电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响

电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56 MHz)耦合等离子体;3电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体。通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件。实验发现当气压是5Pa时:1双频容性耦合等离子体密度是1010 cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高。随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低。2电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大。当氩气比例增加到70%,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体。3电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80%,容性电感耦合功率200 W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大。通过实验得出,当氩气比例为80%,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200 W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体。     

质点网格法电感耦合等离子体数学模型

建立了一个研究电感耦合等离子体源(ICPS)特性的数学模型,叙述了质点网格(PIC)法的原理.给出了PIC法的计算方法,指出PIC法必须与蒙特卡罗碰撞(MCC)模型和鞘层模型相结合,才能更准确地对ICPS进行模拟.文中讨论了不同参数(天线的位置和匝数,反应室高宽比等)对等离子体密度分布和电场强度分布的影响.根据模拟的结果,提出了改善等离子体均匀性的方法,这对高密度平面等离子体源的设计具有重要意义.     

平面天线结构对电场强度分布的影响

建立电感耦合等离子体源（ＩＣＰＳ）平面天线的电磁场模型，并进行模拟计算。计算结果表明，天线环数较多时，电场强度分布较均匀，基片上离子流密度分布较均匀。若由平面形改为螺旋帽形，能改善电场强度分布，从而改善基片上离子流密度分布的均匀性。还讨论了天线结构对电场强度的影响。     

电感耦合腔室中等离子体特性分析及线圈优化

半导体镀膜均匀性和刻蚀精度的要求越来越高,对镀膜工艺及刻蚀工艺提出了更高的要求。现有的PECVD设备的镀膜特点是中间厚、边缘薄,镀膜均匀性有待提高。本文在研制PECVD设备过程中,通过COMSOL仿真软件,对影响电感耦合产生等离子体的因素进行仿真,结果表明：电子密度随着极间距、腔室压力、线圈功率的增大而增大。应用仿真软件的等离子体、AC/DC、优化模块进行线圈摆放位置的优化,以自定义的径向电子密度检测线上的梯度值为目标函数,通过约束函数使线圈径向移动,得到等离子体分布均匀的线圈分布图,优化后的电子密度均匀性提高34.7%。本文的研究成果应用于自主研制的PECVD设备之中,效果好,满足了用户要求。     

电感耦合等离子体质谱法测定饮用水中微量元素

采用电感耦合等离子体质谱法快速测定饮用水中的微量元素 ,样品处理简便 ,检出限低 ,重现性好 ,分析速度快。方法检出限为 (0 0 0 7～ 0 911) μg L ,精密度达到 0 73%～ 4 87%。     

电感耦合等离子体质谱

电感耦合等离子体质谱(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry缩写为ICP-MS)是80年代发展起来的分析测试技术,它以独特的接口将电感耦合等离子体(ICP)的高温电离特性与四极质谱仪的灵敏快速扫描特性相结合,近年来已成为一种强大的元素分析技术.该技术具有检出线低、动态线性范围宽、谱线简单、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特征.     

ICP-AES/ICP-MS快速测定垃圾焚烧飞灰样品中金属元素含量

为准确分析垃圾焚烧飞灰中金属元素含量,解析元素污染特性,建立采用HNO3+HF+HClO4体系湿法消解样品,电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-AES)和电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定样品中金属元素含量的方法。采用国家标准物质GBW07423模拟基体复杂的垃圾焚烧飞灰样品,验证方法的准确度和精密度,进行过程质量控制。研究结果表明,各元素线性拟合良好,分析结果与标准值吻合。实际样品分析中,ICP-AES测试的相对标准偏差为0.76%～6.91%;ICP-MS测试的相对标准偏差为0.50%～3.40%,测试精密度良好。该方法具有前处理流程简单、多元素同时测定、线性范围宽、分析效率高等优点,可满足不同类型垃圾焚烧飞灰样品中金属元素含量的分析。     

质点网格法电感耦合等离子体数学模型

建立了一个研究电感耦合等离子体源（ICPS）行性的数学模型，叙述了质点网格（PIC）法的原理，给出了PIC法的计算方法，指出PIC法必须与蒙特卡罗碰撞（MCC）模型和鞘层模型相结合，才能更准确地对ICPS进行模拟，中讨论了不同参数（天线的位置和匝数，反应室高宽比等）对等离子体密度分布和电场强度分布的影响，根据模拟的结果，提出了改善等离子体均匀性的方法，这对高密度平面等离子体源的设计具有重要意义。     

感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算

基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据.     

