低温泵降温时间的计算和10000升/秒低温泵的抽气特性

小型制冷机低温泵（简称低温泵）是七十年代发展起来的一种新型抽气设备，目前国外已大量生产 并得到广泛应用。本文简单介绍了这种泵工作原理和几种典型结构并着重分析了冷板受热情况及抽气特 性，最后给出了低温泵降温时间的计算式。理论与实践     

现代低温泵的设计计算及工艺要求

一、引言 低温抽气是利用低温表面产生的低温冷 凝、低温吸附和低温捕集等物理现象,来获 得、并保持高真空和超高真空的一种方法, 长期以来得到人们的公认。近年来,随着20 K温度下致冷量近10瓦的两级高可靠小型 致冷机日臻完善,致冷机低温泵得到迅速发 展,在中小型真空系统上得     

低温泵的应用

由于低温泵具有无污染、工作压强范围宽、极限真空度高、排气量大、使用方便等优点,因而在各种需要应用真空的领域有了愈来愈多的应用。1.半导体工业真空溅射、汽相沉积、离子注入、电子束制版、离子束剥离、等离子刻蚀等新工艺的出现,不断地推动着半导体和集成电路工业的革新和发展。这些工艺对真空技术的共同要求是清洁无油、抽速较大,并能在器件工艺室内快速获得高真空。采用小型致冷机低温泵完全能满     

新型HIRFL-800低温泵的设计及热负荷的计算

介绍了近代物理研究所自行研制的新型HIRFL－800低温泵，对其抽速、低温冷凝板和屏蔽板的热负荷进行了具体的分析和计算，肯定了新型HIRFL－800低温泵的设计方案。     

Slovay制冷机低温泵

介绍我们自己研制的Ｓｏｌｖａｙ制冷机低温泵的压缩净化机且，改进型Ｓｏｌｖａｙ两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点，目前已完成低温泵的中试生产，开始批量投产。     

现代低温泵的结构

对各种来源的情报进行分析表明，最近十年来供压送120K以下低温液体用泵的产量大大增加了。低温液体用不同结构的离心泵和活塞泵在冶金、化工、电力、食品工业中，以及在动力技术、仪器制造．航空、宇航、原子能技术、生物、医疗、物理、农业等方面获得了广泛应用。各工业部门的发展把在各工艺过程中应用低温介质看成技术进展的主要方向之一。这就要求进一步增加低温泵的产量，     

现代低温泵优化设计

现代低温泵（制冷机低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型真空泵，目前国外巳大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜、原子能工业、空间模拟以及环境试验等方面得到了广泛应用。本文简要介绍了低温抽气机理、典型结构及主要参数和尺寸的设计计算，并给出了降温时间计算式，最后对低温泵优化设计提出一些看法。     

制冷机低温泵的再生

本文介绍了制冷机低温泵的几种典型的再生方法 ,讨论了再生过程中再生起点和再生终点的判断方法以及低温泵冷头温度的测量方法     

关于MMR制冷降温时间的分析

降温时间是ＭＭＲ制冷中的一个重要参数，加入高沸点组分，不仅可以维持较低的制冷温度并获得较大的制冷量，而且可以增大速冷性能。从相似理论出发，在已建立的纯氮降温时间模型的基础上，推导一个关于混合工质降温的关系式，并对该式进行了验证，最后得出一些有益的结论及提出了进一步研究的问题。     

索尔文制冷机低温泵

介绍自己研制的索尔文制冷机低温泵的压缩净化机组、改进型索尔文两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点。目前已完成低温泵的中试生产，开始批量生产。     

