微磨料水射流加工技术研究现状

现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术(射流直径10~100μm)快速发展,已实现对金属、陶瓷、光学玻璃、半导体以及复合材料等难加工材料的精密微细加工,其加工精度和表面质量已达到激光加工水平,是一种具有广阔应用前景的新型微细加工技术.为进一步了解该项技术的最新发展动态,本文介绍了微磨料水射流加工技术的基本原理、研究现状以及未来的发展趋势.     

微细电化学加工技术

开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工．讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤．针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒脉宽脉冲电流、电化学微铣削等手段,结合若干实例进行了加工试验,例如：微缝电解加工、微轴电解加工、微针尖电解加工及微齿轮模具模芯电铸成型等,获得了很好的试验结果．提出的加工方法在金属零件微制造方面有着重要的应用前景．     

微细槽的电化学铣削加工

为了研究不锈钢微细槽的电化学铣削加工技术,使用微细的、旋转的圆柱电极作为电化学加工的阴极,采用脉冲电压电化学加工技术用类似铣削加工的方法加工微细槽.研究了脉冲宽度对电极和微细槽侧面加工间隙的影响,并对微细槽铣削加工过程中的电场和流场进行了分析.在相同的电压幅值和平均电压条件下,脉冲宽度越大,侧面加工间隙越大.电场和流场分析表明,微细槽的侧面加工间隙和侧面倾斜度随着脉冲宽度的减小以及进给速度的增加而减小.当脉冲宽度小于工件表面双电层充电时间常数时,采用钝化电解液能够减小电化学杂散腐蚀和微细槽的侧面倾斜度.当脉冲宽度为0.4μs、进给速度为24μm/min时,微细槽的侧面倾斜度很小,侧面加工间隙达到10μm.实验结果表明,采用超短脉冲电化学铣削加工方法和合适的电解液,能够提高微细槽的加工精度.     

微切削加工技术的进展及发展趋势

微型化是制造业未来10年发展面临的挑战和动力。微细切削技术是微细制造技术的新领域。本论文介绍了微切削这种超精密加工技术的研究进展,归纳并阐述了超精密切削加工中的核心技术,对超精密加工技术的研发和创新有参考意义,最后指出了微切削加工技术的发展趋势。     

超硬材料的特种加工技术

超硬材料具有高硬度、高耐磨性等特点，使用传统的机械方法成型加工非常困难，特种加工技术具有以柔克刚、精密微细、仿形逼真等优点，是超硬材料或半导体新材料的有效加工方法。[编按]     

“微细加工光学技术国家重点实验室”简介

“微细加工光学技术国家重点实验室”简介ＡＢｒｉｅｆＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｔｏｔｈｅＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＯｐｔｉｃａｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｏｒＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室...     

基于多功能加工平台的微细电解加工

电解加工在加工过程中因难以控制加工形状而很少应用在微细加工领域,为了对微细电解加工可行性进行探索,设计了多功能微细加工平台,利用多功能微细加工平台可为微细电解加工在线制作电极,采用低加工电压、低浓度的钝化电解液、高频窄脉冲电源和高速旋转的微细电极,进行了微细电解加工实验,取得了很好的工艺效果,加工间隙是影响加工精度的关键因素,设计了一个加工间隙控制伺服系统,以保证微小的加工间隙,在厚为100μm的不锈钢薄片上用微细电解打孔加工出直径为65μm的微小孔,利用微细电解加工时电极无损耗,提出采用简单圆柱微细电极进行微细电解铣削,加工出较高精度的微结构,取得了较好的工艺效果,从而验证了该微细电解加工装置的微细加工能力和方法的可行性。     

可生物降解镁合金微细管的加工成形:坯料超细晶化、工艺参数优化、新技术开发及应用

镁合金作为新型可生物降解材料在血管支架等植介入产品领域具有广阔的应用前景,然而镁合金微细管材的精密加工特别是冷成形十分困难,这是制约其大规模临床推广应用的主要因素之一。全面综述了近期关于可生物降解镁合金微细管加工成形的研究进展,重点介绍了镁合金坯料显微组织的调控,镁合金微细管精密加工参数的优化和新型加工技术的开发及应用。最后,指出了可生物降解镁合金微细管加工成形的研究方向。     

微磨削与超声振动复合加工技术研究现状与展望

微细切削技术是传统加工工艺向微观尺度的延伸,在微加工领域具有重要的作用,尤其适用于三维零件及微结构的加工。与其他微细切削技术相比,微细磨削技术具有加工零件棱边精度高、适于硬脆性材料加工等优势,但其存在加工效率低、磨削热量大、微砂轮易磨损等缺陷。已有研究表明,于机械加工辅加超声振动的复合加工技术可有效降低切削力、切削温度,增大脆性材料脆-塑转变临界切削深度,改善加工表面质量等。因而超声振动辅助微磨削技术被认为是一种可有效解决微磨削加工现存缺陷的技术。主要从微磨削技术研究现状、尺寸效应机理研究、脆性材料塑性域去除机理研究、超声振动切削实验研究、超声振动切削断续切削机理研究及微磨削动态有效磨刃密度建模研究六个方面,对微磨削技术及超声振动辅助切削技术相关领域研究进行综述,并探讨超声振动辅助微细磨削技术加工机理研究及未来发展需注重解决的问题。     

