激光蚀刻的新方法

大阪大学S. Namba教授等人研究出一种能高速进行精细加工而不损坏基片的新激光蚀刻法。该法利用了可见氩离子激光照射时四氯化碳（一种反应气体)和基片表面间所发生的“光泵热化学反应”。据称这种方法成本低，无须掩模即可加工细的布线图案，速度比用紫外准分子激光快三个数置级。     

国外简讯

美帝研制有机染料激光据美帝贝尔实验室报导,有机染料激光的谱线自近紫外光延伸到黄光,是用一种激光得到的最宽的光谱。这种可调性是一种化学反应,在此种反应中,染料分子被光泵浦,得到额外的光子,使一部分染料溶液中增加了氢离子,于是就能在不同波长     

三束飞秒激光辐照下铜膜内电子非平衡热输运

首先采用有限元法数值计算了铜膜内的电子温度和晶格温度分布变化,揭示了铜膜内电子非平衡热输运时间随飞秒激光光束参量的变化情况。仿真结果表明,铜膜内的电子非平衡热输运时间会随着泵浦光束数量及脉冲能量密度的增加而增加,并且使用三束飞秒泵浦激光作用时,电子非平衡热输运时间比单脉冲作用时的电子非平衡热输运时间增加了3倍。其次使用三束飞秒激光泵浦的泵浦-探测实验系统进行验证。实验结果表明:通过用具有一定延时的三束飞秒泵浦激光作用铜膜时,铜膜表面的瞬态反射率出现三次突变,使电子非平衡热输运时间得到极大延长,从而大幅度消除激光加工热障,并提高加工的质量、精度和效率。     

二极管泵浦固体激光器热透镜焦距的数值模拟

理论分析了轴对称时,以泵浦光为标准高斯光束,在散热均匀情况下,激光晶体中的三维温度场分布,计算了热透镜焦距。利用Ansys数值,模拟了不同泵浦功率及不同泵浦光半径下,激光晶体中的三维温度场分布,并利用Matlab处理了温度数据,数值计算了热透镜对平行入射晶体端面的平面波产生相位畸变,描绘出热透镜焦距随半径的变化曲线。数值分析得出,热透镜焦距随径向发生变化,出射光波为非球面波,热透镜等效凹面镜不能用单一曲率半径描述,为非球面镜,并研究了泵浦功率和泵浦光半径对热透镜焦距的影响。     

紫外固体激光器在微加工中展现出高精度和可靠性

现代工业需要高功率、高精度和可靠性好、适配性强的切割和钻孔工具，激光在精密的机械加工中已经成为有力的工具，它能对从不锈钢、钼到聚酯薄膜及其织物等大范围的材料进行切割和钻孔。现在激光器的使用寿命可以延至数千小时而不会减少。最近的紫外（ＵＶ）激光器，尤其是准分子激光器以及最近出现的、以二极管激光泵浦的三倍频Ｑ开关矾酸盐激光器，已经在各种微加工的应用中将加工的精度和可靠性提高到了一个新水平。 作为微加工的工具，紫外激光器有许多优于其它激光器的优点，例如：使用ＣＯ２激光进行切割或者钻孔，主要是利用它的热…     

YAG激光棒光泵浦动态热效应的干涉测试

本文研究了脉冲固体激光器的YAG激光棒光泵浦动态热效应对激光波面的影响。采用激光干涉测量方法得到了YAG激光棒在脉冲光泵浦时的瞬态干涉图和泵浦后的时间序列干涉图,并用计算机进行图像处理和计算,得到三维时间序列畸变波面图和激光棒的热焦距随时间变化的曲线。     

用光纤激光器进行微热加工

近年来，在近红外范围内加工用的固体激光器的泵浦方式已从灯泵浦发展到半导体激光(以下称LD)泵浦，进而朝全固体激光泵浦的方向发展。特别是随着泵浦用LD的价格下降，大功率和长寿命的全固体激光器作为工业用的高可靠性光源而倍受青睐。这种全固体激光器种类繁多，     

