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四、电阻真空计 (皮喇尼真空计) 从原理上说,利用一根电阻温度系数高的材料制成规管,在热丝两端加以一定电压,观察电流随压强的变化,或保持一定电流,观察其所需电压与压强的关系,都能反映电阻的变化,从而反映真空度。但实际上这种方法不够灵敏。实用的电阻真空计都是用惠氏电桥的方法。在此方法中规管热丝充当电桥之一臂,电桥其他各臂的电阻,则约略与规管热丝电阻相等。电桥既加热热丝,同时亦“测”其电阻。 最简单的电桥法如图(三)所示。图中规管电阻为Rw,其他两壁的电阻R_2和R_3阻值与Rw相等,另一电阻R-1为可变的,用于调节电桥的平衡。… 相似文献
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本文主要讲过热传导真空计的工作原理、测量范围、主要型式、工作模式、环境温度的影响及其补偿方法、测量下限的开拓、测量上限的开拓、老化效应等问题。重点放在电阻真空计,热偶真空计亦适当兼顾。 相似文献
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徐国良 《真空科学与技术学报》1981,(1)
在空间科学技术、高能粒子、受控热核反应和高速风洞等尖端科学技术研究中,出现了特殊环境下的真空度测量,尤其对非稳定气流和非均匀气流的压强测量,提出了一些新的要求和探测中的特殊问题。较为关心的问题之一,是真空计的响应速度,一般要求具有快速响应特性。但是,要求真空计具有快速反应只是问题的一个方面,而实际上有些真空计如热丝、热电偶和热电堆等热传导真空计,其本身固有一定的热惯性。由于它们具有结构简单、体积和功耗小等特点,常被用来测量非稳定气流的压强。这就要求不但测 相似文献
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由湖南省仪器仪表公司主持,于一九七九年十月九日至十一日在湖南省益阳市召开了DL-8(A)型电离真空计鉴定会。对益阳市真空仪表厂试制的“DL-8(A)型电离真空计”进行了技术资料审查和仪器性能的技术鉴定。 参加这次会议的二十八个单位,代表共四十人。会议听取了原设计单位北京大学物理系副教授郭元恒同志关于DL-8(A)型电离真空计设计思想的报告、听取了益阳市真空仪表厂试制总结报告、技术条件、试验鉴定大纲以及例行试验报告和用户单位使用情况的介绍。 会议期间,由国家计量科学研究院、一机部上海电动工具研究所、湖南省计量局、湖北省… 相似文献
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在我国仍采用托、毫米汞柱为单位的真空仪表就有十万余台,按照国家计量法的规定,这些仪表到 一九九○年就不能使用了,为使这些仪表不致报废,本文为常用其空计提出了一个简单易行的改制方 案,并以 WZK、SG—3、FZH型真空计为例, 论述了改制方策的可行性和具体措施。与电离规 ZJ—2、 热偶规ZJ—51配套的复合真空计,电离计部分通过改变放大器的增益;热偶计部分换上块Pa刻度盘 则可达到改制的目的。建议借改制之机,推广使用稳定型热偶真空规:ZJ-51B,ZJ—51C。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2016,(11)
采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。 相似文献
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自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100~10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管… 相似文献
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本从影响电离真空计示值误差的7个方面,推导出电离真空计“误差 函数”y=f(x)和其表达式,并着重强调了误差函数的“与门”特性,进一步讨论了电离真空计误差函数f(x)中,自变量因子影响函数的方式和计算思路。 相似文献
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电容式薄膜真空计的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了这种传感器的特点,测量原理。叙述了所研制的传感器的形式、结构、材料以及使用情况。一、前言在粗、低真空测量中,通常使用水银(或油)的U型管、弹簧管真空表、热偶真空计、电阻式真空计。这些真空计工作原理简单,操作方便,得到广泛的使用。但这些真空计的测 相似文献
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电离真空计规管及其控制单元。都有各自的各项误差。本文讨论作为电离计整体的误差与各项误差的关系。 电离计的压强读数可用下述公式表达;式中:i+──为收集极离子流; i──为发射电流; k──为规管系数. 白误差传递公式(1)可得到压强的示值 (相对)误差Ep的表达式: E2=E2H+E2I+E2i-(2)式中Ek、Ei+和Ei-分别为规管系数,离子流和发射电流的相对误差。下面分别讨论这三项误差。 1.规管系数的误差 规管测量的对象往往含有氧气、水蒸汽或其它污染性气体,电极及玻壳往往受到氧化或污染。这样规管系数在寿命过程中会逐渐变化。使用后的规管比… 相似文献
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薄膜电阻真空计的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
薄膜电阻真空计的测量范围为1托~1000托,线性测量,测量精度优于5%,为全压强测量,测量值受被测气体种类影响较小。一、引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻,组成惠斯登电桥。硅膜片在不受力时,电桥处于平衡状态,电桥没有电压输出。硅膜片受到压力时,由于压阻效应,电桥处 相似文献