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正性光敏聚酰亚胺(p—PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n-PSPI)相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。 相似文献
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正性光敏聚酰亚胺(P—PSPI)是一类重要的集成电路(IC)封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺(n—PSPI)相比,P-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外P—PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了P—PSPI的光化学机理。对目前商业化P—PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能P—PSPI电子材料的研发工作提出了建议。 相似文献
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合成具有光敏性的聚酰亚胺OPDA-BAPAF-Cin-CN,对其化学性质进行研究。用这种聚酰亚胺作为光致取向剂,能对液晶MLC-LC2000有良好的取向效果。研究了这种取向剂对液晶MLC-LC2000的取向方向及提高预倾角的作用,发现该取向剂有良好的热稳定性。 相似文献
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微流体系统中微阀的研究现状 总被引:1,自引:0,他引:1
依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。 相似文献