透明导电薄膜的研究进展

综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况,重点介绍了掺铝氧化锌(AZO)薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点,指出了需要进一步从材料选择、制备工艺的研究、多层膜光学设计等方面提高透明导电薄膜的综合性能,以满足尖端技术的需要.     

透明导电薄膜的研究进展

主要对目前国际上研究较多的几种透明导电薄膜,如金属膜、透明导电氧化物(TCO)薄膜(In2O3基、SnO2基、ZnO基及TiO2基薄膜)、p型材料及多层膜的性能、制备工艺、研究现状及最新进展进行了较为详细的阐述。介绍了一些较为特殊的透明导电薄膜材料。展望了透明导电薄膜未来的研究方向及发展前景。     

微通道板示波管带状边框透明导电薄膜的研制

本文主要介绍微通道板示波管带状边框透明导电薄膜的制备工艺,对薄膜的电学和光学性能进行了测量,并对薄膜制备过程中的影响因素进行了讨论。     

非晶ZSO透明导电薄膜的P-MBE制备

采用射频等离子体辅助分子束外延技术(P-MBE),在石英玻璃基片上制备了高纯度的透明导电ZSO薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜、Hall测试仪和光谱测量等表征技术,研究了射频功率对ZSO的结晶性能、表面形貌、电学参数及透射率等的影响.研究结果表明,在室温350W离化气源功率下,非晶态ZSO薄膜表面平整度高,室温电子迁移率达11.47 cm2·V-1·s-1,电阻率为1.497 Ω·cm,光学禁带宽度为3.53 eV.分析得出,采用此工艺制备的非晶ZSO透明导电薄膜,具有优良的光电性能,是制备透明导电薄膜晶体管的优良宽禁带半导体材料.     

纳米银线-环氧树脂复合导电薄膜的制备及其在柔性触控上的应用

纳米银线透明导电薄膜具有优异的光电性能和机械性能,有望取代传统的氧化铟锡材料应用于柔性光电器件中。为解决纳米银线的黏附性、柔韧性和稳定性问题,结合转印法和烷基硫醇修饰法制备了纳米银线-环氧树脂复合导电薄膜。在此过程中,首先应用十八烷基三氯硅烷对转移衬底进行疏水化处理以提升透明电极转印的良率;接着,对转印后的纳米银线进行烷基硫醇分子的自组装修饰,以进一步提升纳米银线透明导电薄膜的稳定性;最后在此基础上制备了柔性投射式电容触控屏。所制备的透明导电薄膜具有优异的综合性能:品质因数约为300(Rs=29.7Ω/□,T=96.2%);薄膜经过100次胶带测试后,电阻变化小于25%;在1 000次弯曲(弯曲半径为1mm)测试后,电阻几乎不发生变化;高温高湿下老化一个月,电阻变化小于20%。本文结合转印工艺以及分子修饰技术开发的纳米银线-环氧树脂复合导电薄膜以及柔性触控工艺,有望推广应用至其他柔性电子元件中。     

纳米银线柔性透明导电薄膜的制备与研究进展

纳米银线因具有优异的光电性能和机械性能,使其有望在柔性透明导电薄膜领域成为ITO的替代材料。简述了纳米银线柔性透明导电薄膜的结构和基本性质,重点介绍了近年来制备纳米银线柔性透明导电薄膜的几种方法,简单分析了纳米银线柔性透明导电薄膜的应用研究进展和目前该领域研究中所面临的问题。最后,对纳米银线柔性透明导电薄膜的应用前景和发展方向进行了展望。     

掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展

柔性透明导电薄膜ZAO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,成为当前的研究热点.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,分析了柔性透明导电薄膜的研究历史和现状.介绍了柔性透明导电薄膜ZAO的结构、光电特性、典型制备方法和应用前景.评述了柔性ZAO薄膜的研究现状,并对其近期研究和应用工作进行了展望.     

基于磁控溅射技术的ZAO透明导电薄膜及靶材的研究

阐述用磁控溅射技术制备综合性能优良的ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现状和趋势。介绍了透明导电薄膜的基本性能及其存在的问题,进而重点阐述了ZAO薄膜的组织结构、导电机制和透光特性。由于其优良的光电特性(用掺杂Al2O3质量分数达3%的溅射靶材可制备电阻率达4.7×10-4Ω·cm、透射率超过90%的ZAO薄膜)而具有广泛的应用前景。并针对靶材的制备和利用磁控溅射技术制备ZAO透明导电薄膜过程中存在的问题及发展方向进行了分析讨论。     

非晶IGZO透明导电薄膜的L-MBE制备

报道了一种利用等离子辅助激光分子束外延技术(L-MBE)在石英衬底上制备IGZO透明导电薄膜的新工艺.该工艺在超高真空中进行,可以有效避免杂质和污染,提高薄膜的纯度和光学、电学性能.通过优化生长时的气体离化功率,在300W射频功率下,得到光学电学性能优良的非晶态IGZO透明导电薄膜,其可见光范围内透过率超过80%,其室温电子迁移率高达16.14cm2v-1s-1,明显优于目前薄膜晶体管(TFT)中常用的非晶硅和有机物材料.测试结果表明,采用此工艺制备的非晶态IGZO透明导电薄膜,具有优良的光学、电学特性,能代替非晶硅和有机物,提高TFT-LCD的性能,实现真正的全透明、高亮度及柔性显示.     

