位电容补偿装置”的新原理,使其在测量各种标准电容器和电容箱时均能一次直接读取被测电容的实际值,避免了通常所需繁杂的计算差值的麻烦,消除了产生疏忽误差的因素,增加了测量结果的准确性和可 相似文献
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提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构,对其工作原理,器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析,得出分优化的结构参数,本结构的电容值比ADXL50加速度传感器大20倍以上,同时可避免器件与衬底材料的寄生电容,这种结构的传感器对界面电路的要求较低,更便于制出集成化处理电路。 相似文献
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新型二维电容位置传感器MHw。Bonse等1.前盲目前,人们对二维(ZD)位置测量越来越感兴趣。尤其是在IC生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今,基本的线性位置测量系统主要基于光栅或激光干涉方法,用这些系统可以达到此目的。这些系统在一些应用中也存... 相似文献