超精密微小型复合加工机床精度稳定性研究现状

针对超精密微小型复合加工机床的精度时变性和非线性变动问题,综述了超精密机床结构设计、超精密加工精度稳定性、热因素对超精密加工精度影响、结构蠕变引起精度变动4个典型方面的研究状况,提出超精密微小型复合加工机床的精度稳定性主要受到力、热、环境变动所引起的结构亚微米级精度的时空变化,并且这些变化的影响机理、变动规律属于非线性特征,因此,超精密复合加工精度稳定性的实现必须解决这些问题。     

超精密球面加工设备通过验收

日前，由北京机床研究所精密机电有限公司承担的国家863计划“超精密球面加工设备的研制”项目，通过了中国机械工业联合会组织的专家鉴定验收。针对国家亟需的高精度球而加工需求，该机能够满足薄壁易变形、表面精度要求高的加工。机床采用整体减震结构，超精密气浮主轴和回转工作台，精密的两轴气浮导轨，机床加工精度满足了国家对高精度球体加工的需求。     

超精密零件加工的影响因素分析

超精密加工所能达到的精度是衡量一个国家制造技术水平的重要标志之一.随着加工精度越来越高,被加工零件对机床周围环境的要求也越来越高.超精密加工中除了液压、气压源的波动外,工作环境的温度、洁净度和振动等方面对加工质量影响很大.因此,主要从气源压力波动、环境温度变化、外界和自身振动几个主要因素,详细介绍了以上因素对超精密零件加工的影响,分析了影响原因,并提出了相应解决途径,为超精密加工环境建设提供了参考.     

超精密球面加工设备通过鉴定验收

由北京机床所精密机电有限公司承担的国家863计划《超精密球面加工设备的研制》项目，2005年1月通过了由中国机械工业联合会组织的专家鉴定验收。超精密球面加工设备是针对国家急需的高精度球面加工需求，能够满足薄壁易变形、表面粗糙度要求高而研发的加工设备。机床采用整体减震结构、超精密气浮主轴和回转工作台、精密的两轴气浮导轨，机床加工精度满足了国家对高精度球体加工的急需。     

超精密加工向毫微米级精度发展

超精密加工是精加工的重要手段，当前正在向毫微米级（即纳米级，nm）精度迈进。英国将毫微米技术给定100～0．1nm，说明超精密加工正在延伸。超精密加工技术是标志一个先进工业国家机械加工水平的技术。我国机械工业“九五”规划中，已将其列为关键技术之一，1995年起又建立精密和超精密加工技术国家重点实验室，挂靠在航空工业总公司303所。一、超精密机床稳步发展超精密加工最关键的硬件是超精密机床，而今其技术已成熟，在美国、日本、英国等均已商品化。即使在我国，也相继研制成功不少超精密机床，如CJT—1型超精密镗床，其主轴精度…     

超精密双面抛光机结构的优化设计

针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计.提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光滑加工表面创造了有利条件.     

隔振基础的设计

超精密机床是实现超精密加工最重要、最基础的条件。直接影响国防和尖端技术的发展。而外界振动源对超精密机床的精度有着非常大的影响。因此超精密机床在设计制造时一定要考虑可靠的隔振措施。     

超精密加工及其关键技术的发展

超精密加工是现代制造技术的一个重要组成部分,是众多大型系统实现简化和扩展功能的必要基础。几上来,超精密加工技术在精度和手段上都有了质的飞跃。依据超必机床各子系统的功能特点介绍了超精密加工的共性技术及其最新发展动态,最后阐述了提高超精密加工精度的途径和方法。     

国家超精密机床工程技术研究中心通过验收评审

国家超精密机床工程技术研究中心于2008年底通过了由科技部组织的验收评审。该中心依托于北京机床研究所,以满足超精密加工制造为主要目标,系统地研究超精密加工机理、超精密机床设计、超精密机床及功能部件制造、超精密检测、超精密加工工艺、超精密制造环境以及超精密制造成套工程技术。通过工程化、产业化开发,促进超精密机床技术的研究和应用推广,     

