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常温振荡式CO气敏元件的研制 总被引:9,自引:1,他引:8
采用掺有Pd的活性SnO2—In2O3敏感材料,再掺入MgO等金属氧化物,制成复合基本材料,采用直热式气敏元件制造工艺,经表面修饰改性,研制成功常温振荡式CO气敏元件,给出了常温下的气敏特性,并探讨其振荡机理。 相似文献
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集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。 相似文献
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气体传感器研究进展和发展方向 总被引:13,自引:1,他引:13
根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同对目前研究的主要气体传感器进行了分类。介绍了半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器、表面声波气体传感器等气体传感器国内外研究与应用概况。重点叙述了不同类型气体传感器气敏材料研究取得的进展情况。在综合该领域国内外研究现状的基础上,提出了气体传感器的发展方向。 相似文献
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提出了一种气敏元件自平衡电路的设计法,操作这种电路没有常规电路那一种调零繁琐手续,但却有自动快速平衡的优点,从而实现了气体测量的高精度,快速性与简单化的愿望。 相似文献
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