利用高精度激光干涉仪测量转动工件表面应变

通过对弹性固体表面的微观形貌进行建模，推导出切向应变与法向应变存在的线性关系，利用高精度激光表面粗糙度外差干涉仪对工件表面的法向应变进行测量，达到测量切向应变的目的，从而有助于新型非接触光学应变测量仪的研究。     

激光干涉仪非线性的测量

激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。     

激光干涉仪测量准确度浅析

本文讨论激光干涉仪的各种误差来源及其克服方法。     

激光干涉仪测量直线度误差因素分析

介绍了激光干涉仪进行直线度误差测量的原理,并详细讨论了直线度误差测量中影响测量精度的若干因素,最后给出直线度误差测量实例。     

基于激光干涉仪的角度测量装置

本文设计了基于激光干涉仪的角度测量装置,该装置通过丝杆与齿轮传动装置将直线位移转换为角位移,从而利用激光干涉仪位移测量的高分辨力实现角度的精密测量。     

激光干涉仪

激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉。（图１略）（２）结构图２斐索干涉...     

激光干涉仪测角系统的精度补偿方法

提出一种新的准直方法，对HP5528A激光干涉仪测角实现了精密计量。     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。     

激光干涉仪在位置测量中的精度评定

激光干涉仪广泛应用于计量、精密机械测量、航空航天工业等领域,国内拥有量超过数千台.由于激光干涉仪使用者的水平、经验和理解各不相同,因错误的认识产生了错误的理解和操作,导致了错误的测量结果,使激光干涉仪不能发挥应有的作用.对激光干涉仪进行检测过程中的错误理解和操作方法进行了分析,发现有些使用者忽视了激光干涉仪的材料温度传感器和材料温度膨胀系数的不确定度对测量结果的影响,造成了测量结果的不正确.有的使用者在短距离内测量是否需要对空气折射率进行修正的问题也有不同的看法.对上述两个问题进行了理论分析.     

实时测量空气折射率的高精度激光干涉仪

本文介绍了一种与传统测量方式所不同的实时跟踪空气折射率的高精度激光干涉仪,它是在“激光拍频高精度测量空气折射率”课题的基础上提出的,以期在实现实时、自动测量空气折射率的同时,突破干涉测量10~(-7)的精度极限。     

激光干涉仪在数控机床测量方面的应用

激光干涉仪作为数控机床的测量装置是集光学、精密机械、电控技术、数据处理、计算机技术于一体的高技术精密检测装置，采用完全非接触测量方式，实现数控车床在自动化方面的飞跃，在未来必将会有更为广阔的发展前景。当然面对不同的数控机床要采用不同的测量方式，并且对不同的测试结果进行科学的分析，要明确激光干涉仪在数控机床上的测量方式，把握双频激光干涉仪在数控车床检测中的应用，加强对激光干涉仪的使用快捷方式进行分析，最大限度地扩大激光干涉仪在数控机床测量方面的普及。     

XL-80全新轻巧型激光干涉仪测量系统

Renishaw新型XL-80激光系统和XC-80补偿器比原有的ML10和EC10总重（包括连接电缆、电源和传感器）减轻了70％。并且，随着激光头和补偿器尺寸减小，其它系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的情况下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。[第一段]     

一种激光干涉仪外部测量触发电路

激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪（以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例）测量工件的实际尺寸（长度）时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能。     

基于机器视觉的滚动直线导轨在线测量系统研制

研制了一套基于机器视觉的滚动直线导轨在线测量系统,开展基于OpenCV视觉检测技术的直线导轨副滚道几何量尺寸检测方法研究、阈值分割法的指示表盘自动识别检测方法研究及数据云在线分析系统研究,该检测装置可对滚动直线导轨长度、内径及圆度进行自动在线高精度测试,从滚动直线导轨上料、装夹、精度检测,输出结果实现全程自动化,节约人...     

新型激光干涉仪

ＬＭ－６Ｄ激光干涉测量系统是于１９９８年推出的新型激光干涉仪,一次安装调整能同时测出位置（长度）,Ｘ及Ｙ方向直线度、信仰角、偏摆角和滚动等六个参数值。不仅保持了激光干涉测量精度高的特点,同时实现了多参数同步测量,减少测量时间８０％,大大提高了测量效率。     

双频激光干涉仪

一、前言自一九六○年气体激光出现以来,激光技术得到不断发展,激光波长已作为长度计量的标准。单频和双频激光干涉仪相继问世。双频激光干涉仪由于克服了单频激光干涉仪的某些不足,具有可测距离大,测量速度高,抗干扰能力强等优点,特别适合在生产现场广泛使用。对大型机床、精密机械、船舶和飞机制造以及大地测量、地震预报等发展都有一定的促进作用。目前,双频激光干涉仪这一产品,在国际上只有美国、日本和法国等少数国家生产。七十年代以来,我国的一些单位也进行过研制,但都没有正式     

基于ACPT技术的纳米振动测量激光干涉仪

为实现高精度、高稳定的微小振动测量,设计了一种改进型迈克尔逊干涉仪,对其所采用的光学结构和解调算法进行了分析.信号解调方案基于载波调制和交流相位跟踪（ACPT）技术,相对应的光路采用双压电陶瓷（PZT）和准平面猫眼动镜以构成参考臂和测量臂,设计以改善信噪比、抑制低频干扰、增强系统稳定性、提高测量分辨力为目标.建立了纳米振动发生装置,搭建了振动信号测量系统,研究了激光干涉仪对振动信号的输出特性.实验结果表明,测量动态范围达到120 dB,信噪比高于40 dB,系统分辨力达到0.25 nm.该干涉仪可有效抑制诸如温度、湿度、压强、低频振动等带来的相位噪声的干扰,满足高精度、稳定、可靠的要求.     

双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是激光干涉仪的一种,主要用于大长度精密测量,例如:1.可作为大长度的自然计量基准以代替现行的三米杆尺实物计量基准,既能提高基准精度,又便于保存和复现,有利于战备;2.可作为大地测量的计量标准,至少可以使测量误差减小一个数量级(即减少一位数字);3.可用于考察地球外壳的形变,大大提高地震预报的准确度;4.可直接用于重型机械加工中的尺寸测量,解决目前许多大尺寸无法测量的问题;5.可用于国防建设的若干方面,为国防科学研究提供可靠数据等。所谓激光干涉仪,就是以激光为光源的干涉仪。以单频激光管发出的具有单一频率的激光为光源的干涉仪叫做单频激光干涉仪;以双频激光管发出的     

激光干涉仪线性测量的光路准直调整方法

本文首先概述了XL-80双频激光干涉仪对中国一拖集团有限公司的数控机床的周期检测的必要性和意义,随后简单介绍了XL-80激光干涉仪线性测量硬件配置和工作原理,最后详细介绍了两种激光干涉仪线性测量的光路准直方法。