涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进

涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得.本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序.面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算...     

涡轮分子泵参数化设计软件

对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件.该软件具有智能设计、自主设计、三维造型、动态模拟等功能,对产品开发、泵性能优化等具有实际意义.     

涡轮分子泵在磁场中的问题

随着涡轮分子泵在等离子物理学中应用的增加，在涡轮分子泵附近的强磁场问题，越来越经常地被提出来了。假如涡轮分子泵的旋转叶片，以高速度在磁场中旋转的话，则旋转叶片中的涡流，会引起泵的意外发热。每台涡轮分子泵的磁力线密度，由一系列泵的实验来测定。对磁场比较高的密度来说，必须使用屏蔽元件，因为泵的旋转叶片过分发热，会引起泵的损坏。     

涡轮分子泵发展及使用趋势

评述近二十年来涡轮分子泵的发展,并讨论实际的工艺状况,抽速从110升/秒到9000升/秒左右的不同结构的涡轮分子泵已在市场上出售。 阐明了最重要的结构参数(转子几何形状,叶片形状及转速),对涡轮分子泵基本工作特性(抽速和压缩比)的影响。 对单向气流(“立式”)和双向气流(“卧式”)涡轮分子泵,从生产成本、振动情况、可靠性及售出后的服务等方面,作了比较和讨论。 除以传统的油润滑滚珠轴承为基础的分子泵外,近几年在市场上还出现几种使用所谓“干式”轴承的涡轮分子泵。这些具有气体或电磁转子轴承的涡轮分子泵,由于轴承的结构复杂,其价格…     

前级泵中氦气滞留的测量

现已开发了一种简单技术可对各种前级泵暴露到氦气后恢复时间作比较，试验中使用了一种回流型配置，以控制氦气质量流量的方式向前级泵提供已知的气体负载。此前级泵是涡轮分子泵的前级。使用四极质谱仪测量涡轮分子泵上方的氦浓度。     

新书介绍

苏联最新出版一书──涡轮分子真空泵 共 119页,其内容丰富,篇幅短小精悍。是真空技术方面一本很有实用价值的新书。该书着重的介绍了有关涡轮分子真空泵的理论、转子的计算、抽气性能的计算,以及泵的结构设计等等。对我国涡轮分子泵设计、研制、使用将起到一定参考作用。此外本书还叙述了苏联以及西方国家试验研究结果。本书作者E· C· 是莫斯科鲍曼高等工业学校教授,长期从事分子泵方面的研究,是苏联分子泵方面的权威。 本书适用于从事涡轮分子泵设计、制造、应用的工程师及科研工作者,对从事各种类型真空设备的设计、调试及使用维修的…     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

分子泵的世纪回顾与展望

分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理,电真空,表面科学等领域,但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段,本文回顾了分子泵分析近百年的发展历史,详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况,对初期的分子泵,涡轮分子泵,磁悬浮轴承和气体静压静轴式涡轮分子泵,复合式分子泵,低温型涡轮分子泵,新型牵引分子泵,陶瓷涡轮分子泵,轴反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡分子泵等做了重点的分析,最后指出分子泵的发展前景。     

F—3500型涡轮分子泵设计计算及性能测试

七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展高度重视。许多学者和专家对涡轮分子泵都做了大量的工作。从理论研究到设计制造都积累了许多宝贵经验，目前已趋于完善阶段。中、小型涡轮分子泵的产量逐年增加，泵的主要性能指标接近国外水平，为补全涡轮分子泵的系列，增加大规格产品，进一步满足各使用部门的急需，１９８２年，由原第一机械工业部军工局下达给我所Ｆ－３５００型涡轮分子泵的研制任务。经过三年多的努力，我所自行设计、制造和调试成功。于１９８６年９月通过部级鉴定。鉴定结论指出：Ｆ－３５００型涡轮分子泵的极限压强、压缩比和抽速三项主要性能指标都达到了原设计技术要求，几项参考指标也不低于同类型产品水平。     

现代涡轮分子泵的进展

本文叙述了涡轮分子泵近期迅速发展的原因,涡轮分子泵采用的轴承型式的演变过程,宽域型复合分子泵的开发与磁悬浮轴承在涡轮分子泵上的应用。