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制备工艺对厚膜SnO_2气敏元件性能的影响 总被引:6,自引:1,他引:5
采用平面丝网印刷技术制备不同厚度的 Sn O2 厚膜气敏试样 ,在不同温度下进行热处理后 ,测量试样对乙醇气体的灵敏度 ,研究热处理温度及敏感膜厚度等对元件性能的影响。结果表明 ,热处理温度和膜厚的均匀性会影响元件的电阻值和灵敏度 ,准确控制热处理温度和膜厚能显著改善元件的灵敏度和一致性。 相似文献
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建立了薄膜气敏元件响应与膜厚的关系。指出随着膜厚减小,元件响应呈上升、下降、再上升的规律,且较好地解释了实验发现的响应与膜厚的关系对还原性气体种类的依赖。 相似文献
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SnO_2-Sb薄膜材料的制备及气敏性能 总被引:3,自引:0,他引:3
利用等离子体化学气相沉积法制备了SnO2-Sb导电薄膜,测试了SnO2-Sb的气敏效应。结果表明,该薄膜对NO2气体有较好的气敏特性。当测试温度升高,其气敏响应时间相差无几,但恢复时间变短,同时气敏灵敏度相对提高,当温度达到200℃以上时,灵敏度基本恒定。同时还可看出,不同阻值的薄膜其气敏灵敏度相差不大。 相似文献
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α-Fe2O3厚膜的成型与玻璃实的选取及玻璃料含量有很大关系,α-Fe2O3厚膜的敏感特性与Sn^4+的掺入量以及烧成温度有很大关系,找到了最佳的配方及烧成温度。 相似文献
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厚膜型气敏器件膜厚影响气体检测灵敏度的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用化学深沉法制备SnO2纳米材料,再利用平面丝网印刷技术制备不同膜厚的SnO2厚膜型气敏器件试样,测量不同厚膜气敏器件试样对甲烷气体检测灵敏度和阻温曲线,并进行复阻抗分析。实验表明试样膜厚对检测灵敏度的影响是明显的,试样膜厚在53μm左右对甲烷气体有最大灵敏度。 相似文献
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不同CO吸附类型对超细SnO_2气敏元件的作用 总被引:1,自引:0,他引:1
本工作采用超细SnO2为基体,CO为检测气体,检测了烧结型SnO2元件在不同温度下的气敏效应.同时利用流动饱和法测试了粉体不同温度下对CO的可逆及不可逆吸附量.一方面通过新材料的使用,降低了元件的工作温度;另一方面,通过吸附测试与气敏效应的关联,认为:超细粉体低温时表面可逆CO量的存在,是其能够降低工作温度的主要原因.粉体表面的不可逆CO量直接影响着元件的响应输出(灵敏度).材料本身的吸附总量和气敏特性有着良好的对应关系.SnO2元件气敏效应的发挥是粉体表面可逆与不可逆吸附共同作用的结果. 相似文献
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采用聚乙烯醇(PVA,Mw=80000g/mol)和五水合四氯化锡(SnCl4.5H2O)作为静电纺丝前驱液,着重研究了纺丝电压、前驱液中PVA浓度及煅烧温度等因素对纺丝过程及纤维特性的影响,并用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)等分析手段对纤维的微观结构、表面形貌和结晶状态进行了表征。结果表明,当纺丝电压为4kV、纺丝液中PVA质量分数为7%、退火温度为700℃时,可以得到平均直径为300nm的连续SnO2纳米纤维。该纤维对乙醇的响应恢复时间小于15s,检测极限低于10×10-9。 相似文献
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SnO_2基CO气敏材料的制备与掺杂研究 总被引:4,自引:1,他引:3
以溶胶–凝胶法制备的SnO2纳米材料为基,采用Sb2O3掺杂改性,制备出CO气敏材料。用XRD分析了材料的结构、物相和颗粒度。通过同步TGA/DSC热重分析的方法分析了材料的稳定性。结果表明:掺入w(Sb2O3)为2%时,可以抑制晶粒度的长大,同时提高了材料的稳定性。工作温度在90~110℃变化时,气敏元件电阻值波动不大((R10R20) /R10= 12%)。R10和R20分别表示元件在空气中90℃和110℃时的阻值。 相似文献
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纳米晶SnO2气敏薄膜的制备与表征 总被引:4,自引:2,他引:2
以Sn(OH)4水合胶体为原料,采用溶胶-凝胶方法在Si片上制备了SnO2纳米晶薄膜,利用差热、热重、X光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析,结果表明:在600℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整,具有金红石结构,平均粒度在10nm左右。以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的FET式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性。 相似文献
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