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《电子工业专用设备》2006,35(1):12-13
EV Group-欧洲著名的微细加工与制造设备公司,近期在中国科学院上海微系统与信息技术研究所(SIMIT)成功安装了中国第一套微电子品圆“低温键合系统”。为此,SIMIT和EVG公司于2005年12月13日联合举办了“微细加工和制造技术研讨会”。 相似文献