常见气体声表面波传感器研究进展

声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注.本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展.     

半导体气体传感器敏感机理的研究进展

为了改进半导体气体传感器的选择性,研究人员利用四极质谱仪、气相色谱、阻抗测试、XPS等检测手段对半导体气体传感器的乙醇、硫化氢、氯气、一氧化碳、氢气、含氮化合物和有机烷烃等常见检测气体的敏感机理进行了研究,取得了一些进展。对研究所得结论和理论模型进行了概述,并提出了今后的研究方向。     

组合结构半导体气体传感器的研究进展

综合介绍了基于气体传感器互补反馈和互补增强原理的新型组合结构半导体气体传感器的研究进展,着重对传感器的原理、结构、材料及性能作了介绍,并分析了组合结构半导体气体传感器的发展趋势。     

常温振荡式CO气敏元件的研制

采用掺有Ｐｄ的活性ＳｎＯ２—Ｉｎ２Ｏ３敏感材料，再掺入ＭｇＯ等金属氧化物，制成复合基本材料，采用直热式气敏元件制造工艺，经表面修饰改性，研制成功常温振荡式ＣＯ气敏元件，给出了常温下的气敏特性，并探讨其振荡机理。     

声表面波气体传感器电路的优化设计

本文设计的SAW气体传感器电路引人预偏置技术解决了SAW传感器对微量气体测试存在盲区的问题。同时,对电路进行调整避免了频率的跳变。整个测试系统结构简单,经实测表明具有较高精度,满足气体传感检测的需要。     

半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来

集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。     

基于MEMS技术的气体传感器

综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。     

TiO2气敏传感器研究进展

TiO2气敏传感器具有工作温度低、灵敏度高、响应速度快、制备简单等独特优点,已经成为人们关注的热点.本文概述了TiO2材料的导电类型和气敏机理,介绍了TiO2气敏传感器两个方面的研究进展:运用传统掺杂方法和利用纳米技术改善传感器性能;展望了TiO2气敏传感器今后的研究和发展方向.     

气体传感器研究进展和发展方向

根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同对目前研究的主要气体传感器进行了分类。介绍了半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器、表面声波气体传感器等气体传感器国内外研究与应用概况。重点叙述了不同类型气体传感器气敏材料研究取得的进展情况。在综合该领域国内外研究现状的基础上，提出了气体传感器的发展方向。     

气敏元件自平衡测量电路的设计

提出了一种气敏元件自平衡电路的设计法，操作这种电路没有常规电路那一种调零繁琐手续，但却有自动快速平衡的优点，从而实现了气体测量的高精度，快速性与简单化的愿望。     

氧化铟纳米材料的制备及其在气体传感器中的应用

评述了氧化铟纳米材料的各种制备方法的优缺点,包括溅射法、激光烧蚀法、溶胶凝胶法、化学气相沉积法、均匀沉淀法、微乳液法、模板法等.对氧化铟半导体材料在气体传感器中的应用做了简单介绍,包括它作为CO、NO2、O3、H2等气体传感器的应用现状.     

气体传感器特征参数分析

特征参数在气体传感器的描述、气体/气味分类、识别和量化中起着关键作用。对从气体传感器响应曲线中直接提取的典型客观特征的统计性能进行了分析。通过一个自动测试系统测试了一个微热板式气体传感器阵列对不同浓度的CO、CH4和NO2三种气体的响应,获得了一系列的响应曲线。从曲线中提取客观的稳态和动态特征进行分析,建立了一个有效的特征子集,并通过一个神经网络进行了验证。实验结果说明,使用该特征子集为输入参数的神经网络收敛速度快,误差性能小,验证了提取的特征子集的合理性。     

激光烧结纳米ZnO 气敏传感器制备及其气敏特性研究

以激光-感应复合加热法制备的纳米ZnO为原料，用激光烧结法制成的气敏传感元件，对乙醇、丙酮等五种挥发性有机化合物的敏感性进行了测定，同时又对所制成的传感元件作了SEM分析。实验表明，采用激光烧结的纳米ZnO较之电炉烧结的敏感度高，孔洞细小、孔隙率增多；且随着激光加工功率的提高，达到最大敏感度的温度却有所降低。