飞秒激光在材料微加工中的应用

本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理，并着重指出了其与长脉冲激光的区别。飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料，并且，加工精度极高，可进行亚微米尺寸的精密加工。通过分析飞秒激光材料微加工的特性，综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状。     

掺镱全光纤激光器研究

用自制耦合器搭建了全光纤激光振荡器,通过不同的泵浦方式对全光纤激光器进行了实验研究。实验装置中加入包层光剥离器,纤芯/包层分别为20/400 μm的有源光纤作为增益光纤。实验中未加特定的冷却装置,选用2个110 W激光二极管分别进行前向和后向泵浦,在总泵浦功率223.6 W时,前向泵浦方式中获得激光功率输出152.2 W,光-光转换效率69%;后向泵浦方式中,激光功率输出156.5 W,光-光转换效率70%。最后,进行了双向泵浦实验,泵浦光功率443.8 W时,1080 nm近单模激光功率输出311 W,光-光转换效率70%。进一步增加泵浦功率,会获得更高功率的1080nm激光输出。     

旋转双光楔光路引导系统Matlab仿真研究

由于光楔在高精度微孔加工中起着对激光光束引导作用，为了提高激光微细孔加工质量，给出了一种提高光楔对激光微加工精度分析的方法。首先提出了单光楔矢量等效概念，基于单光楔矢量定义对双光楔矢量模型进行了建立与分析，并得出了多个光楔进行矢量叠加的新方法；其次，应用Matlab 编写了仿真软件，仿真得出了激光束经过两个相同光楔后的轨迹，并指出了由于运动系统的不同步对激光微孔加工中打孔质量的影响，进行了误差定量分析并给出了误差计算公式。文中结论对高精度激光微孔加工控制系统设计时的性能指标提供参考。     

880nm LD端面泵浦Nd:YVO_4板条激光实验研究

正将上能级直接泵浦与部分端面泵浦混合腔板条结构结合,可以有效降低激光增益介质的热载和热效应,实现更高功率的高光束质量激光输出、报道了采用两个4-bar 880 nm激光二极管列阵作为泵浦源,两端面泵浦板条Nd:YVO_4晶体的1064 nm实验研究结果、采用了正支离轴非稳-稳定混合腔,在泵浦功率为540 W时,获得了218 W激光输出,光-光转换效率42.6%。M~2因子水平方向大约是1.5,竖直方向是2.0、采用了负支离轴非稳-稳定混合腔,在泵浦功率为540 W时,获得了230 W激光输出,光-光转换效率44%。光束质量与正支时相当。     

准分子激光技术与集成光电子学

本文介绍了准分子激光微加工技术和现状,以及激光加工技术与集成光电子学。文中重点介绍了准分子激光加工技术的优越性及其在集成光电子器件制备过程中的一些特殊作用。     

激光微技术的发展现状

介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型。综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统（MEMS）技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展。     

微机控制脉宽可调的重复频率Nd：YAG激光器

本文介绍了一种没有脉冲形成网络的新型脉冲激光电源的主回路。分析了用单板计算机控制其输出频率与脉冲宽度，脉冲波形的原理及方法，对不同脉宽和放电波形条件的输出特性进行了简要分析。该电源泵浦的激光器输出频率为５０Ｈｚ内可调，脉宽０．２ｍｓ－１０ｍｓ内连续可调。这种输出参数能满足广泛的微加工要求。     

染料激光的偏振输出研究

用线偏振光把染料激光泵浦放大,若泵浦光的偏振方向x与染料的单向偶矩分布之起始对称轴一致,理论上表明,只输出偏振x为方向的激光,对各向同性偶矩分布,由于泵浦光和放大光在染料中传播时,其偏振方向均会旋转,故输出光的偏振度大减。我们主要用准分子和N_2激光泵浦染料激光放大,用起偏装置置入两个放大级之间,使之诱导末     