空气弹簧调平系统研究

空气弹簧隔振系统应用于超精密加工设备,其姿态倾斜将为超精密加工引入误差。针对超精密机床采用气浮导轨、气浮主轴刚度相对液压主轴较低、抵抗空气弹簧的倾斜能力较差的特点,建立机床倾斜的数学模型,分析倾斜对加工精度的影响,得到系统需要的调平精度。根据计算的充/放气量,设计调平控制系统控制四点支撑空气弹簧系统中的三点,保持机床的水平复位精度达到±0.02mm以内。该调平控制系统可以根据气浮导轨运动速度,实现空气弹簧隔振系统的主动控制。     

超精密加工技术研究现状及发展趋势

超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。根据当前国内外超精密加工技术的发展状况,对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复合加工技术进行综述,简单地对超精密加工的发展趋势进行预测。     

超精密加工技术与直线电动机在超精密加工装备中的应用

超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,通过超精密加工能够使被加工零件的形状精度、表面粗糙度和表面完整性达到空前的水平。直线电动机以其独特的优势,在超精密装备中得到更广泛的应用。本文主要针对超精密加工技术与直线电动机在超精密装备中的应用,以及在国内外的发展状况进行了阐述,重点提出了超精密加工技术与直线电动机在加工制造业中应用的明显优势,同时也说明了它们的一些缺点及可行的解决方法。     

光学表面超精密加工技术

介绍了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法 ,重点阐述了磁流变抛光技术及其抛光机理和关键技术。并对光学超精密加工技术的发展进行了展望     

综论超精密加工技术的发展

介绍超精密加工技术的发展,并展望其前景;阐述超精密切削加工及超精密砂轮磨削加工中的核心技术,对超精密加工技术的研发和创新有参考意义。     

超精密加工的技术基础和创新

主要叙述了当前超精密加工技术基础和关键技术,简述了当前的发展现状,并着重指出发展超精密加工技术必须要有创新的看法.     

超光滑表面的加工、表征和功能

超精密加工的目标是通过表面质量控制获得预定的表面功能。一定的加工过程产生相应的表面特征 ,而表面特征在很大程度上又决定着表面的实际功能。为了通过预先设计及加工控制获得要求的功能表面 ,必须对超光滑表面的加工、表征、功能及其相互关系进行全面而深入的研究     

Precision grinding of components for aerostatic micro guidance

The work described in this paper deals with a micro grinding process development for components of a guiding system with active micro actors. Starting with the selection of a machine tool concept, investigations with different tool specifications as well as process kinematics and parameters are performed. Thereby the process is characterised by resulting shape accuracy and surface quality of the workpiece. By using an ultra precision machine tool and fine grained grinding wheels a shape accuracy within the submicron range and high surface qualities can be achieved.     

Ultra fine finishing of diamond tools by ion beams

The principles of ion beam machining and its apparatus are described, and several examples are given of ultra fine forming or sharpening diamond tools by ion beams. Problems, such as a sub-micrometre tip radius or elliptical tips are discussed, and it is concluded that ion beam machining combined with mechanical pre-finishing can be useful for forming or sharpening diamond tools.     

航空轴承非圆滚道的预变形加工技术

提出了在普通轴承磨床上,利用模具轮廓强制套圈毛坯预变形进行加工的原理和方法。根据非圆滚道的理论轮廓,考虑套圈弹性变形、套圈和模具的接触变形、以及模具本身的弹性变形,给出了超精密模具内轮廓尺寸的反算方法和过程,并对各种模具内轮廓形式产生的波形误差和椭圆度误差进行了比较,分析了加工过程中的磨削力及位置对滚道精度的影响。小批量试制表明：形状和尺寸精度都达到了规定的要求,表面质量得到了很大提高。该方法为降低新型轴承的加工成本、提高生产率和质量一致性提供了可靠的技术途径。     

微细深孔超声轴向振动钻削装置的设计

基于高频振动切削原理 ,设计了一种振频 2 0± 1KHz、振幅 2 5 μm的新型超声轴向振动钻削装置 ,该装置由数字锁相环频率自动跟踪式晶体管型超声波发生器、轴向半波长圆柱型压电陶瓷换能器、半波谐振圆锥型变幅杆以及工具系统组成 ,可在软质材料上实现微细深孔的精密、超精密加工