氮化钽薄膜皮拉尼真空计的灵敏度特性

1.前言加热物体被周围气体所传导的热量随气压而变化,利用此原理制造的皮拉尼(热传导型)真空计有比较简单的测量电路,即使在大气压下工作也不会损坏,适用于一般工业上的真空度测量。由于压强高于10托和低于10~(-3)托时,气体热传导和压强的关系较小,在此压强范围内,用通常的白金丝皮拉尼真空计测量压强是困难的。为了在上述压强范围内使真空     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

易激发的冷阴极电离计

这只高真空规测量10~(-4)～10~(-8)托。规的特点是在阴极上装了一个点火器。冷规在-2.5KV直流高压下引燃。通常反应时间小于1分钟。线性范围在5×10~(-3)到5×10~(-8)托。并且计算了在各个压强下的最大正负偏差数值。这个数值小于百分之五十。冷阴极电离真空计(以下简称冷规),因无热灯丝,不会因系统突然漏气而烧毁;规管租电源结构简单,且规管灵敏度高。但是普遍认为,冷规在上下限的扩展上比较困难。为解决在低压强下激发和下限的延伸,以激发电离为例曾对潘宁规采取过加辅助针尖、加     

《WZK─IP型》复合计改为高压强计试验报告

一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1～10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…     

磁悬浮高速转子真空计的试验

本文介绍我们研制的磁悬浮真空计初步试验结果。简述该计的组成与利用数字频率计测量压强的方法。给出与中国计量科学研究院真空室的薄膜真空计对比,与DL-2型热阴极电离计对比及密封管静态压强测量稳定性的试验结果。试验的结果表明: ①多次对比的试验有较好的重复性。②在1×10~(-2)～1×10~(-3)托压强范围内,磁悬规与薄膜真空计的读数基本一致,相对偏差小于1％。磁悬规压强测量线性上限为1×10~(-2)托。③在1×10~(-3)～1×10~(-5)托压强范围内,DL-2型热阴极电离计与磁悬规的读数的相对偏差在 5％～-10％之间。在6×10~(-4)托压强附近,三天内多次对比的重复性较好。两个规的压强读数比值的相对标准差为1.3×10~(-2)。④密封管内静态压强的测量,平均压强P=2.555×10~(-3)托时,相对标准差为4.3×10~(-3);平均压强P=6.479×10~(-5)。托时,相对标准差为1.1×10~(-2)。     

热偶真空规与毫伏表的正确匹配

一、概述: 使用PL-3规管之热偶真空计,是目前压强在10-1-10-3托量程中,是最广范使用的一种真空计。第一它具有在10-1-10-3托压强范畴,气体热传导性能突出,因而性能稳定可靠。并具有连续测量,同时可以测量气体和蒸气总压强,可远距离测量,结构简单,在大气压下也不致损坏规管。第二厂家设计定型,生产定型,产量大,目前国产单独热偶计与热偶电离复合计型号甚多,例表一单独热偶计产地与型号参数表,例表二复合计产地、型号、参数表。 热偶计规管,在国内基本上都采用DL- 3型规管,每年亦有上万支的产量。可见其应用价值与使用量都是很大的,第三在冶…     

自制高真空电离真空计电路校准仪

三极管式热阴极电离真空计是应用较广泛的真空测量仪器。它的原理、结构等特点决定了它的测量范围在10-4托～10-7托,在各电子管厂中被广泛地使用着。电离真空计的好坏及测量准确与否直接关系到电子管生产质量的优劣,为此,必须对电离真空计进行校准,包括对电离真空计的DL—2型规     

电涡流式薄膜真空计鉴定会在杭州举行

1984年4月26日～4月27日在杭州对浙江省计量局和浙江大学科仪系研制的 HB—1型电涡流式薄膜真空计的技术进行了鉴定。来自全国各地的40多名代表参加了鉴定会。与会代表认为电涡流式薄膜真空计属于国内首创,原理正确、设计合理,其测量精度达到国内先进水平。HB—1型真空计由两个传感器和一台测量仪器组成。测量范围为10~(-2)～760托(10~(-2)托为检测灵敏限)。共分1、3、10、100、300、760六个量程。设计的测量精度指标为不大于每档满度值的±3%。     

真空计现场校准装置的研制

研制了一台便携式真空计现场校准装置,采用分体式设计,结构紧凑,装置小型化,便于现场移动。集成MKS薄膜真空计和370电离真空计作为标准器,利用静态比较法和动态平衡法,极限真空度可达10-6 Pa量级,在(1×10-3～1×105)Pa的测量范围内,相对扩展不确定度Urel=(5～0.5)%(k=2),解决了真空计及真空系统现场校准的难题,综合技术指标达到国内先进水平。     

一种(10-5-10-16)Pa·m3/s标准气体流量计的设计

本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10-10 m3/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在...     

超高/极高真空校准装置的研制

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa~10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。     

标准静态膨胀法真空装置研制

本装置检定范围(10^-3～10^5)Pa，最佳校准能力0．012％～2．2％．可以检定薄膜真空计。热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^-3Pa高真空计量的需求，而且还可以用来校准标准漏孔，拓宽了检测领域。     

正压漏孔校准装置优化设计

针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率.     

极高真空的获得和测量

简介 任何真空系统的性能,都是由真空室的材料、泵和真空计的选择而确定的。获得极高真空(低于10-9帕)的首要条件是使用放气率低的材料。现有的不锈钢和因康镍合金是合适的,这种合金在适当条件下,对于氢的放气率低于10-10帕·米·秒-1(10-13托·升·秒-1·厘米-2)。其次,要确切地了解泵和真空计的低压性能。由于测量和抽气极限之间互相干扰,满足后一要求常常是困难的。我们利用了低温泵提供压强与抽速以及低的已知放气率的材料无关的特点,获得了低于微微帕范围(10-12托)的压强,而且可以容易地求得任何测量装置的低压极限。沿用这种方法,我们…     

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100～10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管…     

真空测量与标准的现状和趋势

(一)真空测量 一、现状 随着真空技术在许多工业部门广泛地应用和航天科学、高能物理、受控热核反应、表面研究等尖端科研的发展,促使真空技术有了长足的进步,现在已获得了推测为10-15托的真空度(1),六十年代标志着真空技术跨入了一个新阶段——极高真空领域。 真空(全压)测量,作为真空技术的重要组成部分也取得了相应的发展。目前从大气压以下直到 10-12托范围,可用不同类型的真空计去测量相应区间的压强。在这样广阔的范围内,可以说一般条件下真空测量的仪器已有。但迄今在解决10-13～10-15托的测量方面,十多年来进展是缓慢的。要用已有的…     

DL-10A型石英真空计

DL-10A型石英真空计,测量范围为5×10-1～105 Pa。石英真空计的特点是传感器的体积小,这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外,它能测量小体积,例如1 cm3大小的密封器件的气体压强,并能检测真空的保持状态。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基