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表面阳极氧化铝结构对ZnO薄膜探测器的响应增强 总被引:1,自引:1,他引:0
通过在ZnO外延薄膜上淀积一层Al薄膜,并利用Al膜叉指型光刻胶图案为掩模,可以选择性地将叉指间无光刻胶区域下的Al膜阳极氧化,在ZnO表面形成氧化铝微纳结构,而在光刻胶掩模下未被阳极氧化的Al膜便成为ZnO紫外光电导探测器的叉指电极.用此法制备的非周期性氧化铝结构具有相近的孔大小和间距,形成可以在平面内全方位大角度衍射的光栅矢量.入射光可以被ZnO有阳极氧化铝结构的探测器比无此结构的器件在同等条件下的光响应度提高到了1.8倍. 相似文献
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Shustova E. A. Tarasenka N. N. Nevar A. A. Kornev V. G. Butsen A. V. Tarasenko N. V. 《Semiconductors》2020,54(14):1858-1861
Semiconductors - The paper discusses the application of laser-assisted processes for synthesis of oxides nanoparticles (NPs) and their assembling into the nanostructured thin films. The study of... 相似文献
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表面安装技术(SMT)近年来得以广泛应用,功绩卓著。本文叙述了SMT的工艺流程、系统装置以及目前的发展状况,并着重介绍了超表面安装技术(ASMT)及其在光电子器件中的应用。 相似文献
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系统阐述了金属键合的发展概况、基本工艺和方法、表征技术及其在光电器件中的应用.金属键合制备光电器件的一般工艺流程分为三步:蒸镀金属薄膜、键合、腐蚀去除衬底,列举了常用的金属键合方法及其工艺条件;并着重论述了该技术在光电器件特别是垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构制作中的应用.金属键合可以实现衬底倒扣和改善器件热学性能,而对器件原有的光学性质影响不大. 相似文献
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Jong-Min Yook Kyoung-Min Kim Young-Se Kwon 《Microwave and Wireless Components Letters, IEEE》2009,19(10):620-622
We make suspended inductors and 2.45 GHz BPFs on the selectively anodized aluminum. The thick anodized alumina is used as the supporting dielectric and it is easily removed by using chemical wet-etching. The thickness of anodized alumina is 80 mum and the depth of the total air-cavity is 200 mum. The fabricated inductor over an air cavity has a 25% greater Q factor and 21% higher inductance at 2 GHz compared to an inductor on anodized aluminum. The 2.45 GHz BPF adjusting the suspended inductors has 2.8 dB of insertion loss with a narrow bandwidth. 相似文献
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石墨烯是具有高迁移率、高热导率、高比表面积、高透过率及良好的机械强度等特性的二维材料,在光电子器件领域被广泛用作透明电极及电荷传输层等。但由于石墨烯是零带隙材料,为半金属性,限制了其在半导体光电子器件领域的应用。为更加切合半导体产业应用的要求,构建异质结已经成为相关领域实现应用的重要途径。国际上已有较多团队开展了石墨烯异质结相关研究,目前已有较多报道。本文从石墨烯的性质出发,讲述了石墨烯异质结的发展历程,制备方法,并从材料制备与器件结构的角度总结了基于石墨烯异质结光电子器件的研究进展。最后,对石墨烯异质结在光电子器件领域的发展进行了展望。 相似文献