我国硅单晶生长设备的现状与发展

在世界太阳能光伏发电产业发展的带动下,我国的太阳能光伏发电产业得到了高速度的发展,相关支撑业的市场迅速扩大,在整个产业链中,作为太阳能电池材料制备的关键设备-硅单晶生长设备发挥了至关重要的作用。对于太阳能光伏发电产业的持续发展,硅单晶生长设备仍将要发挥重要的作用。     

国产太阳能硅单晶生长设备的应用研究

介绍了TDR-70型单晶炉的设计特点,及在太阳能光伏电池生产中的应用。     

TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析

随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。     

双段式加热锗单晶生长设备的结构设计

锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。     

太阳能光伏发电发展现状与趋势

化石燃料（煤、油等）排放温室气体，是污染大气环境的主要原因。大量发展可再生能源可保护大气环境、并在社会经济发展中起主要作用。清洁的可再生能源包括：水力和风力、太阳光伏和燃料电池、生物质能、海洋能等。太阳能光伏（Photo Voltaic）系统，将太阳光能转换为电能，技术上已较成熟。主要优点是：不排放有害气体、无温室效应、无噪音、可靠、寿命长等，是一种清洁的可再生能源。主要应用于为城乡住宅、荒漠地区供电，也可联网为工业供电。在无电或缺电地区，光伏和风力、微型透平发电可组成离网混合分布式电力系统。本文简要介绍光伏发电系统的发展进程，国内外发展概况、电力电子技术在光伏系统中的应用等。     

国外薄膜生长设备发展动态

随着集成电路器件物理尺寸的减小，其介质膜的厚度也就相应地随之减小，同时，用于多层布线的金属膜的要求也较以前更为苛刻。本文主要介绍了用于生成半导体器件各种薄膜的技术及其所需设备的发展现状。     

我国GaAs太阳电池的发展概况

本文介绍近几年来我国 GaAs 太阳电池的发展概况,并对其将来的发展做了一些预测。     

快速发展的我国光伏设备产业

光伏产业涵盖了太阳光能转化为电能的一系列过程.而装备是贯穿整个产业链的基础,光伏产业链的每一个环节都离不开相应的生产设备。中国光伏装备产业已具有一定的规模和水平.可为产业的发展提供强有力的支撑。依靠中国半导体设备行业数十年来的技术积累,通过和一流光伏电池企业的深度合     

2014年中国大陆13种主要半导体设备进口43.66亿美元

2014年1~12月中国大陆13种主要半导体设备进口14647台、43.66亿美元。制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装置、等离子体干法刻蚀机和分步重复光刻机等三种设备共进口1 578台、25.35亿美元,位居进     

利用装置环形永磁场的直拉炉（PMCZ）生长单晶硅和掺锗硅晶体

设计了一种永磁（钕铁硼）环形磁场装置代替常规电磁场用于直拉炉生长单晶硅和掺锗单晶硅（PMCZ法）．磁力线呈水平辐射状均匀分布．只要磁场强度足够强,即可有效地抑制熔体中热对流和晶体旋转产生的离心强迫对流,从而有效地抑制了固液界面处的温度波动,降低以至消除微观生长速率的起伏,造成了一种类似于空间微重力环境下生长晶体的条件．在这种条件下,杂质和掺杂剂的运动方式受扩散规律控制．利用这种装置生长了掺锗（Ge∶Si重量比为1.0%,5.0%和10.0%）和不掺锗的硅晶体,获得了氧浓度较低,掺杂剂径向分布均匀性好的较高质量的晶体．该装置磁场强度可方便地通过调节磁环之间相对位置及磁环相对固液界面位置进行调控,满足不同工艺条件对不同的场强的要求．     

利用装置环形永磁场的直拉炉(PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体

设计了一种永磁 (钕铁硼 )环形磁场装置代替常规电磁场用于直拉炉生长单晶硅和掺锗单晶硅 (PMCZ法 ) .磁力线呈水平辐射状均匀分布 .只要磁场强度足够强 ,即可有效地抑制熔体中热对流和晶体旋转产生的离心强迫对流 ,从而有效地抑制了固液界面处的温度波动 ,降低以至消除微观生长速率的起伏 ,造成了一种类似于空间微重力环境下生长晶体的条件 .在这种条件下 ,杂质和掺杂剂的运动方式受扩散规律控制 .利用这种装置生长了掺锗 (Ge∶ Si重量比为 1.0 % ,5 .0 %和 10 .0 % )和不掺锗的硅晶体 ,获得了氧浓度较低 ,掺杂剂径向分布均匀性好的较高质量的晶体 .     

AIXTRON助力韩国光伏产业发展 提供首款GaAs MOCVD设备

<正>AIXTRON日前宣布获得韩国先进纳米元件制造中心(KANC)的订单,向其提供一套12x4寸AIX 2600G3系统,用于太阳能电池制造业。该设备将被安装在KANC位于Gwanggyo Techno Valley的洁净室内,预计在今年上半年发货。这也是AIXTRON公司与KANC之间针对韩国新兴的三五族光伏产业所展开     

电网等价点：向“硅”走、向“膜”走？

国内光伏产业一天热过一天。东方不亮西方亮，半导体设备、材料商总算有了多项选择机会。但也正于此，太阳能电池制造商却面临着向“硅”走还是向“膜”走两难抉择的烦恼。向“硅”走，硅料上涨何时休？向“膜”走，天价设备如何投？尽管太阳能发电成本在过去25年里已下降了10倍，但目前成本仍是入网电价的3倍-5倍，     

电网等价点：向“硅”走、向“膜”走？

全球气候正在变暖,国内光伏产业也一天热过一天。东方不亮西方亮,半导体设备、材料商们总算有了多项选择机会。但也正于此,太阳能电池制造商们却匾临着向“硅”走还是向“膜”走两难抉择的烦恼。向“硅”走,硅料上涨何时休？向“膜”走,天价设备如何投？尽管太阳能发电成本在过去25年里已下降了10倍,但目前成本仍是入网电价的3～5倍．业界认为接近电网等价点（Grid Parity）才是光伏产业真正爆发性增长的开始。     

中国电科郭永兴:设备永远是四十五所发展主业

<正>国产设备已基本满足太阳能电池制造需求邸允柱:设备和材料是光伏产业发展的基础,有关材料,尤其是多晶硅材料,随着国内生产线不断加紧建设,已经能够基本上满足光伏产业所需,