二极管端泵浦Nd：YAG连续激光器

我们研制了一台二极管连续端泵浦的Ｎｄ：ＹＡＧ激光器，用国产激光二极管作泵浦源，泵浦激光波长为０．８０８μｍ。激光介质为φ５×５ｍｍ的Ｎｄ：ＹＡＧ棒，输出激光波长为１．０６μｍ，用ＣＣＤ相机和图象处理系统记录和分析激光光斑，得到激光横模为ＴＥＭ００模，当输入谐振腔的泵浦功率为２２５ｍＷ时，输出连续激光功率最高达７６．４ｍＷ，光－光转移效率为３３．９％，电光斜效率达到９．１％，并做了腔外倍频实验。     

脉冲激光二极管巴条侧面泵浦Nd:YAG陶瓷瞬态热效应研究

为减弱脉冲激光二极管巴条侧面泵浦Nd:YAG陶瓷激光器热效应影响,提高谐振腔稳定性以及改善激光器性能,文中利用热传导理论对脉冲激光二极管巴条侧泵激光陶瓷产生的温升及热形变场进行了解析研究。依据脉冲激光二极管巴条侧面泵浦激光陶瓷工作状态分析,建立契合实际的热分析模型,通过热传导Poisson方程求解,得到单脉冲侧泵激光陶瓷泵浦时段与泵浦间期两个阶段温度场与热形变场的一般解析表达式。定量地分析了脉冲二极管巴条侧面泵浦Nd:YAG陶瓷三维温场分布、重复脉冲泵浦过程中温度场分布,以及不同泵浦参数对温场的影响,定量分析了达到热动态平衡时泵浦面的热形变量。计算结果表明:当泵浦光功率为60 W,重复频率为100 Hz,束腰半径为150 μm,钕离子掺杂质量分数为1.0 %时,Nd:YAG陶瓷泵浦面产生29.6 ℃的温升,泵浦面与通光面产生0.95 μm和0.99 μm的热形变量。激光陶瓷温度场解析方法解决了使用数值分析法造成研究精确度不高的问题,该方法还可以应用到激光系统的其他热问题研究中,为减弱激光系统中的热问题提供了理论依据。     

激光微加工

激光微加工现已成为激光应用的一个重要分支。由于微电子学的发展,高功率Nd:YAG激光器和CO_2。激光器以及光纤的实用化,才有今日的激光微加工的应用地位。微电子学在要求小型和高集成化的同时,还需要有能低成本批量生产的制作工艺。为此,以微型高速、高精度加工和容易实现程序控制为特点的激光加工技术,迅速朝着实用化方向发展,可以说,微电子学的发展是微调、修复和打标记等激光微加工的发展原动力。一、激光微加工用的激光器目前在激光微加工应用中,Nd:YAG激     

用超短激光脉冲进行精密加工

激光材料加工都用空间和时间压缩的激光能作材料消融、切割、焊接和其它改型。激光作为一种必不可少的工业手段已牢固确立自身的地位，并以快速步伐开发激光在工业上的新应用。激光材料加工的一个分支是激光微加工，一般包括特征尺寸小于１００μｍ的加工。近几年，用准分...     

用发光二极管泵浦的YAG:Nd激光器

空间应用的YAG:Nd激光器,在改进它的泵浦技术方面,有三种考虑:用发光二极管作光泵;用太阳能泵浦;改进现有的灯。因为用发光二极管作光泵有其独到的优点:寿命长、全部元件固体化、能小型化、热影响小、效率高、能高重复频率工作、调制方便等,因而成为一种吸引人的泵浦方式。 1962年资料〔3〕作者提出用二极管泵浦固体激光器,他用GaAs二极管P-n结发出的非相干光激励CaWO_4~(?)Nd观察到了荧光,但没有观察到激光。随后又有一些关于这方面的工作的文章。他们用半导体激光或发光二极管作为固体激光器的光泵,并实现了脉冲工作和连续工作。因为目前适用于泵浦YAG:Nd的半导体激光器还难于实现室温连续工作,同时,其寿命比发光二极管的短得多。所以多用发光二极管而不用半导体激光器作光泵。本文的重点是