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相似文献
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1.
制备工艺对厚膜SnO_2气敏元件性能的影响   总被引:6,自引:1,他引:5  
采用平面丝网印刷技术制备不同厚度的 Sn O2 厚膜气敏试样 ,在不同温度下进行热处理后 ,测量试样对乙醇气体的灵敏度 ,研究热处理温度及敏感膜厚度等对元件性能的影响。结果表明 ,热处理温度和膜厚的均匀性会影响元件的电阻值和灵敏度 ,准确控制热处理温度和膜厚能显著改善元件的灵敏度和一致性。  相似文献   

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3.
建立了薄膜气敏元件响应与膜厚的关系。指出随着膜厚减小,元件响应呈上升、下降、再上升的规律,且较好地解释了实验发现的响应与膜厚的关系对还原性气体种类的依赖。  相似文献   

4.
SnO_2-Sb薄膜材料的制备及气敏性能   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用等离子体化学气相沉积法制备了SnO2-Sb导电薄膜,测试了SnO2-Sb的气敏效应。结果表明,该薄膜对NO2气体有较好的气敏特性。当测试温度升高,其气敏响应时间相差无几,但恢复时间变短,同时气敏灵敏度相对提高,当温度达到200℃以上时,灵敏度基本恒定。同时还可看出,不同阻值的薄膜其气敏灵敏度相差不大。  相似文献   

5.
α-Fe2O3厚膜的成型与玻璃实的选取及玻璃料含量有很大关系,α-Fe2O3厚膜的敏感特性与Sn^4+的掺入量以及烧成温度有很大关系,找到了最佳的配方及烧成温度。  相似文献   

6.
厚膜型气敏器件膜厚影响气体检测灵敏度的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
傅军 《半导体技术》2000,25(2):23-25
利用化学深沉法制备SnO2纳米材料,再利用平面丝网印刷技术制备不同膜厚的SnO2厚膜型气敏器件试样,测量不同厚膜气敏器件试样对甲烷气体检测灵敏度和阻温曲线,并进行复阻抗分析。实验表明试样膜厚对检测灵敏度的影响是明显的,试样膜厚在53μm左右对甲烷气体有最大灵敏度。  相似文献   

7.
Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
以硝酸锌、硝酸铝和氢氧化钠为原料,采用sol-gel法制备铝掺杂的纳米氧化锌厚膜(样品),并利用XRD和SEM对其微观结构进行了表征。研究了铝掺杂量和退火温度对ZnO厚膜的气敏性能的影响。结果表明:700℃退火、掺w(Al)为2.9%的样品对体积分数为4.0×10–1的丙酮有很好的选择性,最大灵敏度达到7 779左右,最佳工作温度约为162℃,响应、恢复时间均为1 s,最后讨论了铝掺杂纳米氧化锌的气敏机理。  相似文献   

8.
以钛酸丁酯的水解反应制备了ZnO掺杂的纳米TiO2厚膜。通过XRD和SEM对不同退火温度下制备出的不同掺杂量的ZnO-TiO2粉体进行物相分析和表面形貌比较,并利用气敏测试系统检测其气敏特性。讨论了掺杂量和退火温度对ZnO-TiO2厚膜气敏特性的影响,同时分析了其气敏机理。结果表明:700℃退火,w(ZnO)=4%的ZnO-TiO2结晶尺寸达到26.8 nm,体现出对丙酮蒸气单一的选择性,灵敏度为8 913,响应和恢复时间均为2 s。  相似文献   

9.
10.
利用钛酸丁酯与无水乙醇的水解反应制备了纳米TiO2厚膜,并对其进行了不同含量的ZnO掺杂和不同温度的退火.通过XRD和SEM对所制备的ZnO-TiO2纳米粉的物相结构和表面微观形貌进行了表征,利用气敏元件测试系统对用其制备的气敏元件的气敏特性进行了检测,研究了ZnO的掺杂量和退火温度对TiO2厚膜气敏性能的影响,并对T...  相似文献   

11.
采用CTAB模板法制备了具有介孔结构的SnO2。通过小角X射线衍射,BET法对其进行了表征。采用静态配气法对介孔SnO2的气敏性能进行了研究。结果表明:随着煅烧温度的升高,介孔SnO2的比表面积从105.54m2/g降到38.11m2/g。通过延长陈化时间和进一步水热处理可以增加介孔SnO2材料的比表面积。气敏测试表明:在4.5V加热电压下,气敏元件对体积分数为50×10-6酒精蒸气有较好的气敏性能,灵敏度为9.4,响应-恢复时间均为8s。  相似文献   

