满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置

接触式干涉仪被广泛地用来检定(3～4)等量块,这种仪器的示值误差δ=±(0.03 1.5niΔλ/λ)μm.可是在一种不被注意的情况下,仪器的示值误差会达到0.3μm左右,这种情况在实际使用中又是可能出现的.因此有必要对此加以认识.     

接触式干涉仪改造的探讨

本文实践和理论相结合,利用电感式传感器对接触式干涉仪进行改装,数据由微机处理,提高精度及工作效率,并进行测量不确定度评定。     

接触式干涉仪示值误差的测量不确定度

文章介绍一种应用JJF10 5 9-1999《测量不确定度评定与表示》分析接触式干涉仪示值误差测量不确定度的方法     

接触式干涉仪示值误差检定及滤光片校准

接触式干涉仪是应用光波干涉原理,对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法,即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法,其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度,刻度尺的分度值（可调）推荐采用的为0．05μm、0．1μm、0．21μm三种。     

接触式干涉仪CCD智能化改造

本文介绍了一种将光电耦合器件CCD摄像技术,计算机图像处理技术引入传统的接触式干涉仪．实现量块检定光电化．智能化的检定系统及所用数据处理方法。     

JJG101-2004接触式干涉仪检定规程有关说明

由于修订规程受到各种因素的影响,无法在从根本上完全听取各方意见,以致新规程出台后,会出现不少实际操作的问题。为此,本刊特辟规程论谈专栏,登载规程在起草或修订过程中,起草或修订小组汇总各方意见后所作的说明,供大家学习交流,有不同意见的欢迎来稿。[编者按]     

用接触式干涉仪校准千分表检定仪示值误差

分析论证了利用满足规程要求的接触式干涉仪替代电感测微仪作为主要标准器,对机械式千分表检定仪的示值误差进行校准,并对其测量结果进行不确定度评定及验证.实践表明,该方法稳定可靠、实用有效.     

乌氏干涉仪示值误差检定及其方法误差分析

JJG101-81检定规程指出:检定示值误差应在分度值为0.2,0.1,0.05UM情况下以二等量块配对法进行.     

接触式干涉仪CCD智能化改造

本文介绍了一种将光电耦合器件OCD摄像技术，计算机图像处理技术引入传统的接触式干涉仪，实现量块检定光电化、智能化的检定系统。     

接触式干涉仪的数字化改造

为解决接触式干涉仪使用过程中对线不准、人工读数误差大等问题,采用图像采集与处理技术对其进行数字化升级改造。使用工业相机,将实时采集的干涉条纹图像传输至计算机,同时基于灰度投影法,实现自动定度与零级干涉条纹中心的定位,根据零级干涉条纹中心的偏移量,计算被测量块与标准量块的差值,并将相关测量信息自动存储至数据库。实验表明：改造后的接触式干涉仪性能稳定可靠,能准确计量检校三等及以下的量块长度。     

接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。     

配对法校准比较仪示值误差的不确定度评定

比较法测量量块的仪器的示值误差是采用配对法用量校准的,本文对其校准的不确定度进行评定,并指出其中有些问题值得探讨和改进。     

电子水平仪示值误差检定中量块的使用

电子水平仪示值误差的检定采用的是小角度检查仪与量块所形成的标准小角度与放置在小角度检查仪上的电子水平仪所显示的角度值相比较而得出的。量块是形成标准角的主要标准器。在电子水平仪的检定中规定分度值为 0 0 0 1ｍｍ/ｍ和 0 0 0 5ｍｍ/ｍ的电子水平仪使用 3等或 0级量块 ;对分度值为0 0 1ｍｍ/ｍ～ 0 0 5ｍｍ/ｍ的电子水平仪使用 4等或 1级量块。按级使用量块检定示值误差时 ,使用的是量块的标称值 ,所形成的标准角度都为电子水平仪被检点的标称值 ,计算示值误差比较直观、简单。但是 ,按级使用量块时 ,随着使用过程中量块的磨…     

接触式干涉仪定度误差分析及调整

本文从接触式干涉仪测微原理出发,运用几何光学的基本原理,导出接触式干涉仪分度值表达式,并对定分度值所产生的误差进行了分析,同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。     

用接触式干涉仪校准千分表检定仪示值误差的应用

文章分析论证了利用满足规程要求的接触式干涉仪可以替代电感测微仪作为主要标准器,对机械式千分表检定仪的示值误差进行校准;并对其测量结果进行不确定度评定及验证.实践表明,该方法稳定可靠,实用有效,并已投入实际应用.     

高等级量块的检定技术

新量块检定规程(JJG146-94)，提高了各等级量块的测量不确定度要求，传统的目视测量方法在测试精度和效率上已经不适应实际需求。本文将对一、二等量块直接测量技术和用于三、四等量块的接触式干涉仪测量自动化技术作一介绍。