真空技术用的低温泵

对于确实不存在碳氢化合物的真空过程，到目前为止主要是使用溅射离子泵，它常和钛升华泵组合，称之为“干”泵系统。研制用氦作为致冷剂的高效率、操作安全的低温致冷器就有可能产生封闭循环的低温泵结构。采用这种真空泵也同样能获得“干”式真空。此外，这种泵的优点是能在大于１０－４毫巴的较高压强和较高气体量下得到应用。 氢在１２至２０Ｋ的工作温度下仍具有高的蒸汽压强，为了获得对氢的高抽速和低的分压强，就有必要研制合适的吸附剂。对固体吸附剂上的物理吸附和在２０Ｋ温度下的冷凝ＣＯ２层上的低温捕集效应作了比较，其结果表明，第一种方法在应用中比较简单。应用活性碳就能吸附大量的分压强极低的氢。 在这些经验的基础上研究了致冷器型低温泵的各种不同的解决方法。采用这一些方法，在２０Ｋ和约 １瓦特致冷功率下达到最佳抽速。 无论如何，处于最低温度的低温面用一个较高温度（约８０Ｋ）辐射屏来屏蔽，屏的型式采用透气性好的人字形挡板，这样，易冷凝气体（水蒸汽）就冷凝于挡板上。对于这种屏所需要的致冷功率与决定水蒸汽抽速的几何尺寸和辐射热量有关。若环境温度接近于室温，则低温泵就完全可以构成一个整体式系统，这两级温度的致冷功率由同一致冷器提供。可是，假如所要求     

低温泵的新发展

本文评述了小型致冷机低温泵，对氦、氢吸附抽除及供核聚变实验用超大型低温泵。     

HL-2M内置式低温泵基于DSMC方法的抽速计算

作为托克马克装置HL-2M的大型低温泵,必须确保其具有足够的抽速和较好的抽气性能。通过直接模拟蒙特卡洛方法的研究表明,HL-2M内置式低温泵在高真空分子流条件下的对H2的抽速为51.29 m~3/s,对He的抽速为24.94m~3/s,对D_2的抽速为38.04m~3/s;裸泵与带有偏滤器结构的抽速对比表明,偏滤器的结构使得低温泵的抽速下降很多,应该在允许的条件下,进一步优化偏滤器的结构;通过对粘滞系数的变化得知,真空泵的抽速受粘滞系数的变化影响较大;而对整个抽气过程的动态评估结果表明,低温真空泵具有较好的响应时间,能够满足实验的需求。     

微型节流制冷器降温时间的优化研究

本文介绍了一款高德红外快速制冷型的微型节流制冷器及对该制冷器从充气容积、杜瓦和翅片管换热器等方面的优化研究.使用优化的制冷器后,红外探测器焦平面的降温时间由18 s@100 K缩短至4.5 s@100 K,且校正后图像的非均匀性小于6 mV.     

液浴氦低温泵

叙述了无液氮槽的液浴氦低温泵，介绍了其结构和试验结果的详细情况.     

制冷机低温泵的再性

本文介绍了制冷机低温泵的几种典型的再生方法，讨论了再生过程中再起点和再生终点的判断方法以及低温泵冷头温度的测量方法。     

带小型制冷机的低温泵

介绍了用小型制冷机冷却的低温泵的抽气原理及基本结构，同时还介绍了低温泵的一些应用。低温泵一般都采用二极Ｇ－Ｍ循环或改进的索尔维循环制冷机。第一级冷头冷却防护板和冷凝水蒸汽的辐射屏蔽，防止对低温板的热辐射；低温板用第二级冷头冷却，除Ｎｅ、Ｈ２、Ｈｅ被活性炭吸附外，它可冷凝其余的大部分气体。低温板的抽气速度可用统计方法求出。本文还介绍了典型的低温泵的使用方法。     

低温泵的特性和原理

低温泵是一种利用温度极低的冷却表面(≤77K)的冷凝作用,把气体从系统内部排除的真空泵。60年代以来,低温抽气在真空的获得和应用中有了越来越广泛的应用。低温泵是一种清洁的真空泵。因为低温介质只是一种对泵的抽气表面起冷却作用并在封闭容器中存贮或循环的冷剂,因而不与真空空间发生任何接触。这一特点对于某些要求清洁无油的真空系统来说是至关重要的。低温泵对大多数气体都能获得极低的分压和极高的抽速。当低温泵在液氦介质下工作时,还具有很大的实际抽气能力和抽气的无选择性(氦除外)等优点。     

液氦低温泵的初调实验报告

液氦低温泵是一种较理想的真空获得手段。具有抽速大、极限真空度高和清洁等许多优点。因此,在高能加速器、表面物理研究、超高真空校准等方面得到了越来越广泛地应用。然而,由于它要求极限真空度高及液氦存贮时间长等,因而制造工艺难度较大。最近,我们研制了一台贮槽式液氦低温泵,经总装初调,结果是令人满意的。