电感耦合等离子体四极杆质谱仪日常维护及校准

通过对四极杆电感耦合等离子体质谱仪的进样系统、接口、透镜系统、检测器、质谱系统等的日常维护方面的阐述,以及使用JJF1159-2006《四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范》校准过程中可能出现的问题进行分析,以求本文对大家在仪器校准和实际测量过程中能有所帮助。     

高密度等离子体源的新发展

介绍了几种高密度等离子体源，重点叙述了新近出现的电感耦合等离子体源ＩＣＰＳ。说明了ＩＣＰＳ的基本原理、结构特点、电磁场分布的数学模型等。还简单介绍了其应用前景和目前存在的问题。     

电感耦合等离子体质谱在长寿命放射性核素分析中的应用

电感耦合等离子体质谱(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer,ICP-MS)具有灵敏度高、检出限低、线性动态范围宽和可以进行多元素同时测定及同位素比测量等优点,是一种具有广阔前景的痕量(超痕量)无机多元素分析技术.ICP-MS检测半衰期大于几百年的放射性核素优于放射计数...     

ICP-AES在检测日用陶瓷器皿中多种金属元素溶出量中的应用

本文根据电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)分析速度快、分析灵敏度、准确度和精密度较高、检出限低的优点,在目前常用的分光光度计、原子吸收光谱仪等仪器之外,建立了一种准确、快速、简便的同时测定日用陶瓷器皿中汞、锰等多种金属元素溶出量的测定方法。日用陶瓷器皿经过4%乙酸溶液的萃取,萃取液采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)进行分析,经过大量试验确定了最佳工作条件。采用本方法检测了1000个左右的日用陶瓷产品,及时、准确地提供了金属元素溶出量的数据,结果满意。     

ICP-AES在检测不粘锅涂层中多种金属元素溶出量中的应用

本文根据电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)的优势,建立了一种准确、快速、简便的同时测定不粘锅涂层中铅、镉、铬、砷溶出量的测定方法。不粘锅经过4%乙酸溶液的萃取,萃取液采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)进行分析,经过大量试验确定了最佳工作条件。该方法操作简便、快速、准确,更好地满足了生产和实验室日常分析的要求。     

离子色谱-电感耦合等离子体质谱法快速测定食品中的硼酸

目的：建立了一种离子色谱-电感耦合等离子体质谱法快速测定食品中的硼酸含量的方法。方法：采用4%三氯乙酸溶液和超纯水溶液超声提取,离子色谱分离,电感耦合等离子体质谱测定,外标法定量。结果：在0.05-5.0μg/mL浓度范围内呈良好线性关系;相关系数大于0.999;方法检出限为：1.0mg/kg,低于国标方法检出限;加标回收率为89.6%-102%,相对标准偏差为0.95-3.72%。结论：该方法操作简便快捷、分离效果好、抗基体干扰性强、检测灵敏度高。所用试剂对环境污染、人体危害更小,可应用于快速测定食品中的硼酸含量。     

高纯有机试剂中金属杂质OSIS-ICP-MS测试方法

建立有机进样系统-电感耦合等离子体质谱法(OSIS-ICP-MS)直接测试高纯有机试剂中金属杂质。高纯有机试剂直接由有机进样系统(OSIS)导入质谱仪进行分析,可有效避免样品处理可能带来的污染和误差。与传统方法比较,该文所建立的方法准确、快速、灵敏、环保,并兼顾成本,具有良好的推广应用前景。     

赛默飞高分辨力电感耦合等离子体质谱仪在食品安全检测中的应用

高分辨力电感耦合等离子体质谱仪是无机元素分析的重要一员,具有更低检出限和抗干扰高选择性分析能力,适用于如食品安全、材料科学等各行业日趋苛刻的分析要求。赛默飞高分辨力电感耦合等离子体质谱仪(Element2/XR)由德国不来梅工厂设计、制造。该工厂从1950年生产出第一台以磁铁为质量分析仪的质谱仪以来不断创新,不断拓宽产品线。仅是电感耦合等离     

电感耦合等离子体发射光谱法测定石灰石中二氧化硅的研究

本文旨在建立电感耦合等离子体发射光谱法测定石灰石中二氧化硅含量的方法.样品通过碱熔融,热水提取再经强酸酸化形成清亮待测液,针对Si的5条分析谱线进行测试研究.通过对GBW07214、GBW(E)070155、GBW07215、GBW07120四件具有代表性的国家标准物质进行试验结果的精密度、准确度、加标回收统计分析.结...     

微波消解-等离子发射光谱法测定食品中的铝

目前,常用测定铝的国标方法有分光光度法等。笔者所采用的电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)较之其他方法,具有准确度高、检出限低、基体效应小等优点。本实验所用样品为面包。     

HPLC-ICP-MS法测定水样中的甲基汞、乙基汞和无机汞

建立了高效液相色谱(HPLC)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)联用测定环境水样中的甲基汞、乙基汞和无机汞的方法。实验使用的高效液相色谱流动相为含有0.06mol/L乙酸氨,20μg/LBi,0.1%(V/V)2-巯基乙醇的5%(V/V)甲醇-水溶液,色谱柱为C18反相柱(5μm,2.1mm×50mm),经前处理的水样在液相色谱中分离后,进入电感耦合等离子体质谱检测其甲基汞、乙基汞和无机汞的浓度。甲基汞、乙基汞和无机汞检出限分别为0.05μg/L、0.10μg/L和0.10μg/L。