用雷尼肖（RENISHAW）激光干涉仪实现线纹尺的动态测量

本文扼要叙述了利用激光干涉仪动态测量高精度线纹尺的方法与同时用比长仪测量线纹尺的结果进行了比较,结果十分接近,从而使当前大量的激光干涉仪拓宽了用途。     

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学,机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术,该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量。     

用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量...     

XL-80全新轻巧型激光干涉仪测量系统

Renishaw新型XL-80激光系统和XC-80补偿器比原有的ML10和EC10总重（包括连接电缆、电源和传感器）减轻了70％。并且，随着激光头和补偿器尺寸减小，其它系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的情况下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。[第一段]     

PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造

本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造,通过加装CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理,并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算,得到被测平晶的平面度。经实验验证,改造后的干涉仪满足了对?150mm以下的一、二级平晶的检定要求,适用于计量部门对平晶进行检定。     

雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80

在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]     

环境对双频激光干涉仪测量不确定度的影响

双频激光干涉仪使用于不同的环境条件下时，由于空气折射率的变化，会使其测量不确定度受到影响。采用计算法进行修正时，要求正确地测定环境参数，如气压、温度、湿度等。本文对于这些参数的测定精度进行了分析，给出了具体的环境参数测定不确定度。     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。     

用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移

将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台,通过实验研究了其位移与电压的关系.实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系.另外,还对影响系统定位的误差作了相关分析.     

半导体激光端点测长干涉仪实验系统

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理,构成,定标方法和测量结果。     

激光干涉法测量微小振动

文章介绍用激光干涉法测量新型压电微驱动器动态位移响应的实验原理及方法。实验结果表明,这类PZN－PZT微驱动器不仅具有高的电压－位移灵敏度,而且其频响可高达1kHz,是一种很好的微驱动器件。     

纳米级二维激光外差干涉仪的设计

提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度，、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。     

三维推挽式顺变柱体干涉型加速度传感系统

应用单质量块推挽式顺变柱体和迈克尔逊干涉仪双光路检测进行三维加速度传感器设计;采用DSP和Cygnal51双核设计技术,实现实时信号采集、光相位调制、加速度信号解调等;嵌入TCP/IP协议实现Internet高速网络接口,从而构成实用型实时加速度传感器系统。传感器灵敏度为1.94×103rad/g,交叉灵敏度接近于零。实际测量时系统可以实时、线性地跟踪到加速度信号,三个分量有较好的一致性。     

基于迈克尔逊干涉法的太赫兹波长精密测量

搭建了以迈克尔逊干涉法为基础并引入参考激光作为光程变化度量值的分光路波长测量系统。利用理论分析配合软件仿真的方式研究测量光路中存在的影响因素,以动镜偏转、分束镜偏转和光束偏转导致的相对附加光程差作为评价标准进行分析与判定。测量结果表明：100 GHz的太赫兹源波长为3.114 2 mm,相对扩展不确定度为0.9%(k=2)。使用标准太赫兹频率计对同一太赫兹源进行比对实验,获得修正系数为1.003 5,从而验证了测量结果的准确性和太赫兹波长测量系统的可靠性。     

激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响

利用惠更斯关于波面传播的理论，分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响，得到了相应的结论。     

高速光截法三维面形重建

在高速光截法三维面形测量中,由于光截面之间距离增加,物体表面的不连续性将容易导致错误的三角网格化,引起面形重建的畸变。由此,提出了一种新的快速面形重建方法。这种方法在三角网格化时考虑截面中心的移动,并通过引入权值函数来调整连接状态;用连接加权法构造三角网格,提高了网格连接的准确性;通过调整光截面中心消除了由三角网格化错位造成的影响。理论分析和实验结果表明,该方法具有与其它快速方法相同的运算复杂度O(N),而面形恢复的准确度明显优于传统方法。     

Simultaneous sensing of the strain and points of failure in composite beams with an embedded fiber optic Michelson sensor

A fiber optic Michelson sensor was embedded in composite beams to sense the internal strain and points of failure of the composite structures. The bending deformation and matrix cracking were investigated by four-point bending tests of cross-ply composite beams with the embedded fiber optic sensor. The failure points of composite beams were detected by using both a PZT sensor and a fiber optic sensor in order to investigate the fiber optic failure signals. The failure due to matrix cracks in a composite beam was confirmed by the edge replica method. The digital processing of the fiber optic signal was carried out to determine the strains and failure points of composite beams. The failure points were observed from the processed failure signal by high-pass filtering. The initial failure strain of the composite beam was measured and processed from the fiber optic strain signal after low-pass filtering.