硅压阻式传感器智能数字补偿系统

为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度,利用传感器高精度智能修补芯片ZMD31050,开发出一套智能化数字补偿系统,将传感器及其外围器件抽象为数学多项式,通过多项式拟合来消除误差,介绍了该系统的硬件组成,通信协议和软件设计。实验结果表明,该系统数据传输稳定,生产效率高,可满足硅压阻式传感器小批量智能修补。     

一种压阻式压力传感器的温度补偿方法

针对压阻式压力传感器的温度补偿问题,提出一种将样条插值与最小二乘拟合相结合的补偿算法,并结合传感器标定实验数据进行仿真试验。结果表明该方法相比曲面拟合方法、BP神经网络和RBF神经网络,补偿最大相对误差和平均补偿时间分别为0.103%和0.135 4 s,不仅能够满足高精度测试要求,而且可减少标定工作量达到提升生产效率的目的。     

压阻式压力传感器温度误差的数字补偿技术

压力传感器性能易受温度变化的影响,产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移,从而增加了测量结果的误差.根据压阻式压力传感器温度误差分析,提出了基于MAX1457芯片的数字补偿技术,对温度误差进行补偿,并运用到多个压阻式压力传感器上,在特定的温度允许下进行补偿.结果表明该种方法补偿精度高、稳定性好,有效地抑制了温度漂移.     

压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿

给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿与实现方法.该方法采用串并联电阻来补偿加速度传感器的零位温度漂移,采用在电源后串联二极管来补偿加速度传感器的灵敏度温度漂移.具体实现时,采用高低温试验机对加速度传感器的环境温度进行变化,通过检测系统测量出4个压敏电阻在高低温时的电阻值,运用软件计算出补偿电阻值、补偿电阻在桥路中的位置以及串联二极管的数量,并根据计算结果构建出了带温度补偿的传感器检测电路.测试结果表明,这一方法能有效补偿加速度传感器的温度漂移.     

压阻式加速度传感器的补偿技术的研究

对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差,温度漂移和动态特性等进行了分析研究,给出了它们的补偿原理及其实现方法。     

压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析

运用二元函数的泰勒展开式给出了应变与温度交叉灵敏度大小的公式，阐明了其物理意义，并结合实际测量数据估计了交叉灵敏度；对于实际使用传感器和进行补偿具有一定的指导意义。     

自补偿式压磁应力传感器设计

针对铁磁材料应力测试参数补偿问题,设计了四极压磁应力检测传感器,利用一对电极检测试件,另一对电极检测补偿试件,并设计了电路,在设计的传感器基础上进行了板材试件拉伸试验,试验验证了传感器的基本磁测性能,它具有性能稳定、结构简单的特点,可用于板材及管材应力在线无损检测。     

硅压阻式压力传感器测量误差在线补偿方法研究

由于硅压阻式压力传感器的测量精度易受温漂和非线性等因素影响,而现有测量误差数字补偿方法实时性不高,因此提出了一种基于二元插值算法的异频分步在线补偿方法。首先采用三次样条插值算法对传感器输出电压和工作温度插值,抑制温漂;然后利用拉格朗日插值算法对压力和电压进行分段插值,减小非线性误差;同时降低温度的插值频率以减少每个压力插值周期内计算量,克服了传统的插值补偿方法将两个变量在一个插值周期内计算时间长的缺点。通过传感器标定和误差补偿实验验证了该方法的补偿精度在0～60℃的温度范围内满足±0.05%FS的误差要求,并且在设计的采集系统上实现1 kHz的数据输出速率。实验结果表明该方法可以有效地提高硅压阻式压力传感器的测量精度,且具有较高的实时性,能够实现误差在线补偿。在航空发动机试验的气体压力测量中具有一定的工程应用价值。     

压阻式集成压力传感器

一、引言在许多新的领域里,微机控制的仪器仪表和系统被广泛应用。这些系统一般由一个或多个传感器构成,传感器的低电平输出信号先要通过信号调节电路放大,再传送到远距离的微机去处理或控制。硅传感器技术的发展,已能将传感器和信号调节电路合并在一起,成为一个集成传感器。硅压阻式集成压力传感器由Bicking设计成功。这种传感器把敏感元件、温度补偿、信号放大和调整功能都集成在同一芯片     

新型压阻式高压传感器

德国基司乐(Kistler)仪器公司新推出了一种可适用于500MPa高压传感器。这种新型高压传感器可用于高压射流水切割装置的压力监视。由于这种传感器结构牢固,从而可对切割装置的高压活塞的均匀压力进行连续监视,因此,可早期辨认高压活塞的密封咀的磨损度。此外,采用这种高压传感器还可     

机载压阻式压力传感器设计与加工

介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术，设计出了敏感电路和硅膜结构，根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备，采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。     

大量程SOI压阻式压力传感器设计

文中设计了一种浅凸台结构的SOI压阻式压力传感器。这种膜片结构解决了由于压力量程扩展导致传感器的灵敏度和线性度无法同时满足使用要求的问题。考虑电阻的设计约束以及浅凸台制作过程中的光刻和刻蚀偏差,采用U型电阻保持高灵敏度和线性度。利用ANSYS软件模拟了膜片结构的力学性能,验证了理论分析的正确性;仿真优化了电阻的形状和位置,预估了传感器的性能。介绍了敏感单元的加工工艺。设计的传感器灵敏度为93.4μV/(V·k Pa),非线性误差小于0.22%,可实现对量程高达10 MPa压力的测量。     

压阻传感器漂移误差的补偿方法

本文介绍一种利用归一化技术,使双传感器探头的误差大小相等,通过电子线路将误差信号相互抵消的补偿方法。     

基于虚拟仪器的压阻式压力传感器校准系统的设计开发

本文介绍了一种能精确可靠的校准压阻式压力传感器的校准装置,该装置软件部分基于LabVIEW设计,硬件为杠杆式压力传感器校准机构.经过反复实验,证明该校准装置精度高,性能稳定,符合中华人们共和国机械行业标准GB5604-85.     

多路温度监测系统的设计

设计了一种基于DS18B20传感器和80C51单片机的多路高精度温度监测系统,详细介绍了其工作原理、设计思路和具体的硬件设计。     

多路温度测控系统的设计

介绍一种四回路温度控制仪新产品的研究与开发,该产品能够完成四回路温度测量与控制,采用PID调节规律直接输出晶闸管触发信号实现电加热炉的温度控制,性能稳定可靠,并可以进行远距离的数据传输。     

压阻式微差压传感器水头标定方法

针对工业和科研领域常用的小量程微差压传感器,设计了一种简单实用的水头标定方案,给出了标定步骤。应用该方案标定国产某型号传感器,结果表明线性误差小于0.22%,完全满足应用要求。     

应变片式传感器的温度补偿浅谈

简单论述应变片式传感器温度特性及有效的补偿方法     

无引线封装的SOI压阻式压力传感器设计

在SOI晶圆材料的基础上,设计了压力敏感结构,提高了传感器的高温稳定性;采用敏感芯片背孔引线技术,将硅敏感芯片的正面和硼玻璃进行气密性阳极键合,通过在硼玻璃对应位置加工电极连接孔,实现芯片电极与外部管脚的电气连接,形成无引线封装结构;利用ANSYS软件对敏感芯片进行了力学仿真,对高温敏感芯体进行了热应力分析,完成了无引线封装结构的优化及制作。通过性能测试,该传感器测量范围为0~0.2 MPa,灵敏度为55.0 m V/MPa,非线性误差小于0.2%。