感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微细图形与微阵列中制备中的应用

以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,微细图形制备具有更大的难度.本研究结合功能薄膜的特点,研究了感光溶胶-凝胶技术,在薄膜的制备过程中就考虑到薄膜的微细加工.这种方法充分利用了溶胶-凝胶法可精确调控薄膜成分、按照需要对薄膜的结构进行化学裁剪的特点,用化学修饰法赋予薄膜以感光特性,利用薄膜自身的感光特性制备微细图形,简化了薄膜微细图形制备流程,并可以获得具有亚微米级的功能薄膜阵列或二维格子,在光电子或微电子领域有重要应用前景.     

光刻技术在我国微细加工中的应用

光刻技术在我国微细加工中的应用     

光学全息术在微细加工技术中的应用

光学全息术在微细加工技术中的应用     

微光学系列产品介绍

~~微光学系列产品介绍$中国科学院光电技术研究所 $微细加工光学技术国家重点实验室     

飞秒激光三维微细加工技术

双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精度三维加工。基于该原理,提出了一种利用飞秒激光进行微细加工的技术。根据此技术,建立了飞秒激光三维微细加工系统,该系统包括光源系统、显微镜系统、实时监测系统和精密移动系统等。研究发现,该系统加工的直线线宽最小可达500nm;加工线宽与加工速度成反比;激光功率为2mW时,最大和最小临界加工速度分别为80μm/s和1μm/s;制备出线宽1μm,宽度5μm的“CHINA”复杂结构,以及杆间距、层间距均为5μm的三维木堆型光子晶体结构。实验证实,该技术是一种非常灵活的微细加工技术。     

微细加工光学技术国家重点实验室研究基金申请指南

微细加工光学技术国家重点实验室研究基金申请指南（１９９７年３月４日第二届第一次学术委员会审议通过）一、总则微细加工学光学技术国家重点实验室，为了充分发挥它在科学领域中的作用，依据开放运行的机制，每年学术委员会将审批研究基金申请课题，吸引国内外专家学者...     

液氮冷冻法微细橡胶粉生产线推出

由青岛绿叶橡胶有限公司制造的 LY型液氮冷冻法微细橡胶粉生产系统 ,日前通过专家鉴定。该系统可加工出 80目以上的微细橡胶粉 ,直接掺入轮胎的外胎胶料中 ,能改善轮胎的物理性能 ;延长轮胎的使用寿命。专家认为 ,该系统解决了生产微细橡胶粉能耗过高的难题液氮冷冻法微细橡胶粉生产线推出@田波     

基于超纯水电化学加工的扫描直写技术

为了充分发挥电化学加工以离子状态去除材料的加工机理,实现其在微细、精密,甚至是纳米加工领域中的应用,针对绿色制造和微细加工的需求,提出以超纯水为电解液的微细电化学加工方法．采用阳离子交换膜促进超纯水解离,提高电化学加工过程中电流密度;利用微探针作为工具电极,通过数控机床控制运动轨迹保持与阳极表面的间距恒定,以不同路径横向扫描工件,即可在工件阳极表面加工出2D／3D几何结构．并通过试验加工字母“PW-ECM”,验证了超纯水作为电解液进行电化学扫描直写加工技术的可行性．     

在微电子技术的发展中化学工作者的重任——美国IBM哈萨吉斯博士来华讲学简介

美国IBM公司微细加工技术开发部经理哈萨吉斯(M.Hatzakis)博士应上海交通大学应用化学系的邀请,于1985年11月19日至12月12日来华讲学三周。哈萨吉斯早年于私立纽约大学获得电机博士,1961年起在IBM工作。他创建了世界上第一台供微细加工用的电子束加工设备。后来就从事为发展新颖     

微细超声工作台的设计与微振幅测量

微细超声工作台是微细超声加工机床与微细超声振动辅助加工机床的关键零部件,其振幅值直接影响加工精度与加工效率。传统的振幅测量方法很难准确的测出微细超声工作台的微振幅。基于精密微三维运动平台的高分辨率,提出了一种恒力控制的微振幅测量方法,成功的测量出能精确到0.1微米的微振幅。本文首先对微细超声工作台中的微细超声振动系统进行了理论设计,然后采用基于恒力控制的超声振幅测量方法,对不同功率作用下的微细超声振动系统的振幅值进行了测量。     

飞秒激光双光子微细并行加工方法

飞秒激光三维微细加工技术具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等特点,因此获得越来越多的关注,但其串行工艺加工效率低是其技术难点．为了提高加工效率,搭建了一套飞秒激光并行加工平台,利用微透镜阵列实现飞秒激光分束聚焦,初步实现了双光子微细并行加工,在光敏树脂和玻璃上分别并行加工出多个二维结构,加工单点分辨率达到1．25μm．针对实验结果,对实验的加工一致性和分辨率进行分析,提出了进一步提高加工效率和加工一致性的方法．