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相似文献
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1.
研究了多壁碳纳米管的湿敏效应。研究中所用碳纳米管是用热灯丝化学汽相沉积法生长的。实验结果表明,经由化学修饰后碳纳米管的湿敏效应有了极大的增强。化学修饰后碳纳米管在水蒸汽中电阻相对变化达到了300%,而未修饰只有3.25%。本文对其结果进行了分析和讨论。  相似文献   

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研究了多壁碳纳米管的湿敏效应。研究中所用碳纳米管是用热灯丝化学汽相沉积法生长的。实验结果表明 ,经由化学修饰后碳纳米管的湿敏效应有了极大的增强。化学修饰后碳纳米管在水蒸汽中电阻相对变化达到了 30 0 % ,而未修饰只有 3.2 5 %。本文对其结果进行了分析和讨论  相似文献   

3.
SnO2薄膜的湿敏效应   总被引:6,自引:0,他引:6  
报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜,发现其在325℃时已晶化,得到四方相多晶SnO2。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明,较高湿度区阻值随湿度变化近似线性,从高湿到低湿平均为每上升1%RH,阻值下降8.8π,响应速度小于1分钟,阻值恢复较容易。  相似文献   

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介绍了半导体湿敏器件的基本分类和性能,提出了应用湿敏器件的应注意的有关问题,详述了三种实用测湿,控湿电路。  相似文献   

8.
王瑞升 《电信技术》1990,(12):32-33
  相似文献   

9.
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触.在常温下,Pt/TiO2界面处的电子电导对Pt/TiO2肖特基势垒高度的变化非常敏感.本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能,并讨论了因水在Pt/TiO2界面处的化学吸附,引起表面态费米能级改变,影响Pt/TiO2肖特基势垒的高度,从而导致了I-V曲线的变化的物理过程,对器件制造过程中的工艺问题也有所论述  相似文献   

10.
怎样选用元器件讲座(十九)湿敏元件   总被引:1,自引:0,他引:1  
湿度,是一个与人类关系密切的物理量。传统的毛发湿度计和干湿球湿度计,已不能适应现代的需要,而半导体湿敏元件正在悄然进入现代家庭,成为家庭电子  相似文献   

11.
以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和制作的敏感元件对该理论进行验证,实验结果表明该方法有很强的可操作性。  相似文献   

12.
碳纳米管具有较大的比表面积,对气体有良好的吸附能力,在气敏传感器中有巨大的应用潜力。文章从碳纳米管的结构对其进行分类,重点对碳纳米管在气敏传感器中的应用进行了评述,并对碳纳米管在不同衬底上制备的气敏传感器进行描述,总结了碳纳米管气敏传感器的发展现状,最后概况了碳纳米管气敏传感器的发展趋势。  相似文献   

13.
孙德明  肖梦秋 《半导体技术》1998,23(5):29-32,42
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触,在常温下,Pt/TiO2界面处的电子电导对Pt/TiO2肖特基势垒高度的变化非常敏感,本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能,并讨论了因水在Pt/TiO2界面处的化学吸附,引起表面Fermi能级改变,影响Pt/TiO2肖特基势垒的高度,从而导致了I-V曲线变化的物理过程,对器件制造过程中的工艺问题所论述。  相似文献   

14.
本文提出了用双层多晶CMOS工艺来设计和制造湿度控制的多级振荡器.为电路所集成的一部分的温度传感头其结构为叉指状多晶硅电容结构.通过对标准版图的适当调整,便可实现传感器与CMOS工艺的兼容.  相似文献   

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以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和制作的敏感元件对该理论进行验证,实验结果表明该方法有很强的可操作性.  相似文献   

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以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和制作的敏感元件对该理论进行验证,实验结果表明该方法有很强的可操作性。  相似文献   

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研究了ZnO不同含量对ZnCr2O4湿敏陶瓷线性度及LiCl,Al2O3,CaCO3掺杂对湿阻特性的影响,实验表明,过量的ZnO可含理可改善陶瓷的线性度,Ca^2 的加入可提高湿敏陶瓷的机械强度,降低烧结温度。  相似文献   

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