光瞳滤波投影光刻实验研究

介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统，其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置，可方便取放滤波器。在理论分析的基础上，开展了光刻对比实验研究，实验研究，实验研究结果表明光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像系统分辨力，并增大焦深，是一种比较有效地提高投影光刻成像质量的方法。     

干涉光束提高光刻分辨率

光刻的不断改善已使大量制造特征尺寸小至 0 .1 8μm的半导体芯片成为可能。由于对空前计算能力的需求 ,迫切需要开发使光刻推广到更小线宽的技术。光学材料和透镜设计的限制要求这种最新技术具有使分辨率超过采用铬玻璃掩模和轴上照明的标准光刻系统的诀窍。诀窍的若干内容是相移掩模、各种类别的离轴照明和光学贴近校正。现在一种新增诀窍称为成像干涉光刻 ( ILL)术。图 1　成像干涉光刻光学系统的入瞳光阑含有通过x和 y零级光束的两个针孔 ,模拟正交零级光束的挪开和重新组合由新墨西哥大学 S.Brueck和他的研究组发展的成像干涉光刻术…     

光瞳滤波光刻图形质量影响因素分析

在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素。指出影响图形质量的因素除了滤波器设计本身存在误差,主要还存在滤波器的制作误差、滤波器在成像光路中放置的位置误差和光刻工艺条件等因素。实验表明只有注意控制好这些影响因素,才能很好挖掘该技术提高光刻分辨力、增大焦深的潜能。     

用于提高光刻分辨率的光学成像算法的研究

通过对光刻系统中光学成像系统的模拟,提出了改善光刻分辨率的途径以及基于卷积核的计算光强的方法,并介绍了光学系统的传输交叉系数具体计算过程.建立准确描述由于掩模制造工艺、光刻胶曝光、显影、蚀刻所引起的光学邻近效应和畸变所导致的关键尺寸变化的光刻工艺模型,有助于开发由成品率驱动的版图设计工具,自动地实现深亚微米下半导体制造中先进的掩模设计、验证和检查等任务.     

可提高光谱分辨率的脉冲成形技术

在需要介(飞秒,职7T价一。。,,._斯托克斯喇曼光谱学(CARS)已成为一种精选技术,扮”一冲业裸魏六却受到其贺带脉冲的限制。现在,以色列的研究人员用量子相干控制方法从120cnl一‘带宽的探测脉冲中提取15cm一‘的共振信号。他们用一个液晶空间光调制器对作为探测器的锁模钦:蓝宝     

一种提高ADC分辨率的插值滤波方法

基于过采样和求均值原理设计插值滤波器，来提高ADC的分辨率和SNR。根据奈奎斯特采样定理，对插值滤波器进行了采样频率分析、量化误差分析，并得出分辨率与OSR的关系。通过对插值滤波器的信噪比分析，得到噪声功率与ADC位数之间的函数关系。本文对方法的有效性进行了阐述，指出插值滤波改善SNR和提高信号测量的有效位数的前提条件。实践证明可以采用插值滤波技术，通过软件实现提高仪表分辨率和信噪比，降低仪表成本。     

表面等离子体透射增强提高光刻分辨率的模拟

讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形底角角度变化对透射率和分辨率的影响。当角度在57°～64°之间变化时,得出三角形脊部有透射增强现象产生,最大透射振幅是入射光的4.2倍,分辨率为(30±5)nm。因为凹槽部分透射光强度很小,因此具有很好的分辨率。通过对比周期和非周期边界条件模拟,三角形脊的形状是产生透射增强现象的原因。     

傅里叶变换存储光刻系统的研制

研制了一种傅里叶变换存储光刻系统,为在光刻胶干版上进行傅里叶变换存储研究提供了一种有效的工具。系统采用空间光调制器作为图像输入,能够对图像进行空间、角度复用自动记录傅里叶全息图。由于曝光时间达到毫秒级,记录过程对振动不敏感,不需要防震全息台。系统输入图像的条纹最高空间频率为每毫米19线对,记录频率达每分钟10次。     

提高分辨率增大焦深的光学光刻新技术

提高分辨率，增大焦深，是限制光学光刻发展的主要因素。本文通过对光学光刻现状及潜能的分析，说明光学光刻可实现亚半微米ＩＣ的工业化生产。进而阐述了既可改善焦深又能提高分辨率的光学光刻新技术。     