退火处理对氧化锌透明导电薄膜的结构及电学性能的影响

采用真空蒸发技术，以醋酸锌和氯化铝作为蒸发物质，在加热的玻璃衬底上制备出氧化锌和铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了氢气、空气和真空退火处理对制备薄膜的结构及电学性能的影响。     

直流磁控反应溅射沉积ITO透明导电膜的研究

研究了用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备ＩＴＯ透明导电膜。介绍了膜的制备工艺和膜的特性，讨论了成膜过程和热处理对膜的电阻率和透光率的影响。     

Flexible,Stretchable, Transparent Conducting Films Made from Superaligned Carbon Nanotubes

A straightforward roll‐to‐roll process for fabricating flexible and stretchable superaligned carbon nanotube films as transparent conducting films is demonstrated. Practical touch panels assembled by using these carbon nanotube conducting films are superior in flexibility and wearability—and comparable in linearity—to touch panels based on indium tin oxide (ITO) films. After suitable laser trimming and deposition of Ni and Au metal, the carbon nanotube film possesses excellent performance with two typical values of sheet resistances and transmittances (208 Ω □^?1, 90% and 24 Ω □^?1, 83.4%), which are comparable to ITO films and better than the present carbon nanotube conducting films in literature. The results provide a route to produce transparent conducting films more easily, effectively, and cheaply, an important step for realizing industrial‐scale applications of carbon nanotubes for transparent conducting films.     

透明导电薄膜的研究现状及应用

综述了当前透明导电薄膜的最新研究和应用状况，重点讨论了ITO膜的光电性能和当前的研究焦点。指出了目前需要进一步从材料选择、工艺参数制定、多层膜光学设计等方面来提高透明导电膜的综合性能，使其可见光平均透光率达到92%以上，从而满足高尖端技术的需要。     

AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用

综述了ＡＺＯ透明导电薄膜的结构特点、冶金学,电学和光学的特性,薄膜研究,应用和开发现状,认为ＡＸＯ薄膜具有较好的开发前景。     

掺铝ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究

采用RF磁控溅射法制备了掺铝ZnO(AZO)透明导电薄膜,用X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等,研究了沉积温度对薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)择优取向。沉积温度对薄膜的择优取向程度、晶粒尺寸、透射率和导电性能等具有明显的影响。当沉积温度为400℃时,AZO薄膜最大晶粒尺寸为37.21nm、可见光范围平均透射率为85.5%、优良指数为1.30×10-2?-1。     

衬底温度对纳米晶SnO_2薄膜结晶特性的影响

阐述了金属氧化物SnO2纳米薄膜研究的发展情况及其应用前景,介绍了采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150～400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2∶Sb透明导电薄膜。通过测定x射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,SnO2∶Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化。     

化学修饰溶胶-凝胶法制备功能薄膜微细图形

介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法—化学修饰溶胶-凝胶法。该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜以感光特性。利用该特性制备了微细图形,简化了工艺流程,并可以获得具有微米级的功能薄膜微细图形。概述了这种方法制备薄膜微细图形的原理、工艺流程以及主要影响因素,并对其在光波导薄膜、铁电薄膜和透明导电氧化物薄膜微细图形制备领域的研究情况进行了综合评述。最后对该方法的研究趋势进行了展望。     

Plastic Electronic Devices Through Line Patterning of Conducting Polymers

A novel method for the preparation of transparent conducting‐polymer patterns on flexible substrates is presented. This method, line patterning, employs mostly standard office equipment, such as drawing software, a laser printer, and commercial overhead transparencies, together with a solution or dispersion of a conducting polymer. The preparation of a seven‐segment polymer‐dispersed liquid‐crystal display using electrodes of the conducting polymer poly(3,4‐ethylenedioxythiophene) doped with poly(4‐styrene sulfonate) (PEDOT/PSS) is described in detail. Furthermore, a method to fabricate an eleven‐key push‐button array for keypad applications is presented. Properties of the electrode films and patterns are discussed using microscopy images, atomic force microscopy, conductivity measurements, and tests of film stability.