12.
不同CO吸附类型对超细SnO_2气敏元件的作用   总被引:1,自引:0,他引:1  
本工作采用超细SnO2为基体,CO为检测气体,检测了烧结型SnO2元件在不同温度下的气敏效应.同时利用流动饱和法测试了粉体不同温度下对CO的可逆及不可逆吸附量.一方面通过新材料的使用,降低了元件的工作温度;另一方面,通过吸附测试与气敏效应的关联,认为:超细粉体低温时表面可逆CO量的存在,是其能够降低工作温度的主要原因.粉体表面的不可逆CO量直接影响着元件的响应输出(灵敏度).材料本身的吸附总量和气敏特性有着良好的对应关系.SnO2元件气敏效应的发挥是粉体表面可逆与不可逆吸附共同作用的结果.  相似文献   

13.
Pd掺杂SnO2气敏薄膜XPS分析及其气敏性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
分别在氧气和氩气气氛下,于纯SnO<,2>气敏薄膜上溅射金属Pd制备了Pd掺杂SnO<,2>,气敏薄膜.利用XPS分析了溅射气氛和老化处理对该气敏薄膜表面元素含量变化的影响.结果表明:溅射气氛和老化处理对气敏薄膜的表面吸附氧含量和其他元素的含量均有很大影响,如氩气气氛下制备的Pd/SnO<,2>气敏薄膜在老化前与400...  相似文献   

14.
采用聚乙烯醇(PVA,Mw=80000g/mol)和五水合四氯化锡(SnCl4.5H2O)作为静电纺丝前驱液,着重研究了纺丝电压、前驱液中PVA浓度及煅烧温度等因素对纺丝过程及纤维特性的影响,并用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)等分析手段对纤维的微观结构、表面形貌和结晶状态进行了表征。结果表明,当纺丝电压为4kV、纺丝液中PVA质量分数为7%、退火温度为700℃时,可以得到平均直径为300nm的连续SnO2纳米纤维。该纤维对乙醇的响应恢复时间小于15s,检测极限低于10×10-9。  相似文献   

15.
光纤气敏传感材料SnO_2的光学特性研究   总被引:13,自引:0,他引:13  
本文研究了二氧化锡在某些可燃性气体中的光学特性。发现在不同浓度的甲醇、丙酮、氨蒸气下,二氧化锡有不同的透射光谱。在可见及近红外区,其透射强度随气体浓度的增加而增加,并对不同波长有不同的灵敏度。  相似文献   

16.
CuO掺杂纳米SnO_2的气敏性能研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用柠檬酸溶解–热解法制备纳米SnO2,并对其进行由不同Cu源制备的CuO粉体机械混合掺杂,进而对掺杂氧化物进行XRD表征,采用静态配气法测试其气敏性能。结果表明:少量的CuO机械混合可掺入纳米SnO2粉体的晶格中,以CuSO4为原料制备的CuO掺杂,可有效提高SnO2粉体对H2S气体的气敏性能,且以5%CuO掺杂量(质量分数)在120℃时,对0.0005%H2S的气敏性能最好,灵敏度可以达到4545。  相似文献   

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SnO_2基CO气敏材料的制备与掺杂研究   总被引:4,自引:1,他引:3  
以溶胶–凝胶法制备的SnO2纳米材料为基,采用Sb2O3掺杂改性,制备出CO气敏材料。用XRD分析了材料的结构、物相和颗粒度。通过同步TGA/DSC热重分析的方法分析了材料的稳定性。结果表明:掺入w(Sb2O3)为2%时,可以抑制晶粒度的长大,同时提高了材料的稳定性。工作温度在90~110℃变化时,气敏元件电阻值波动不大((R10R20) /R10= 12%)。R10和R20分别表示元件在空气中90℃和110℃时的阻值。  相似文献   

19.
纳米晶SnO2气敏薄膜的制备与表征   总被引:4,自引:2,他引:2  
索辉  向思清 《半导体学报》2000,21(8):774-777
以Sn(OH)4水合胶体为原料,采用溶胶-凝胶方法在Si片上制备了SnO2纳米晶薄膜,利用差热、热重、X光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析,结果表明:在600℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整,具有金红石结构,平均粒度在10nm左右。以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的FET式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性。  相似文献   

20.
Pt/TiO_2厚膜氧敏元件研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用溶胶-凝胶法制备Pt/TiO_2厚膜氧敏元件,对元件的性能进行了测试,得出了一些有益的结论。  相似文献   

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