接近式光刻的角谱法仿真研究

在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而引起光刻胶结构的形状缺陷.对该衍射光场进行计算机仿真,预测光刻图形误差,可以为误差修正提供理论依据.运用快速傅里叶(FFT)方法对接近式曝光进行角谱计算,研究了FFT相关参数的选择依据和参数范围的确定原则,详细讨论了光刻机的照明机理对参数选择的影响.通过对先刻胶表面和内部的衍射光场分布的仿真计算,表明了该方法既具有好的计算精度,又具有计算速度快的明显优势.给出了与利用瑞利索末菲衍射公式进行的仿真计算的比较,两者的计算精度相差很小,但本方法的计算速度快了几十倍.由此表明,本FFT方法可以为在掩模设计阶段就预修正微结构图形,为获得理想的光刻胶图形的可制造设计(design for manufacture) 的工程实用化提供一种可行的途径.     

有关傅立叶变换和傅立叶系数求解的几个问题

针对学生作业中出现的错误，指出了几个在求解傅立叶变换和傅立叶系数时应注意的问题：何时8及如何从极限的观点求信号的频谱、如何正确运用FT的微分、积分性质以及运算过程中积分与求和的次序问题，以期澄清学生思想中的错误观点。     

一种新的变换域自适应LMS滤波算法

为了改善时变系统中的LMS算法收敛速度,一般可以在变换域进行自适应处理。通过研究和分析分数阶傅里叶变换与时-频平面的关系,提出在分数阶傅里叶变换域进行自适应时-频滤波。所提出的方法首先搜索最佳变换域,然后在分数阶傅里叶变换域进行LMS自适应滤波。仿真结果表明,与目前一些基于变换域的方法对比,新方法通过对时-频平面的旋转,可以显著加速算法收敛性。     

一种基于自适应滤波的语音降噪方法研究

分析和研究自适应滤波和小波变换法的原理及方法,提出了一种新的综合使用自适应滤波和小波变换法的语音降噪方法。该方法首先用仿生小波变换法对带噪声的语音信号进行小波分解,将小渡变换法分离出来的噪声信号作为自适应滤波器的输入。最后选择用最小均方误差（LMS）的自适应算法对带噪声语音信号进行降噪处理,实现了信噪分离,去除语音信号中的噪声信号。实验结果表明,该方法对语音信号有较为明显的降噪效果。     

反滤波对图像退化的复原研究与实现

在图像退化基础上，根据退化的过程运用了反滤波器进行复原，实验表明，通常在满足一定信噪比时，对退化的图像进行复原的效果有明显改善。     

Wavelet domain denoising method based on multistage median filtering

There are two main problems in the threshold denoising method based on wavelet transform. One is the difficulty of threshold selection, and the other is the inconsistence of the dip and curved events in the low signal-to-noise ratio (SNR) seismic data after denoising. In image denoising, multistage median filtering can preserve the details of the signal. So we proposed a denoising algorithm in wavelet transform domain based on multistage median filtering. Using this method the flat region and the edge region are differentiated by the difference between the maximum mid-value and the minimum mid-value, which preserves the details, thus improves the denoising effect. The simulation data and the real data processing results reveal that this method has stronger ability in separating signal from noise than that of the threshold denoising method.     

基于时域滤波技术的土壤阻抗模型研究

时域分析场线耦合问题对于线缆电磁脉冲防护研究具有重要意义.针对时域传输线方程中土壤阻抗与电流卷积计算的复杂性,提出了一种基于数字滤波技术的土壤阻抗模型估算方法.介绍了所采用的土壤阻抗模型以及数字滤波方法的基本原理和建模结果.这一数字滤波建模方法的引入避免了复杂的卷积计算,可用于分析非均匀场入射或终端连接非线性负载条件下场线耦合的时域计算.     

A signal theory approach to the space and frequency variant filtering performed by the human visual system

A mathematical representation is given of the processing performed by the peripheral nervous cells of the human visual system. This representation consists essentially of a set of shift-variant convolutions, implying non-uniform resolutions in both the space and frequency domains. A remarkable property of such “convolutions” is the form-invariance of their outputs with respect to (size) linear scalings of the inputs. It is shown that this latter property is a necessary support of the hypothesis according to which the visual system translates linear scalings of the (retinal) inputs into shifts of the (cortical) outputs.     

提高直线度测量分辨率的新方法

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.